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레이저 다이오드 소자 및 이의 제조 방법(LASER DIODE DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2016010586
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 n 형 클래딩층(cladding layer); n 형 클래딩층 상에 형성되는 제 1 SCH(Separate-Confinement Heterostructure)층; 제 1 SCH층 상에 형성되는 양자 우물층; 양자 우물층 상에 형성되는 제 2 SCH층; 제 2 SCH층 상에 형성되는 p 형 클래딩층; 및 n 형 클래딩층의 소정 지점에 삽입되며, n 형 클래딩층과 이종(異種)의 물질로 구성되는 적어도 하나의 모드 제어층을 포함하는 것을 특징으로 하는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 다이오드 소자가 개시된다.
Int. CL H01S 5/34 (2015.01.01) H01L 21/20 (2006.01.01)
CPC H01S 5/3409(2013.01) H01S 5/3409(2013.01) H01S 5/3409(2013.01)
출원번호/일자 1020140157879 (2014.11.13)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0057520 (2016.05.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.11.07)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허두창 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 최성수 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-1092729-54
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.04 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006987-25
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-1141582-51
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.05.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.07.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0139068-17
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0651644-04
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.11.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1259681-75
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-1259680-29
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번호 청구항
1 1
n 형 클래딩층(cladding layer);상기 n 형 클래딩층 상에 형성되는 제 1 SCH(Separate-Confinement Heterostructure)층;상기 제 1 SCH층 상에 형성되는 양자 우물층;상기 양자 우물층 상에 형성되는 제 2 SCH층;상기 제 2 SCH층 상에 형성되는 p 형 클래딩층; 및상기 n 형 클래딩층의 소정 지점에 삽입되며, 상기 n 형 클래딩층과 이종(異種)의 물질로 구성되는 적어도 하나의 모드 제어층을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자
2 2
제1항에 있어서,상기 적어도 하나의 모드 제어층은,상기 n 형 클래딩층보다 굴절률이 큰 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자
3 3
제1항에 있어서,상기 적어도 하나의 모드 제어층은,상기 제 1 SCH층 또는 제 2 SCH층과 동종(同種)의 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자
4 4
제1항에 있어서,상기 적어도 하나의 모드 제어층은 복수 개이며,복수 개의 모드 제어층 각각은 상기 n형 클래딩층 내에서 소정 간격 이격되어 위치되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자
5 5
제1항에 있어서,상기 제 1 SCH층과 상기 제 2 SCH층의 두께는,동일한 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자
6 6
제1항에 있어서,상기 n형 클래딩층과, 상기 p형 클래딩층은,조성비가 동일한 동종(同種)의 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자
7 7
레이저 다이오드 소자의 제조 방법에 있어서,n 형 클래딩층을 기판 상에 형성하면서, n 형 클래딩층의 소정 지점에 상기 n 형 클래딩층과 이종(異種)의 물질로 구성되는 적어도 하나의 모드 제어층을 형성하는 단계;상기 n 형 클래딩층 상에 제 1 SCH층을 형성하는 단계;상기 제 1 SCH층 상에 양자 우물층을 형성하는 단계;상기 양자 우물층 상에 제 2 SCH층을 형성하는 단계; 및상기 제 2 SCH층 상에 p 형 클래딩층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자의 제조 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 적어도 하나의 모드 제어층은,상기 n 형 클래딩층보다 굴절률이 큰 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자의 제조 방법
9 9
제7항에 있어서,상기 적어도 하나의 모드 제어층은,상기 제 1 SCH층 또는 제 2 SCH층과 동종(同種)의 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 적어도 하나의 모드 제어층은 복수 개이며,복수 개의 모드 제어층 각각은 상기 n형 클래딩층 내에서 소정 간격 이격되어 위치되는 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 제 1 SCH층과 상기 제 2 SCH층의 두께는,동일한 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자의 제조 방법
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제7항에 있어서,상기 n형 클래딩층과, 상기 p형 클래딩층은,조성비가 동일한 동종(同種)의 물질로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 다이오드 소자의 제조 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국전기연구원 기본연구사업 Tapered ridge형 고출력 IR 레이저 다이오드