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(a) 실리콘 웨이퍼 상부에 일정한 형태의 렌즈 몰드를 형성하는 단계;(b) 상기 형성된 렌즈 몰드 상부에 탄성체 폴리머 구조물을 형성하는 단계; 및(c) 상기 형성된 탄성체 폴리머 구조물을 상기 렌즈 몰드로부터 분리하는 단계;를 포함하고,상기 (b) 단계는,(b1) 상기 렌즈 몰드 및 상기 실리콘 웨이퍼 상부에 탄성체 폴리머 혼합액을 주입하는 단계;(b2) 상기 실리콘 웨이퍼의 하부에는 하부 가압판을 위치시키고, 상기 탄성체 폴리머 혼합액의 상부에는 평면판과 상부 가압판을 순차적으로 적층하여 상기 탄성체 폴리머 혼합액에 압력을 가하는 단계; 및(b3) 상기 탄성체 폴리머 혼합액을 경화시켜 상기 탄성체 폴리머 구조물을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 (a) 단계는,(a1) 실리콘 웨이퍼 상부에 포토리지스트를 코팅하는 단계;(a2) 상기 코팅된 포토리지스트 상부에 포토마스크를 적층하는 단계; 및(a3) 상기 적층된 포토마스크 상부에 자외선을 조사하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 제조 방법
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 (b2) 단계에서,상부 및 하부 가압판에 가해지는 압력을 조절하여 상기 탄성체 폴리머 혼합액에 적용되는 압력을 조절하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 (c) 단계는,상기 탄성체 폴리머 구조물을 상기 실리콘 웨이퍼 및 상기 렌즈 몰드로부터 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 렌즈 몰드는 에폭시(epoxy)계, 우레탄(urethane)계, 아크릴레이트(acrylate)계 및 메틸에테르(methylether)계 화합물 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄성체 폴리머 구조물은 실록세인(siloxane)을 갖는 PDMS(polydimethylsioxane) 또는 탄화수소화합물로 구성된 아이소프렌(isoprene)계 폴리머 탄성체 중의 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 제조 방법
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제 1 항, 제 2 항, 제 4 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 따른 헤미실린더 렌즈 제조 방법에 의해 제조된 헤미실린더 렌즈
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제 8 항에 있어서,상기 헤미실린더 렌즈의 넓이는 0
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(a) 제 1 항, 제 2 항, 제 4 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의해 헤미실린더 렌즈를 제조하는 단계; 및(b) 상기 제조된 헤미실린더 렌즈를 슬라이드 글라스에 접합하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 마이크로칩 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 (b) 단계는,(b1) 상기 탄성체 폴리머 구조물의 마이크로 플루이딕 채널의 양끝단과 다수의 플라스틱 튜브를 연결하는 단계;(b2) 상기 탄성체 폴리머 구조물의 하단과 마이크로칩 바닥판의 상단에 플라즈마를 처리하는 단계; 및(b3) 상기 플라즈마 처리된 탄성체 폴리머 구조물의 하단과 상기 마이크로칩 바닥판의 상단을 접촉시켜 결합하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 마이크로칩 제조 방법
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제 10 항에 따른 헤미실린더 렌즈 마이크로칩 제조 방법에 의해 제조된 헤미실린더 렌즈 마이크로칩
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제 12 항에 있어서,상기 마이크로 플루이딕 채널의 넓이와 높이는 50 μm 내지 1000μm 범위이며, 길이는 3 mm 내지 50 mm 범위인 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 마이크로칩
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제 12 항에 있어서,상기 마이크로칩 바닥판은 PDMS 폴리머판, 실리콘 고무판 및 폴리에틸렌 등의 얇은 플라스틱 비닐 판 중 어느 하나를 적용하는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 마이크로칩
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제 12 항에 의해 제조된 상기 헤미실린더 렌즈 마이크로칩을 이용한 광학 스캐닝 방법
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제 15 항에 있어서,상기 광학 스캐닝 방법으로는,상부의 광원장치로부터 조사되는 광학 레이저 빔이 고체 렌즈 칩의 중앙에 있는 고체 렌즈를 통과하는 단계; 및상기 고체 렌즈를 통과한 광학 레이저 빔이 일 방향으로 넓게 펼쳐진 광학 빔의 상태로 하부의 헤미실린더 렌즈로 주입되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 마이크로칩을 이용한 광학 스캐닝 방법
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제 16 항에 있어서,상기 광학 레이저 빔은 굴절각의 차이에 따라 광학스캐닝 기판의 일측에서 타측으로 이동하면서 광학 스캐닝할 수 있는 것을 특징으로 하는,헤미실린더 렌즈 마이크로칩을 이용한 광학 스캐닝 방법
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