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스퍼터링 타겟용 합금 및 이로 이루어진 스퍼터링 타겟(Alloy for sputtering target and sputtering target consisting of the same)

  • 기술번호 : KST2016009461
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열적, 기계적 안정성이 우수한 합금 및 그 제조방법의 제공을 목적으로 한다. 또한 본 발명은 상기 합금을 이용하여 고내식 특성의 비정질 박막 및 고경도 특성의 질화물 박막 코팅이 가능한 스퍼터링용 합금 타겟 및 그 제조방법의 제공을 또 다른 목적으로 한다. 본 발명의 일 관점에 의하면, 3 이상의 금속원소로 이루어진 합금으로서, 상기 합금은 Zr이 58원자% 내지 80원자%; Cu가 4원자% 내지 26원자%; Fe, Ni 및 Co 중에서 선택된 어느 하나 이상이 4원자% 내지 26원자%;로 이루어진다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/3407(2013.01) C23C 14/3407(2013.01)
출원번호/일자 1020140145897 (2014.10.27)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0049255 (2016.05.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.27)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신승용 대한민국 인천광역시 남동구
2 문경일 대한민국 인천광역시 남동구
3 선주현 대한민국 인천광역시 연수구
4 이장훈 대한민국 인천광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-1026157-67
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.09.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0056679-90
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.02.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0089704-34
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2016.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0318611-56
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2016.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0410049-32
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2016.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0532988-17
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.06.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0636602-15
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-0636588-63
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0584047-78
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2016.09.13 수리 (Accepted) 7-1-2016-0053724-19
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
3 이상의 금속원소로 이루어진 스퍼터링 타겟용 합금으로서,Zr이 58원자% 내지 80원자%; Cu가 4원자% 내지 26원자%; Fe, Ni 및 Co 중에서 선택된 어느 하나 이상이 4원자% 내지 26원자%;로 이루어진, 스퍼터링 타겟용 합금
2 2
제 1 항에 있어서,상기 합금은 비커스 경도 시험의 10kgf의 압입하중 조건에서 크랙이 발생하지 않는, 스퍼터링 타겟용 합금
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 합금에서 고상선 및 액상선 온도는 800℃ 내지 1050℃ 범위에 존재하는, 스퍼터링 타겟용 합금
4 4
제 1항에 있어서, 상기 합금은 용탕을 주조하여 구현한 주조 합금인, 스퍼터링 타겟용 합금
5 5
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 따른 상기 합금으로 이루어진, 스퍼터링 타겟
6 6
제 5 항에 있어서, 불활성 가스 분위기에서 스퍼터링 시 비정질 박막을 구현할 수 있는, 스퍼터링 타겟
7 7
제 5 항에 있어서, 질소 및 불활성 가스를 함유하는 혼합기체 분위기에서 선택 반응성 스퍼터링 시 20GPa 이상의 경도를 가지는 질화물 박막을 구현할 수 있는, 스퍼터링 타겟
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1 WO2016068562 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2016068562 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국생산기술연구원 기관고유임무형, RCOE 육성사업 다기능 나노컴포짓 코팅재료 공정기술