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특이 광 투과 현상을 위한 나노홀 어레이 기판 및 이를 이용하는 초고해상도 이미지 시스템(Nano-hole array substrate for an extraordinary optical transmission and super resolution imaging system using of the same)

  • 기술번호 : KST2016015116
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 형광처리한 관측대상 내부의 형광물질을 외부 광원을 통해 자극하여 형광발현을 유발하고 이를 이미지화 할 수 있는 특이 광 투과 현상을 위한 나노 홀 어레이 기판 및 이를 이용하는 초고해상도 이미지 시스템에 관한 것이다.본 발명은 본 발명은 소정의 파장을 가지는 빛을 발진시키기 위한 레이저와, 상기 레이저에서 발진된 빛에서 특정 색의 빛만 선택 반사하기 위한 다이크로익 미러와, 상기 다이크로익 미러에 의해 선택 반사된 빛의 사이즈를 조절하기 위한 시준수단과, 상기 시준수단에 의해 사이즈가 조절된 빛이 조사되어 특이 광 투과 현상이 발현되는 나노홀 어레이 기판과, 상기 나노홀 어레이 기판과 시준수단 사이에 구비되어 나노홀 어레이 기판으로 빛이 수직으로 조사되도록 하는 프리즘과, 상기 나노홀 어레이 기판에 의해 형성되는 근접장을 통해 발현되는 형광이미지를 수집하는 대물렌즈 및 상기 대물렌즈에 의해 수집된 형광이미지를 기록하는 전하결합소자(Charge Coupled Device, CCD)를 포함하며, 상기 나노홀 어레이 기판에는 수직으로 조사되는 입사광과 교차되는 방향으로 경사지게 형성되는 다수의 나노홀이 형성되어 나노홀의 직경보다 작은 크기의 광스팟이 형성된다.이와 같은 본 발명에 의하면, 보다 선명한 형광이미지가 출력되는 초고해상도 이미지 시스템이 구성될 수 있다.
Int. CL G02B 21/00 (2006.01) G01N 21/64 (2006.01)
CPC G02B 21/0076(2013.01) G02B 21/0076(2013.01)
출원번호/일자 1020150017866 (2015.02.05)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0096347 (2016.08.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.02.05)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김규정 대한민국 서울특별시 동작구
2 이승훈 대한민국 부산광역시 연제구
3 강태영 대한민국 경기도 용인시 수지구
4 황선희 대한민국 충청북도 청주시 흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성현 대한민국 부산광역시 연제구 중앙대로 ****, *층 (거제동)(아너스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2015-0123979-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.01.08 수리 (Accepted) 9-1-2016-0002207-00
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0438963-39
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2016.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0792088-61
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.09.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0895060-21
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0894664-19
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
11 등록결정서
Decision to grant		 2017.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0098241-42
12 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2017-0744321-81
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번호 청구항
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삭제
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특이 광 투과 현상을 발생시키기 위한 다수의 나노홀이 형성되는 나노홀 어레이 기판에 있어서,상기 나노홀 어레이를 구성하는 하나 이상의 나노홀은 입사광이 가지는 입사방향과 교차되도록 경사지게 형성되고, 상기 나노홀 어레이 기판은,경사 스테이지를 이용하여 포토레지스트가 도포된 웨이퍼를 경사지게 구비하고,상기 웨이퍼 일측에 마스킹 패턴을 형성하며,마스킹 패턴이 형성된 웨이퍼에 수직으로 광원을 조사하여 경사진 가시(可視)의 상(像)을 현상하고,현상된 상(像)에 따라 선택적으로 에칭이 이루어짐으로써 나노홀이 형성되며, 상기 경사진 가시(可視)의 상(像)을 현상하는 과정에서는 마스킹 패턴을 통과하면서 형성되는 굴절각(θ2)과 포토레지스트를 통과하면서 형성되는 굴절각(θ3) 및 두께(d) 그리고, 상기 광원의 입사각(θ1)과 경사 스테이지의 경사각(β) 중 하나 이상을 조절함으로써 상기 나노홀의 직경 및 기울기를 가변시키는 것을 특징으로 하는 나노홀 어레이 기판
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제 2 항에 있어서,광원의 수직 조사를 위하여 노광각 조절수단이 더 이용되는 것을 특징으로 하는 나노홀 어레이 기판
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소정의 파장을 가지는 빛을 발진시키기 위한 레이저;상기 레이저에서 발진된 빛에서 특정 색의 빛만 선택 반사하기 위한 다이크로익 미러;상기 다이크로익 미러에 의해 선택 반사된 빛의 사이즈를 조절하기 위한 시준수단;상기 시준수단에 의해 사이즈가 조절된 빛이 조사되어 특이 광 투과 현상이 발현되는 나노홀 어레이 기판;상기 나노홀 어레이 기판과 시준수단 사이에 구비되어 나노홀 어레이 기판으로 빛이 수직으로 조사되도록 하는 프리즘과,상기 나노홀 어레이 기판에 의해 형성되는 근접장을 통해 발현되는 형광이미지를 수집하는 대물렌즈 및상기 대물렌즈에 의해 수집된 형광이미지를 기록하는 전하결합소자(Charge Coupled Device, CCD)를 포함하며,상기 나노홀 어레이 기판에는,수직으로 조사되는 입사광과 교차되는 방향으로 경사지게 형성되는 다수의 나노홀이 형성됨으로써 나노홀의 직경보다 작은 크기의 광스팟이 형성되며, 상기 나노홀은,경사 스테이지를 이용하여 포토레지스트가 도포된 웨이퍼를 경사지게 구비하고, 상기 웨이퍼 일측에 마스킹 패턴을 형성하며, 마스킹 패턴이 형성된 웨이퍼에 상기 프리즘을 이용하여 수직으로 광원을 조사함으로써 경사진 가시(可視)의 상(像)을 현상하고, 현상된 가시(可視)의 상(像)에 따라 선택적으로 에칭이 이루어져 형성되며,상기 경사진 가시(可視)의 상(像)을 현상하는 과정에서는,마스킹 패턴을 통과하면서 형성되는 굴절각(θ2)과 포토레지스트를 통과하면서 형성되는 굴절각(θ3) 및 두께(d) 그리고, 상기 광원의 입사각(θ1)과 경사 스테이지의 경사각(β) 중 하나 이상을 조절함으로써 상기 나노홀의 직경 및 기울기가 가변되는 것을 특징으로 하는 특이 광 투과 현상을 위한 나노홀 어레이를 이용하는 초고해상도 이미지 시스템
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제 4 항에 있어서, 상기 나노홀 어레이 기판은,전자빔 리소그래피 방법으로 제작되는 것을 특징으로 하는 특이 광 투과 현상을 위한 나노홀 어레이를 이용하는 초고해상도 이미지 시스템
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1 산업통상자원부 카톨릭대학교 산학협력단 바이오의료기기 산업핵심기술개발사업 (의료기기) 3차원 조직투사 현미경 기반 지능형 미세수술시스템 개발