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플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터
- 기술번호 : KST2014046878
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터가 제공된다. 본 발명에 따른 플렉서블 나노제너레이터 제조방법은 희생 기판상에 압전물질층을 포함하는 압전소자층을 적층하는 단계; 상기 압전소자층을 고온에서 열처리하여 결정화하는 단계; 상기 희생 기판을 제거하여 상기 기판으로부터 단위 압전소자들을 분리하는 단계; 및 상기 분리된 단위 압전소자를 플렉서블 기판에 전사하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 따라 제조된 플렉서블 나노제너레이터는 기판의 구부러짐에 따라 전력이 생산되므로, 인체의 움직임 등에 따라 지속적인 전력생산이 가능하다는 장점이 있다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 41/22 (2006.01) H02N 2/00 (2006.01) |
| CPC | H01L 41/1138(2013.01) H01L 41/1138(2013.01) H01L 41/1138(2013.01) H01L 41/1138(2013.01) H01L 41/1138(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020100098331 (2010.10.08) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1207075-0000 (2012.11.26) |
| 공개번호/일자 | 10-2012-0036579 (2012.04.18) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20121130) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2010.10.08) |
| 심사청구항수 | 15 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이건재 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 박귀일 | 대한민국 | 경상북도 구미시 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인 다해 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2010.10.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0651725-12 |
| 2 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.10.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0627743-07 |
| 3 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.12.05 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0962325-03 |
| 4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.12.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0962323-12 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0311794-82 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.06.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0455529-96 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.06.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0455528-40 |
| 8 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.11.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0698080-11 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 삭제 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 기판상에 하부전극/압전물질층/상부전극층의 압전소자층을 적층하는 단계; 상기 압전소자층을 소정 형태로 패터닝하여, 상기 압전소자의 단위소자 영역을 정의하고, 외부의 기판 영역을 노출시키는 단계; 상기 노출된 외부 기판 영역을 비등방식각하여 압전소자를 실리콘 기판으로부터 분리하는 단계; 상기 분리된 압전소자에 전사층을 접촉시킨 후, 상기 압전소자를 상기 전사층에 접착시키는 단계; 상기 전사층에 접착된 압전소자를 플렉서블 기판으로 전사시키는 단계; 상기 전사된 압전소자의 일부 영역을 식각하여 하부 전극을 외부로 노출시키는 단계; 상기 압전소자상에 페시베이션층을 적층한 후, 패터닝하여 상기 하부전극 및 상부전극의 컨택 영역을 외부로 노출시키는 단계; 및 상기 페시베이션층 상에 금속층을 적층한 후, 패터닝하여, 상기 하부 전극 및 상부 전극에 각각 연결되는 전극 라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 4 |
4 제 3항에 있어서, 상기 압전소자층은 내로우 브릿지 형태로 패터닝되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 5 |
5 제 4항에 있어서, 상기 플렉서블 기판에는 광경화성 수지가 도포되어 있으며, 상기 전사층에 접착된 압전소자를 상기 플렉서블 기판에 접촉시킨 후, 광을 조사하여 상기 광경화성 수지를 경화시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 6 |
6 제 3항에 있어서, 상기 상부전극 및 하부전극의 컨택영역은 상기 페시베이션층을 통하여 소정 크기의 홀을 통하여 외부로 노출되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 7 |
7 제 3항에 있어서, 상기 전사층은 폴리디메틸실록산을 포함하는 것을 특징으로 하는 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 8 |
8 제 3항에 있어서, 상기 압전소자의 단위소자 영역은 기판 상에 복수 개 구비되며, 상기 복수개의 단위소자는 동일한 전사층을 통하여 플렉서블 기판에 전사되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 9 |
9 제 3항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터 |
| 10 |
10 벌크 실리콘 상의 실리콘 산화물층상에 백금/BaTiO3/금의 압전소자층을 적층하는 단계; 상기 압전소자층을 내로우 브릿지 형태로 패터닝하여, 상기 압전소자층으로 이루어진 압전소자를 정의하고, 상기 압전소자 외부의 실리콘 기판을 노출시키는 단계; 상기 노출된 외부 실리콘 기판을 비등방식각하여 상기 압전소자를 실리콘 기판으로부터 분리하는 단계; 상기 분리된 압전소자에 전사층을 접촉시킴으로써, 압전소자를 상기 전사층에 접착시키는 단계; 상기 전사층에 접착된 압전소자를 플렉서블 기판으로 전사시키는 단계; 상기 전사된 압전소자의 일부 영역을 식각하여 하부 전극을 외부로 노출시키는 단계; 상기 압전소자 상에 페시베이션층을 적층한 후, 패터닝하여 상기 하부 전극 및 상부 전극의 컨택 홀을 외부로 노출시키는 단계; 및 상기 페시베이션층 상에 금속층을 적층한 후, 패터닝하여, 상기 하부 전극 및 상부 전극에 각각 연결되는 전극 라인을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 11 |
11 제 10항에 있어서, 상기 페시베이션층은 에폭시 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 12 |
12 제 10항에 있어서, 상기 플렉서블 기판에는 UV 경화성 수지가 도포되어 있으며, 상기 전사층에 접착된 압전소자를 상기 플렉서블 기판에 접촉시킨 후, 광을 조사하여 상기 UV 경화성 수지를 경화시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 13 |
13 제 10항에 있어서, 상기 전사층은 폴리디메틸실록산을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 14 |
14 제 10항에 있어서, 상기 압전소자는 기판 상에 복수 개 구비되며, 상기 복수개의 압전소자는 동일한 전사층을 통하여 플렉서블 기판에 동시에 전사되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 15 |
15 제 14항에 있어서, 상기 전극라인은 상기 압전소자의 하부전극 및 상부전극에 각각 연결되는 별도의 금속 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 |
| 16 |
16 제 10항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터 |
| 17 |
17 제 16항에 있어서, 상기 플렉서블 나노제너레이터는 플라스틱 기판 상에 구비된 복수 개의 나노제너레이터 단위소자를 포함하며, 상기 단위 소자는 백금/BaTiO3 /금의 압전소자층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 나노제너레이터 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | KR101203176 | KR | 대한민국 | FAMILY |
| 2 | KR101336196 | KR | 대한민국 | FAMILY |
| 3 | KR101340060 | KR | 대한민국 | FAMILY |
| 4 | WO2012047071 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
| 5 | WO2012047071 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
| 6 | WO2012047071 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 | ||||
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
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| 특허 등록번호 | 10-1207075-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20101008 출원 번호 : 1020100098331 공고 연월일 : 20121130 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20121120 청구범위의 항수 : 15 유별 : H01L 41/22 발명의 명칭 : 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 315,000 원 | 2012년 11월 26일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 259,000 원 | 2015년 10월 29일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 259,000 원 | 2016년 10월 26일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 259,000 원 | 2017년 10월 27일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 335,000 원 | 2018년 11월 01일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 335,000 원 | 2019년 11월 01일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 335,000 원 | 2020년 10월 26일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2010.10.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0651725-12 |
| 2 | 의견제출통지서 | 2011.10.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0627743-07 |
| 3 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.12.05 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-0962325-03 |
| 4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.12.05 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0962323-12 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2012.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0311794-82 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.06.08 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0455529-96 |
| 7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.06.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0455528-40 |
| 8 | 등록결정서 | 2012.11.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0698080-11 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술번호 | KST2014046878 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국과학기술원 |
| 기술명 | 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터 |
| 기술개요 |
플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 나노제너레이터가 제공된다. 본 발명에 따른 플렉서블 나노제너레이터 제조방법은 희생 기판상에 압전물질층을 포함하는 압전소자층을 적층하는 단계; 상기 압전소자층을 고온에서 열처리하여 결정화하는 단계; 상기 희생 기판을 제거하여 상기 기판으로부터 단위 압전소자들을 분리하는 단계; 및 상기 분리된 단위 압전소자를 플렉서블 기판에 전사하는 단계를 포함하며, 본 발명에 따른 플렉서블 나노제너레이터 제조방법 및 이에 따라 제조된 플렉서블 나노제너레이터는 기판의 구부러짐에 따라 전력이 생산되므로, 인체의 움직임 등에 따라 지속적인 전력생산이 가능하다는 장점이 있다. |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 나노소자 제조공정 기술 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345166334 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2010-0009903 |
| 연구과제명 | 플렉시블 디스플레이 신모드 개발 및 특성 향상 기술 연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 200709~201602 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
| 과제고유번호 | 1345187049 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2012R1A2A1A03010415 |
| 연구과제명 | 나노복합소재를 이용한 고효율 나노자가발전기 제작 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201205~201504 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345121182 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2010-0009903 |
| 연구과제명 | 플렉시블 디스플레이 신모드 개발 및 특성 향상 기술 연구 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2010 |
| 연구기간 | 200709~201602 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
| 과제고유번호 | 1345123785 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0068063 |
| 연구과제명 | 바이오-IT 융합 기술을 위한 인쇄가능한 반도체 재료 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2010 |
| 연구기간 | 200905~201204 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
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|---|---|---|
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| [1020120127008] | 레이저를 이용한 소자 분리 방법, 플렉서블 소자 제조방법 | 새창보기 |
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