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박막시트에 미세구멍을 형성하는 장치에 있어서,유체를 투과시키도록 복수의 공극이 형성된 다공성 재질의 제1기판;상기 제1기판과 나란하게 배치되고, 상기 제1기판과 마주하는 면에 목표로하는 미세구멍 크기의 타공홈을 형성하며, 그 표면에 상기 박막시트가 거치되는 제2기판;상기 제2기판의 타공홈에 거치된 박막시트의 일부영역이 물리적인 힘에 의해 타공되도록 상기 제1기판에 물리적인 힘을 공급하는 압력공급수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구멍 형성장치
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제 1항에 있어서,상기 압력공급수단은, 상기 제1기판에 유압을 공급하는 유압발생수단인 것을 특징으로 하는 미세구멍 형성장치
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제 1항에 있어서,상기 압력공급수단은:상기 제1기판의 공극 보다 작은 크기를 갖고 표면에 전하를 띄는 미세입자;상기 제1기판과 제2기판에 연결되어 상기 제1기판과 제2기판 사이에 전기장을 인가하는 전기장인가부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구멍 형성장치
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제 3항에 있어서,상기 미세입자는 탄소나노튜브 또는 나노선으로 구비된 것을 특징으로 하는 미세구멍 형성장치
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제 1항에 있어서,상기 제1기판 또는 제2기판을 이송시켜, 상기 제1기판과 제2기판의 간격을 조절하는 이송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구멍 형성장치
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제 1항에 있어서,상기 제1기판과 제2기판의 테두리를 밀폐하는 패킹부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세구멍 형성장치
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제 1항에 있어서,상기 타공홈은 상기 제2기판의 내측으로 요입 형성되거나, 상기 제2기판을 관통하여 형성된 것을 특징으로 하는 미세구멍 형성장치
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제 1항에 있어서,상기 박막시트는 ㎚단위의 두께를 갖고, 상기 제1기판에 형성된 공극은 ㎛단위 이상의 공극을 갖는 것을 특징으로 하는 미세구멍 형성장치
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제2항에 기재된 장치를 이용하여 박막시트에 미세구멍을 형성하는 방법에 있어서, 상기 제1기판과 제2기판 사이에 상기 박막시트를 거치시키는 단계;상기 압력공급수단에서 상기 제1기판으로 유압을 공급하는 단계;를 포함하고, 상기 박막시트는 상기 제1기판을 통해 인가된 유압을 통해 상기 타공홈에 거치된 박막시트의 일부 영역이 기계적 변형 끝에 타공되는 것을 특징으로 하는 미세구멍 형성방법
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제3항에 기재된 장치를 이용하여 박막시트에 미세구멍을 형성하는 방법에 있어서, 상기 제1기판과 제2기판 사이에 상기 박막시트를 거치시키는 단계;상기 전기장인가부를 통해 상기 제1기판과 제2기판 사이에 전기장을 인가하는 단계;를 포함하고, 전기영동 또는 유전영동에 의해 상기 미세입자가 상기 박막시트에 충돌하면서, 상기 타공홈에 거치된 박막시트의 일부영역이 기계적 손상에 의해 타공되는 것을 특징으로 하는 미세구멍 형성방법
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