[KST2015142876][성균관대학교] |
평판 표시 소자 제조에 사용되는 상압 플라즈마 식각 장치 |
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[KST2019023097][성균관대학교] |
수동소자를 구비한 전력공급장치 및 이를 이용한 플라즈마 점화를 위한 전력제공방법 |
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[KST2015144316][성균관대학교] |
전자총 전원공급장치 |
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[KST2023008450][성균관대학교] |
소모성 금속 부재를 포함하는 식각용 플라즈마 처리 장치 |
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[KST2018010941][성균관대학교] |
플라즈마 공정의 식각 종료점 진단방법 |
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[KST2023009633][성균관대학교] |
플라즈마 식각 방법 및 플라즈마 식각 장치 |
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[KST2016014517][성균관대학교] |
의료용 전자가속기의 이극관 전자총 전원공급장치(Power supplying device for diode electron gun in medical electron accelerator) |
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[KST2022022529][성균관대학교] |
그리드 및 기판의 전위 제어를 이용한 건식 식각 방법 |
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[KST2020014017][성균관대학교] |
건식 식각 방법 및 이에 사용되는 식각 전구체 |
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[KST2022016911][성균관대학교] |
액상 전구체를 이용한 원자층 식각 방법 |
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[KST2019022992][성균관대학교] |
플라즈마 발생 장치, 그를 포함하는 기판 처리 장치, 및 그 제어 방법 |
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[KST2019023083][성균관대학교] |
의료용 전자가속기의 3극 전자총용 RF신호 제공장치 |
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[KST2019023192][성균관대학교] |
플라즈마 소스 및 이를 이용한 플라즈마 발생장치 |
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[KST2019022914][성균관대학교] |
3극 전자총용 RF신호 제공장치 |
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[KST2019023174][성균관대학교] |
이온빔 식각 장치 |
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[KST2019012084][성균관대학교] |
플라즈마 발생장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
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[KST2016014130][성균관대학교] |
전자총 전원공급장치(Apparatus for supplying power of electron gun) |
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[KST2019023098][성균관대학교] |
출력전류 제어가 가능한 전력공급장치 및 이를 이용한 전력공급방법 |
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[KST2016014518][성균관대학교] |
의료용 전자가속기의 삼극관 전자총 전원공급장치(Power supplying device for triode electron gun in medical electron accelerator) |
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[KST2023008195][성균관대학교] |
반도체 공정 진단 센서 모듈 및 이를 이용한 반도체 공정 진단 센서 세척 방법 |
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[KST2019016506][성균관대학교] |
DC-AC 인버터를 포함하는 전원 장치 및 전원 제어 방법 |
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[KST2019023087][성균관대학교] |
3극 전자총용 RF신호 제공장치 |
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[KST2015144317][성균관대학교] |
의료용 전자가속기의 전자총 전원공급장치 |
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[KST2022016909][성균관대학교] |
식각 처리 장치 및 식각 처리 방법 |
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[KST2018003870][성균관대학교] |
플라즈마 식각장치의 포커스 링(FOCUS RING OF PLASMA ETCHER) |
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