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기판 교체시 교체 용액의 온도를 기준온도로 유지하여 ZnO 나노로드를 수직방향으로 성장시키

  • 기술번호 : KST2014035933
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법에 관한 것으로서, 제1 바이알 내부에 기판을 배치하고, 상온에서 바이알 내부에 아연함유 유기금속, 반응활성화제 및 용매제를 투입하는 S1 단계; 제1 바이알을 실링하는 S2 단계; 오븐에서 제1 바이알의 내부용액의 온도를 기준온도대로 상승 및 유지시키며 ZnO 나노막대를 성장시키는 S3 단계; 상기 S1 단계를 거친 제2 바이알을 상기 오븐에 넣고, 교체투입용 제2 바이알의 내부 용액의 온도를 교체대상인 제1 바이알의 내부 용액의 온도로 상승시키고 에이징을 하는 S4 단계; 및 제1 바이알의 교체대상 용액에서 상기 기판을 꺼내고 교체투입용 제2 바이알의 내부 용액에 배치하면서 기판을 제2 바이알에 배치한 후 제2 바이알을 실링하는 S5 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 교체시 교체 용액의 온도를 기준온도로 유지하여 ZnO 나노막대를 수직방향으로 성장시키는 방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면 성장온도를 유지하는 교체될 용액이 투입됨에 따라 ZnO 나노막대의 가로세로비가 향상되어 나노막대의 직경이 축소되는 효과가 있고, 용액교체시에 교체될 용액의 온도를 교체할 용액의 온도로 유지시켜 기판상에 증착된 씨앗층의 분리의 발생이 최소화되는 효과가 있다.수열합성법, ZnO, 나노막대, 용액교체, 에이징
Int. CL C01G 9/02 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC C01G 9/02(2013.01)C01G 9/02(2013.01)
출원번호/일자 1020090134305 (2009.12.30)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1155769-0000 (2012.06.05)
공개번호/일자 10-2011-0077667 (2011.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20120612) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.30)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조형균 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 배영숙 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 김동찬 대한민국 부산광역시 사하구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김인철 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, 매강빌딩*층 에이치앤에이치 H&H 국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0817378-96
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0038337-32
3 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2010.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2010-0360275-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0543224-75
5 [복대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2011.11.11 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2011-0890726-86
6 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2011.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0105440-15
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0923428-48
8 [복대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2011.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0950516-91
9 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2011.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0117891-18
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.12.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1021878-92
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-1021879-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090770-53
13 등록결정서
Decision to grant		 2012.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0317559-09
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2012-5131828-19
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2012-5137236-29
16 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0038508-57
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
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번호 청구항
1 1
기판상에 ZnO 씨앗층이 이미 형성된 기판을 수열합성법을 이용하여 ZnO 나노막대를 성장시키는 방법에 있어서,제1 바이알 내부에 상기 기판을 배치하고, 상온에서 바이알 내부에 아연함유 유기금속, 반응활성화제 및 용매제를 투입하는 S1 단계;제1 바이알을 실링하는 S2 단계;오븐에서 제1 바이알의 내부용액의 온도를 기준온도대로 상승 및 유지시키며 ZnO 나노막대를 성장시키는 S3 단계;상온에서 바이알 내부에 아연함유 유기금속, 반응활성화제 및 용매제가 투입된 제2 바이알을 상기 오븐에 넣고, 교체투입용 제2 바이알의 내부 용액의 온도를 교체대상인 제1 바이알의 내부 용액의 온도로 상승시키고 에이징을 하는 S4 단계; 및제1 바이알의 교체대상 용액에서 상기 기판을 꺼내고 교체투입용 제2 바이알의 내부 용액에 배치하면서 기판을 제2 바이알에 배치한 후 제2 바이알을 실링하는 S5 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
2 2
제1항에 있어서,상기 S1 단계의 경우, 상기 기판은 실리콘, 사파이어, 갈륨나이트라이드, 유리 및 ITO로 이루어진 일 군으로부터 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
3 3
제1항에 있어서,상기 S1 단계의 경우, 투입되는 상기 아연함유 유기금속은 아연 나이트라이트헥사하이드라이트(Zn(No3)26H2O), 아연클로라이드(ZnCl2) 및 아연 아세테이트 디하이드라이트(Zn(OOCCH3)22H2O) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
4 4
제1항에 있어서,상기 S1 단계의 경우, 투입되는 상기 반응활성화제는 HMT((CH2)6N4), NaOH 및 KOH 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
5 5
제1항에 있어서,상기 S1 단계의 경우, 투입되는 상기 용매제는 2차 증류수(H2O), 메탄올(methanol) 및 이메톡시에탄올(2-methoxyethanol) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제1항에 있어서,상기 S3 단계의 경우, 상기 내부 용액의 기준 온도대는 91℃~98℃인 것을 특징으로 하는 용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
9 9
제8항에 있어서,상기 S3 단계의 경우, 상기 내부 용액의 기준 온도대는 95℃인 것을 특징으로 하는용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
10 10
제1항에 있어서,상기 S4 단계의 경우, 제2 바이알은 제1 바이알의 내부 용액 중 Zn 소스가 소진되기 전에 오븐에 투입되어 에이징되는 것을 특징으로 하는용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
11 11
제10항에 있어서,상기 S4 단계의 에이징 시간은 20분~40분인 것을 특징으로 하는용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
12 12
제11항에 있어서,상기 S4 단계의 에이징 시간은 30분인 것을 특징으로 하는용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
13 13
제1항에 있어서,상기 S5 단계의 경우, 제1 바이알에서 기판을 꺼내는 시간은 S3 단계의 기준온도가 6시간 이상 유지된 후인 것을 특징으로 하는용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
14 14
제1항에 있어서,상기 S5 단계 후에는 상온에서 바이알 내부에 상온에서 아연함유 유기금속, 반응활성화제 및 용매제가 투입된 다른 교체투입용 바이알을 상기 오븐에 넣고, 상기 교체투입용 다른 바이알의 내부 용액의 온도를 교체대상인 바이알의 내부 용액의 온도로 상승시키고 에이징을 하는 S4 단계;교체대상인 바이알의 교체대상 용액에서 상기 기판을 꺼내고 교체투입용 바이알의 내부 용액에 배치하면서 기판을 교체투입용 바이알에 배치한 후 교체투입용 바이알을 실링하는 S5 단계; 및오븐에서 교체투입용 바이알의 내부용액의 온도를 기준온도대로 유지시키며 ZnO 나노막대를 성장시키는 S3 단계를 순차적으로 적어도 1회 이상 반복하는 것을 특징으로 하는용액 온도 유지를 통한 큰 가로세로비(high aspect ratio)를 갖는 산화아연 나노막대의 수열 합성법
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 성균관대학교 산학협력단 일반연구자지원 나누구조를 이용한 color tunable 수,발광소자 구현
2 교육과학기술부 성균관대학교 핵심연구지원사업 친환경 열전소자 응용을 위한 다성분계 신산화물 열전소재 개발 연구