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사전에 설정된 지연시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 광원부;상기 광원부로부터 방출된 광들 중 일부를 부분 반사시키고 상기 광들 중 나머지를 샘플로 입사시키며, 상기 광원부에서의 지연시간과 동일한 시간만큼 지연된 광을 포함하는 광들을 방출하는 경로 간섭부; 및상기 경로 간섭부로부터 방출된 광들을 감지하기 위한 감지부를 포함하고,상기 지연시간은 상기 광원부의 가간섭시간(coherence time)보다 작은 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 광원부는광을 발생시키는 광원;상기 광원으로부터 발생된 광의 일부를 반사하기 위한 제1 부분 반사막; 및상기 제1 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 상기 지연시간만큼 지연시켜 반사하기 위한 반사막을 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제2항에 있어서,상기 광원은 상기 광의 파장을 주기적으로 스캔하여 파장을 가변시켜 광을 방출하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제2항에 있어서, 상기 반사막에서 반사되는 광이 상기 제1 부분 반사막에서 반사되는 광보다 상기 설정된 지연시간만큼 지연되도록 상기 제1 부분 반사막은 상기 반사막으로부터 일정 거리 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 경로 간섭부는상기 광원부로부터 방출된 광들 중 일부를 반사하기 위한 제2 부분 반사막; 및상기 제2 부분 반사막에서 반사되지 않은 광을 통과시켜 상기 샘플로 입사시키기 위한 대물렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 광원부와 상기 경로 간섭부의 사이에 배치되거나 상기 경로 간섭부와 상기 감지부의 사이에 배치되어 입력되는 광의 파장을 주기적으로 스캔하며 파장을 가변시키는 가변 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 감지부는 상기 경로 간섭부로부터 방출되는 광들을 감지하고, 상기 광들의 위상 변화를 측정하기 위한 스펙트로미터(spectrometer)인 것을 특징으로 하는 부분 반사를 이용한 측정 시스템
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