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챔버 내에 기판, 비소 포함 고체 촉매, 및 ZnO 소스를 배치하는 단계;상기 챔버의 일측으로부터 캐리어 개스를 상기 챔버로 공급하면서 상기 고체 촉매를 기화시켜서 상기 기판 상으로 상기 비소를 포함하는 산화물로 이루어진 중간층을 형성하는 단계;상기 중간층의 비소를 상기 ZnO 소스의 Zn으로 치환하여 상기 기판 상에 ZnO 시드층을 형성하는 단계: 및상기 시드층으로부터 징크 옥사이드 마이크로 와이어를 성장시키는 단계;를 구비하는 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 중간층 및 상기 시드층 형성단계는 제1온도에서 수행되며, 상기 마이크로 와이어 성장단계는 상기 제1온도 보다 높은 제2온도에서 수행되는 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 2 항에 있어서, 상기 제1온도는 대략 800℃ - 850℃인 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 3 항에 있어서,상기 제1온도는 대략 10분 ~ 80분 유지되며, 상기 제1온도 유지시간의 제어로 상기 마이크로 나노와이어의 직경의 크기가 제어되는 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 비소포함 촉매는 삼산화 비소 또는 GaAs 파우더인 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 중간층은 삼산화 비소로 이루어진 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 고체 촉매는 상기 챔버내에서 상기 캐리어 개스의 흐름 상에서 상기 기판의 상류에 배치되며 상기 기판 보다 낮은 온도로 제어되는 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 ZnO 소스는 상기 챔버내에서 상기 캐리어 개스의 흐름 상에서 상기 기판의 하류에 배치되는 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 시드층은 1nm~10nm 두께를 가지는 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 시드층은 복수의 ZnO 도트를 포함하며, 상기 ZnO 도트로부터 상기 마이크로 와이어가 성장되는 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제2온도는 대략 900℃ - 1000℃ 이며, 상기 제2온도가 상승함에 따라 상기 마이크로 와이어의 단면 형상이 달라지는 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 11 항에 있어서, 상기 마이크로 와이어의 단면 형상은 마름모, 비등변 육각형 및 등변 육각형을 포함하는 징크 옥사이드 마이크로 와이어의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 마이크로 와이어는 대략 1-10㎛ 직경, 대략 0
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제 1 항 내지 제 13 항의 제조방법에 의해 제조된 징크 옥사이드 마이크로 와이어
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