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연마 슬러리 조성물(POLISHING SLURRY COMPOSITION)

  • 기술번호 : KST2016007261
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 연마 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 본 발명의 연마 슬러리 조성물은 연마입자; 및 산화제;를 포함하고, 10 Å 내지 1,000 Å 두께의 텅스텐을 연마하고, 텅스텐의 토포그래피를 개선하는 것이다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01) C09K 3/14 (2006.01)
CPC C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020150098372 (2015.07.10)
출원인 주식회사 케이씨텍, 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0024745 (2016.03.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020140111222   |   2014.08.26
법적상태 공개
심사진행상태 보정승인
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.07.10)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 케이씨텍 대한민국 경기도 안성시
2 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주형 대한민국 경기도 안성시
2 홍승철 대한민국 경기도 안성시
3 윤영호 대한민국 경기도 안성시
4 백운규 대한민국 서울특별시 강남구
5 서지훈 대한민국 서울특별시 성동구
6 김기정 대한민국 경기도 오산시 오산

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2015-0669922-48
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0911033-11
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.02.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0115093-89
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0115092-33
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.05.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5070900-17
6 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2017.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0363997-89
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.07.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0674401-60
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0674400-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5176182-94
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0788289-73
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-1229824-77
12 법정기간연장승인서
2017.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0180362-62
13 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2018.01.04 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2018-0010872-90
14 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2018.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0013191-20
15 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2018.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0007568-36
16 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2018.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0038274-41
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0044936-54
18 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.01.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0044937-00
19 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2018.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0010874-74
20 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.02.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0090944-89
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연마입자; 및산화제;를 포함하고,10 Å 내지 1,000 Å 두께의 텅스텐을 연마하고, 텅스텐의 토포그래피를 개선하는 것인,연마 슬러리 조성물
2 2
제1항에 있어서,상기 연마입자는, 금속산화물, 유기물 또는 무기물로 코팅된 금속산화물, 및 콜로이달 상태의 상기 금속산화물로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고, 상기 금속산화물은 실리카, 세리아, 지르코니아, 알루미나, 티타니아, 바륨티타니아, 게르마니아, 망가니아 및 마그네시아로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 연마 슬러리 조성물
3 3
제1항에 있어서,상기 연마입자는 상기 연마 슬러리 조성물 중 0
4 4
제1항에 있어서,상기 산화제는, 과산화수소, 질산 제2 철, 요오드산 칼륨, 과망간산 칼륨, 질산, 아염소산 암모늄, 염소산 암모늄, 요오드산 암모늄, 과붕산 암모늄, 과염소산 암모늄, 과요오드산 암모늄, 아염소산 테트라메틸암모늄, 염소산 테트라메틸암모늄, 요오드산 테트라메틸암모늄, 과붕산 테트라메틸암모늄, 과염소산 테트라메틸암모늄, 과요오드산 테트라메틸암모늄, 4-메틸모폴린 N-옥사이드, 피리딘-N-옥사이드 및 유레아 과산화수소로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인, 연마 슬러리 조성물
5 5
제1항에 있어서,상기 산화제는 상기 연마 슬러리 조성물 중 0
6 6
제1항에 있어서,상기 연마 슬러리 조성물은 과산화수소-프리 또는 1 중량% 미만 과산화수소를 포함하는 것인, 연마 슬러리 조성물
7 7
제1항에 있어서,염산, 질산, 황산, 아세트산, 인산, 붕산, 아미노산, 수산화나트륨, 수산화 칼륨, 암모니아, 암모니아 유도체, 구연산, 주석산, 포름산, 말레인산, 옥살산, 타르타르산 및 초산으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나의 pH 조절제를 더 포함하는 것인, 연마 슬러리 조성물
8 8
제1항에 있어서,상기 연마 슬러리 조성물의 pH는 1 내지 4의 범위를 가지는 것인, 연마 슬러리 조성물
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN106661429 CN 중국 FAMILY
2 KR101660384 KR 대한민국 FAMILY
3 US20170183537 US 미국 FAMILY
4 WO2016032145 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN106661429 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN106661429 CN 중국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.