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미세채널용 몰드의 제조방법, 미세채널용 거푸집의 제조방법 및 미세채널이 형성된 블록의 제조방법(Method for manufacturing a mold for a fine channel, method for manufacturing a die for a fine channel, and method for manufacturing a block formed on which a fine channel is formed)

  • 기술번호 : KST2016006067
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 미세채널용 몰드의 제조방법, 미세채널용 거푸집의 제조방법 및 미세채널이 형성된 블록의 제조방법에 관한 것으로, 감광물질층이 형성된 기재 상에, 포토 리소그래피(photo lithography) 공정을 수행하여, 상기 감광물질층의 깊이 방향을 따라 크로스 링킹 밀도((Cross linking density)에 대한 그래디언트(gradient)를 형성시켜서 노치를 형성하는 단계; 상기 감광물질층에서 상기 노치에 의하여 미세채널에 대응되는 크랙이 진행되는 것이 허용되지 않는 영역에만 노광을 수행하는 단계; 상기 감광물질층을 현상하여, 상기 노치로부터 상기 미세채널에 대응되는 상기 크랙을 진행시키는 단계를 포함한다.
Int. CL B29C 33/44 (2006.01) B29C 33/38 (2006.01) G03F 7/26 (2006.01)
CPC B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 33/3842(2013.01)
출원번호/일자 1020140087653 (2014.07.11)
출원인 울산과학기술원
등록번호/일자 10-1608208-0000 (2016.03.28)
공개번호/일자 10-2016-0008048 (2016.01.21) 문서열기
공고번호/일자 (20160404) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.11)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태성 대한민국 울산광역시 울주군
2 김민석 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전용준 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, 대륭테크노타운 **차 ***호 (가산동)(이연국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0655095-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0067729-04
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0593396-63
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-1044466-16
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.10.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1044459-07
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5176347-51
8 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2016.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0129324-79
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0160951-58
10 등록결정서
Decision to grant		 2016.02.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0158176-23
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
감광물질층이 형성된 기재 상에 포토 리소그래피(photo lithography) 공정을 수행하여, 상기 감광물질층의 깊이 방향을 따라 갈수록 탄성 성질이 점탄성 성질로 변화되는 크로스 링킹 밀도(Cross linking density)에 대한 그래디언트(gradient)를 형성시키면서 노치를 갖는 관통홀을 형성하는 단계;상기 노치를 갖는 관통홀이 형성된 감광물질층에서 상기 노치에 의하여 미세채널에 대응되는 크랙이 진행되는 것이 허용되지 않은 영역은 상기 크로스 링킹 밀도에 대한 그래디언트가 없어지고, 상기 노치에 의하여 미세채널에 대응되는 크랙이 진행되는 것이 허용되는 영역에만 상기 크로스 링킹 밀도에 대한 그래디언트가 남도록 노광을 수행하는 단계; 및상기 노치를 갖는 관통홀이 형성된 감광물질층을 현상하여, 상기 노치로부터 상기 미세채널에 대응되는 상기 크랙을 진행시키는 단계를 포함하는 미세채널용 몰드의 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 노치를 갖는 관통홀을 형성하는 단계은,상기 기재 상에 상기 감광물질층을 형성하는 감광물질을 도포하여 코팅하는 단계;상기 감광물질층 상에 상기 노치를 갖는 관통홀에 대응되는 제1 패턴이 형성된 제1 포토마스크를 배치 후, 빛 에너지를 조사하여 1차 노광하는 단계; 및상기 1차 노광된 상기 감광물질층을 베이크한 후, 현상액으로 1차 현상하는 단계를 포함하는 미세채널용 몰드의 제조방법
3 3
청구항 2에 있어서,상기 1차 현상하는 단계에서는, 상기 감광물질층에서 상기 제1 패턴에 해당하는 영역이 현상액에 녹아 제거되면서 상기 노치를 갖는 관통홀이 형성되는 미세채널용 몰드의 제조방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 노광을 수행하는 단계에서는,상기 노치가 형성된 상기 감광물질층 상에 크랙이 진행되는 것이 허용되는 영역에 대응되는 패턴이 형성된 제2 포토마스크가 배치되는 미세채널용 몰드의 제조방법
5 5
삭제
6 6
청구항 1에 있어서,상기 감광물질은 빛에 의해 경화되는 네거티브 감광물질인 미세채널용 몰드의 제조방법
7 7
청구항 6에 있어서,상기 네거티브 감광물질은 SU-8 폴리머를 포함하는 미세채널용 몰드의 제조방법
8 8
청구항 2에 있어서,상기 크랙을 진행시키는 속도는 상기 1차 노광하는 단계에서 조사되는 상기 빛 에너지의 양으로 조절하는 미세채널용 몰드의 제조방법
9 9
청구항 2에 있어서,상기 크랙이 진행되는 길이는 상기 1차 노광하는 단계에서 조사되는 상기 빛 에너지의 양 또는 상기 크랙을 진행시키는 단계에서 현상하는 시간으로 조절하는 미세채널용 몰드의 제조방법
10 10
청구항 1에 있어서,상기 노치는 각형 구조를 갖는 미세채널용 몰드의 제조방법
11 11
청구항 1에 있어서,상기 노치는 삼각형 형상을 가지고,상기 크랙은,상기 노치의 일면과, 상기 일면에 이웃하는 상기 노치의 타면이 이루는 각도가 90°이상 150°미만이면 하나 형성되는 미세채널용 몰드의 제조방법
12 12
청구항 1 에 있어서,상기 노치는 삼각형 형상을 가지고,상기 크랙은,상기 노치의 일면과, 상기 일면에 이웃하는 상기 노치의 타면이 이루는 각도가 0°이상 90°미만이면 두 개 이상 형성되며, 상기 노치의 각도가 150°이상이면 형성되지 않는 미세채널용 몰드의 제조방법
13 13
청구항 1에 있어서,상기 노치는 너비와 높이를 가지는 삼각형 형상을 가지고,상기 너비 길이와 상기 높이 길이의 사이의 상대비를 이용하여 상기 크랙의 발생 개수를 조절하는 미세채널용 몰드의 제조방법
14 14
삭제
15 15
청구항 1 내지 청구항 4, 청구항 6 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 의하여 제조되는 미세채널용 몰드를 준비하는 단계; 및상기 미세채널용 몰드의 상면 및 둘레면에 수지를 도포하여 경화시키는 단계를 포함하는 미세채널용 거푸집의 제조방법
16 16
청구항 15에 있어서,상기 도포하여 경화시키는 단계에서는,상기 크랙에 채워지는 수지에 의해 상기 크랙에 대응되는 균열돌기가 형성되는 미세채널용 거푸집의 제조방법
17 17
청구항 15에 있어서,상기 수지는 열경화성 수지이며,상기 열경화성 수지는 에폭시를 포함하는 미세채널용 거푸집의 제조방법
18 18
청구항 15에 의해 제조된 미세채널용 거푸집을 준비하는 단계; 및상기 거푸집의 내부에 수지를 공급하여 경화시킨 후, 상기 거푸집과 분리시키는 단계를 포함하는 미세채널이 형성된 블록의 제조방법
19 19
청구항 18에 있어서,상기 거푸집과 분리시키는 단계에서는,균열돌기에 의해 상기 미세채널이 형성되는 미세채널이 형성된 블록의 제조방법
20 20
삭제
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2 미래창조과학부 국립대학법인 울산과학기술대학교 산학협력단 기후변화대응기술개발 바이오연료용 인공미생물에 적합한 최적 발효공정 설계 기술 개발