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적어도 하나의 압전소자를 포함하는 능동소자; 및상기 능동소자의 상부에 형성되어 상기 능동소자와 피검사체 간의 음향 임피던스 차이를 정합하는 다층 구조의 정합층을 포함하고, 상기 정합층은 각각 서로 다른 음향 임피던스 크기를 가지는 다수개의 층으로 형성되며, 상기 능동소자에서 발생하는 열을 분산시키는 금속층을 더 포함하며,상기 금속층은 상기 능동소자의 일면에 금속을 형성하거나 상기 정합층을 구성하는 적어도 하나의 층 중에서 음향 임피던스 크기가 가장 큰 층의 일면에 금속을 형성하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서
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제1항에 있어서,상기 정합층은,제1 임피던스 값을 가지는 제1 물질로 구성된 제1층;제2 임피던스 값을 가지는 제2 물질로 구성된 제2층; 및상기 제1층과 상기 제2층 사이에 형성되고 상기 제1 물질과 상기 제2 물질이 결합되어 상기 제1층 및 제2층의 음향 임피던스의 변화폭을 줄이는 제3층을 포함하며, 상기 금속층은 상기 제1층의 일면에 후막 증착되어 형성하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서
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3
제2항에 있어서,상기 정합층은 상기 금속층, 상기 제1층, 상기 제3층, 상기 제2층의 순차적으로 적층되고, 상위층으로 갈수록 음향 임피던스 값이 작아지며, 층 간에 단계적이며 불연속적으로 음향 임피던스 폭이 변화하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서
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4
제1항에 있어서,상기 제3층은 상기 제1층의 제1 물질과 상기 제2층의 제2 물질이 교대로 톱니 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서
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5
제1항에 있어서,상기 금속층의 두께는 상기 정합층을 구성하는 다른 각 층의 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서
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6
제1항에 있어서,상기 금속층은 구리, 금, 은, 알루미늄의 금속물질, 금속 화합물, 적어도 하나 이상의 금속 원료가 선택 또는 혼합되어 음향 임피던스 및 열전도도가 조절되는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서
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7
제2항에 있어서,상기 제2층의 상부면에 적층되어 제3 임피던스 값을 가지는 제3 물질로 구성된 제4층;제4 임피던스 값을 가지는 제4 물질로 구성된 제5층; 및상기 제3층과 상기 제4층 사이에 형성되고 상기 제3 물질과 상기 제4 물질이 결합되어 상기 제4층 및 제5층의 음향 임피던스의 변화폭을 줄이는 제6층을 더 포함하며, 상기 금속층, 상기 제1층, 상기 제3층, 상기 제2층, 상기 제4층, 상기 제6층, 상기 제5층이 순차적으로 적층되고, 상위층으로 갈수록 음향 임피던스 값이 작아지며, 층 간에 단계적이며 불연속적으로 음향 임피던스 폭이 변화하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서
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8
제1항에 있어서,상기 능동소자의 일면에 형성하는 연성 인쇄회로기판; 및상기 금속층과 상기 능동소자의 사이에 형성된 접지 시트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서
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적어도 하나의 압전소자를 포함하는 능동소자;상기 능동소자의 일면에 형성되는 연성 인쇄회로기판;상기 능동소자의 타면에 형성되는 접지 시트;상기 접지 시트의 일면에 형성되는 상기 능동소자와 피검사체 간의 음향 임피던스 차이를 정합하는 다층 구조의 정합층을 포함하고, 상기 정합층은 상기 접지 시트의 상부면에 형성되어 상기 능동소자에서 발생하는 열을 분산시키는 금속층;상기 금속층의 일면에 형성되어 제1 임피던스 값을 가지는 제1 물질로 구성된 제1층;제2 임피던스 값을 가지는 제2 물질로 구성된 제2층; 및상기 제1층과 상기 제2층 사이에 형성되고 상기 제1 물질과 상기 제2 물질이 결합되어 상기 제1층 및 제2층의 음향 임피던스의 변화폭을 줄이는 제3층을 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 트랜스듀서
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