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X축 방향 공진주파수와 Y축 방향 공진주파수가 서로 다르게 형성되고, 전압이 인가되면 열팽창에 의해 X축 방향 및 Y축 방향으로 동시에 구동력이 발생되도록 형성되며, 상기 구동력은 상기 인가되는 전압의 제곱에 비례하도록 형성되는 두 개의 공진주파수 성분을 갖는 구동기의 전압 인가 방법에 있어서,상기 구동기의 X축 방향 공진주파수 및 Y축 방향 공진주파수를 획득하는 단계(S10);상기 구동기의 X축 방향 공진주파수 성분이 포함된 전압(A)과 상기 구동기의 Y축 방향 공진주파수 성분이 포함된 전압(B)을 합성전압{(A2+B2)1/2}으로 변환시키는 단계(S20); 및상기 변환된 합성전압을 상기 구동기에 인가하여 구동기를 구동시키는 단계(S30);를 포함하여 이루어지며,상기 X축 방향 공진주파수 성분이 포함된 전압(A) 및 Y축 방향 공진주파수 성분이 포함된 전압(B)은, 각각 시간에 따라 전압이 불연속적으로 인가되는 불연속 파형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 두 개의 공진주파수 성분을 갖는 구동기의 전압 인가 방법
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제1항에 있어서,상기 S10단계에서는,상기 구동기에 인가되는 전압의 주파수를 변경시켜가며 상기 구동기를 구동시켜 상기 구동기의 X축 방향 공진주파수 및 Y축 방향 공진주파수를 획득하거나, 상기 구동기가 설계된 이론적인 X축 방향 공진주파수 및 Y축 방향 공진주파수를 이용하는 것을 특징으로 하는 두 개의 공진주파수 성분을 갖는 구동기의 전압 인가 방법
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제1항에 있어서,상기 X축 방향 공진주파수 성분이 포함된 전압(A) 및 Y축 방향 공진주파수 성분이 포함된 전압(B)은, 각각 파형, 주파수, 진폭 및 위상 중 어느 하나 이상이 서로 다른 다수개의 파형을 더하거나 빼서 상기 불연속 파형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 두 개의 공진주파수 성분을 갖는 구동기의 전압 인가 방법
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제1항에 있어서,상기 X축 방향 공진주파수 성분이 포함된 전압(A) 및 Y축 방향 공진주파수 성분이 포함된 전압(B)은, 각각 중심 주파수 및 다수개의 주파수 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 두 개의 공진주파수 성분을 갖는 구동기의 전압 인가 방법
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제1항에 있어서,상기 S20단계 및 S30단계 사이에,상기 변환된 합성전압을 제곱하여 FFT(Fast Fourier Transform; 고속푸리에변환) 응답 그래프를 통해 두 개의 공진주파수 및 상기 두 개의 공진주파수의 정수배에 해당하는 주파수 이외의 부가적인 주파수가 발생되는지를 확인하여 상기 합성전압의 이상 여부를 판단하는 단계(S25)가 더 수행되는 것을 특징으로 하는 두 개의 공진주파수 성분을 갖는 구동기의 전압 인가 방법
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제1항에 있어서,상기 구동기는,구동기 자체의 X축 방향 공진주파수와 Y축 방향 공진주파수가 서로 다르게 형성되거나, 구동기에 결합된 광섬유를 포함하여 이루어져 상기 광섬유를 포함한 구동기의 X축 방향 공진주파수와 Y축 방향 공진주파수가 서로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 두 개의 공진주파수 성분을 갖는 구동기의 전압 인가 방법
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제1항에 있어서,상기 구동기는,제1고정부;상기 제1고정부와 이격되어 배치되는 제2고정부;상기 제1고정부와 제2고정부에 양단이 연결되어 고정되고, 두 개 이상이 한 조로 형성되어 제2고정부에 고정되는 단부가 서로 전기적으로 연결되게 형성되며, X축 방향 공진주파수와 Y축 방향 공진주파수가 서로 다르게 형성되는 구동 암; 및상기 제1고정부에 일측이 고정되고 제2고정부에 타측이 고정되며, 상기 구동 암의 폭방향 일측으로 이격되어 배치되되 높이방향으로 상기 구동 암과 다른 높이에 배치되는 광섬유;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 두 개의 공진주파수 성분을 갖는 구동기의 전압 인가 방법
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