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가스센서 어레이(GAS SENSOR ARRAY)

  • 기술번호 : KST2016008249
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다종(多種)의 가스 감지가 가능한 가스센서 어레이에 관한 것으로, 일부가 식각된 실리콘 기판 상부에 멤브레인층이 형성되고, 상기 멤브레인층 상부에 복수의 가열 전극 패드와 각 가열 전극 패드로부터 뻗어 있는 가열 전극 패턴들 및 상기 각 가열 전극 패턴을 통해 공급되는 전원에 의해 가열되는 복수의 가열부가 형성되어 있으며, 상기 가열 전극 패턴들 및 복수의 가열부를 감싸는 절연층 상부에 쌍을 이루는 감지 전극 패턴과 상기 감지 전극 패턴 일부를 감싸는 복수의 감지막이 형성되되, 상기 복수의 가열부에 병렬 방식의 전원이 공급되도록 상기 복수의 가열부 각각은 상기 가열 전극 패턴들과 병렬 연결됨을 특징으로 한다.
Int. CL G01N 21/78 (2006.01.01) G01N 27/12 (2006.01.01) H01L 27/02 (2006.01.01)
CPC G01N 21/783(2013.01) G01N 21/783(2013.01) G01N 21/783(2013.01)
출원번호/일자 1020140127519 (2014.09.24)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0035781 (2016.04.01) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.18)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박준식 대한민국 경기도 군포시 고산로***번길 **, *
2 박광범 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 다래 대한민국 서울 강남구 테헤란로 ***, **층(역삼동, 한독타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0907194-98
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-1026089-64
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.07.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0009460-17
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0095979-72
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0343467-67
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0343466-11
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0422272-94
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
일부가 식각된 실리콘 기판 상부에 멤브레인층이 형성되고, 상기 멤브레인층 상부에 복수의 가열 전극 패드와 각 가열 전극 패드로부터 뻗어 있는 가열 전극 패턴들 및 상기 각 가열 전극 패턴을 통해 공급되는 전원에 의해 가열되는 복수의 가열부가 형성되어 있으며, 상기 가열 전극 패턴들 및 복수의 가열부를 감싸는 절연층 상부에 쌍을 이루는 감지 전극 패턴과 상기 감지 전극 패턴 일부를 감싸는 복수의 감지막이 형성되되,상기 복수의 가열부에 병렬 방식의 전원이 공급되도록 상기 복수의 가열부 각각은 상기 가열 전극 패턴들과 병렬 연결됨을 특징으로 하는 가스센서 어레이
2 2
청구항 1에 있어서, 인접하는 상기 가열부 사이의 열 전달을 차단하기 위해 인접하는 복수의 가열부 사이에 상기 멤브레인층과 절연층을 관통하는 열 차단 구멍;을 더 형성함을 특징으로 하는 가스센서 어레이
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 복수의 가열부에서 발생되는 열이 상기 멤브레인층을 통해 외부로 유출되는 것을 최소화하기 위해 상기 복수의 가열부 중 외곽에 위치하는 가열부의 바깥 쪽에 상기 열 차단 구멍;을 더 형성함을 특징으로 하는 가스센서 어레이
4 4
청구항 1 내지 청구항 3중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 가열부는 서로 다른 동작 온도로 가열되어짐을 특징으로 하는 가스센서 어레이
5 5
청구항 1 내지 청구항 3중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 가열부는 고온 동작에서 감지막의 산화 반응에 의한 열화를 최소화하기 위해 백금 재료를 사용함을 특징으로 하는 가스센서 어레이
6 6
청구항 1 내지 청구항 3중 어느 한 항에 있어서, 쌍을 이루는 상기 감지 전극 패턴중 하나의 감지 전극 패턴은 공통 전극 패드에서 연장되어 각 감지막으로 분기되며, 나머지 감지 전극 패턴은 각 감지막에서 연장되어 개별 감지 전극 패드에 연결됨을 특징으로 하는 가스센서 어레이
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청구항 1 내지 청구항 3중 어느 한 항에 있어서, 상기 감지막에 사용되는 감지 재료는 귀금속 첨가물이 혼합된 반도체 금속산화물임을 특징으로 하는 가스센서 어레이
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업부 대양전기공업(주) (산업부)소재부품기술개발사업 (RCMS)초소형 스마트 환경 센서 측정 모듈과 제어용 Chip 개발 및 응용 프로그램 개발