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서로 다른 제1중합체와 제2중합체를 혼합하여 혼합물을 제조하는 혼합물 제조단계;상기 혼합물을 기판에 적층하여 블록공중합체 박막이 형성된 구조체를 제조하는 박막 형성단계;상기 제2중합체가 상기 제1중합체 상에서 규칙적으로 배열되도록 상기 구조체를 열처리하여 상기 블록공중합체가 자기조립되는 열처리 단계;상기 제2중합체에 금속 이온을 결합시켜 나노 클러스트를 형성하는 결합단계;상기 블록공중합체를 제거하는 제거단계;상기 나노 클러스트가 상기 기판을 관통하여 하방으로 이동함으로써 상기 기판 상에 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성되도록 에칭하는 에칭단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판이며, 상기 혼합물은 상기 기판 상에 스핀 캐스팅(spin casting)되는 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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제2항에 있어서,상기 제1중합체는 폴리스티렌(polystyrene,PS)이며, 상기 제2중합체는 폴리(4-비닐피리딘)(poly(4-vinylpyridine),P4VP)인 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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제3항에 있어서,상기 블록공중합체는 폴리스티렌-블록-폴리(4-비닐피리딘)(polystyrene-b-poly(4-vinylpyridine),PSb-P4VP)인 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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제1항에 있어서,상기 열처리 단계는 상기 구조체를 용매 어닐링(Solvent annealing)하여 상기 블록공중합체가 자기조립 되는 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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제5항에 있어서,상기 용매 어닐링은 톨루엔과 테트라하이드로퓨란 혼합 용매를 이용하는 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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제1항에 있어서,상기 결합단계는 시안화철(Fe(CN)63-) 및 염화백금(PtCl42-) 이 포함된 용액에 상기 블록공중합체를 침지시키는 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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제1항에 있어서,상기 결합단계는 금 이온(Au3+)이 함유된 용액에 상기 블록공중합체를 침지시키는 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제거단계는 상기 블록공중합체를 산소 플라즈마 처리하는 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 에칭단계는, 상기 결합단계에서 결합되어 생성된 금속층이 촉매가 되며, 상기 구조체가 식각액에 침지되어 에칭되는 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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11
제10항에 있어서,상기 식각액은 과산화수소/불화수소가 포함된 혼합액인 것을 특징으로 하는 규칙적으로 배열되는 나노채널이 형성된 구조물 제조방법
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