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플라즈마 식각장치의 포커스 링(FOCUS RING OF PLASMA ETCHER)

  • 기술번호 : KST2018003870
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 식각장치의 포커스 링에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 플라즈마 식각장치의 포커스 링은 기판의 주위에 형성되어 상기 플라즈마가 상기 기판의 상부에 집중되도록 유도하는 플라즈마 식각장치의 포커스 링에 있어서, 상기 포커스 링은 유전율이 다른 물질로 형성되도록 하여 포커스 링으로서의 역할을 함과 동시에 플라즈마에 의한 포커스 링의 식각을 방지할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01J 37/32 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC H01J 37/32642(2013.01) H01J 37/32642(2013.01)
출원번호/일자 1020160125544 (2016.09.29)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0035980 (2018.04.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 염근영 대한민국 서울특별시 강남구
2 박성우 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 이호석 대한민국 서울특별시 서대문구
4 양경채 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0946349-06
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
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번호 청구항
1 1
기판의 주위에 형성되어 상기 플라즈마가 상기 기판의 상부에 집중되도록 유도하는 플라즈마 식각장치의 포커스 링에 있어서,상기 포커스 링은 유전율이 다른 물질로 형성되는 플라즈마 식각장치의 포커스 링
2 2
제 1 항에 있어서,상기 포커스 링의 외부는 유전율이 높은 물질로, 상기 포커스 링의 내부는 유전율이 낮은 물질로 형성되는 플라즈마 식각장치의 포커스 링
3 3
제 2 항에 있어서,상기 포커스 링의 내부는 에어갭으로 형성되는 플라즈마 식각장치의 포커스 링
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.