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캐리어 가스 도입한 유기금속 화학 증착법을 이용한 산화아연 구조체 성장방법

  • 기술번호 : KST2015143059
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기금속 화학기상 증착장치를 이용한 산화아연 나노막대 방법에 관한 것으로써, 반응소스인 DEZn가 유입되는 가스 라인에 추가적인 불활성기체 캐리어 가스라인을 설치함으로써 성장시 기판에 도달되는 DEZn의 유속을 증가시키는 기구로 사용하였다. 이렇게 성장된 산화아연 나노막대는 기존 연구결과에서 성장된 나노막대에 비해 매우 낮은 성장온도에도 불구하고, 결정성과 광특성면에서 우수한 특성을 지니고 있다. 낮은 성장온도는 글래스나 플라스틱 기판에서 산화아연 나노막대의 성장을 이룰 수 있을 것으로 기대되는 온도이다. MOCVD, 산화아연, 나노막대, 캐리어 가스, 아르곤
Int. CL B82Y 30/00 (2011.01) C23C 16/40 (2011.01) C23C 16/18 (2011.01)
CPC C23C 16/18(2013.01) C23C 16/18(2013.01) C23C 16/18(2013.01) C23C 16/18(2013.01) C23C 16/18(2013.01)
출원번호/일자 1020080084768 (2008.08.28)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0025986 (2010.03.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.08.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동찬 대한민국 부산광역시 사하구
2 조형균 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영우 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)(한라특허법인(유한))
2 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
3 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)
4 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0615561-28
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2009-0052662-24
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0415349-14
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0751676-85
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2010-0751682-59
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.11.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0751683-05
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0277381-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
12 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent		 2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
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번호 청구항
1 1
디에틸아연 전구체와 산소 전구체 가스공급장치가 결합 된 반응용기를 포함하는 산화아연 구조체 형성용 유기금속 화학 증착 장치에 있어서, 상기 가스공급장치는 캐리어 가스 공급장치를 포함하고, 상기 반응용기 내에 샤워헤드 형태의 기체분사기가 배치되는 것을 특징으로 하는 산화아연 구조체 형성용 유기금속 화학 증착 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 캐리어 가스는 아르곤 가스인 것을 특징으로 하는 산화아연 구조체 형성용 유기금속 화학 증착 장치
3 3
가스공급장치를 통하여 반응용기에 디에틸아연 전구체와 산소 전구체 원료가스의 유속을 제어하여 공급하는 1 단계; 및 반응용기 내에 배치된 기체분사기를 통하여 디에틸아연 전구체와 산소전구체 원료가스를 분사하여 기판 위에 산화아연 구조체를 성장시키는 2 단계; 를 포함하는 유기금속 화학 증착법을 이용한 산화아연 구조체 성장방법
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 원료가스는 캐리어 가스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기금속 화학 증착법을 이용한 산화아연 구조체 성장방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 캐리어 가스는 아르곤 가스인 것을 특징으로 하는 유기금속 화학 증착법을 이용한 산화아연 구조체 성장방법
6 6
제 3 항에 있어서, 상기 반응용기 내의 압력은 0
7 7
제 3 항에 있어서, 상기 반응용기 내의 온도는 300 ~ 400 ℃인 것을 특징으로 하는 유기금속 화학 증착법을 이용한 산화아연 구조체 성장방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국학술진흥재단 지역대학우수과학자지원사업 나노선 어레이를 이용한 폴리머/금속산화물 하이브리드 태양전지 개발연구