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압전소자와, 상기 압전소자의 일측에 형성되는 정합층을 구비하는 초음파 프로브의 제조 방법에 있어서,인쇄회로기판 상에 압전소자를 적층한 후, 상기 압전소자를 채널 분리하는 압전소자 형성 단계;상기 압전소자의 상면에 그라운드층을 적층한 후, 채널 분리된 상기 압전소자의 사이 공간으로 커프(kerf) 충진 물질을 충진하는, 그라운드층 형성 단계; 및상기 그라운드층의 상면에 정합층을 형성하는, 정합층 형성 단계;를 포함하는 초음파 프로브의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 그라운드층 형성 단계에서, 상기 그라운드층이 적층된 상기 압전소자를 고정시킨 후, 상기 압전소자의 측부를 통해 상기 커프 충진 물질을 제공함으로써 채널 분리된 상기 압전소자의 사이 공간으로 상기 커프 충진 물질을 충진하는 초음파 프로브의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 정합층 형성 단계는,상기 그라운드층에 상기 정합층을 적층한 후, 상기 정합층을 채널 분리하고 이어서 채널 분리된 상기 정합층에 음향 렌즈를 결합시키는 초음파 프로브의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 그라운드층 형성 단계 시, 상기 그라운드층의 하부에 접착제를 도포한 후 채널 분리된 상기 압전소자의 상면에 상기 그라운드층을 본딩(bonding) 결합시키는 초음파 프로브의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 초음파 프로브의 제조 방법은 1
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인쇄회로기판 상에 적층되며, 복수 개의 채널로 분리되고 상기 채널 분리로 인해 발생되는 사이 공간에 커프 충진 물질이 충진되는 압전소자;상기 압전소자의 상부에 결합되는 그라운드층; 및상기 그라운드층의 상부에 적층되는 정합층;을 포함하며,채널 분리된 상기 압전소자에 먼저 상기 그라운드층이 결합된 후, 상기 압전소자의 사이 공간에 상기 커프 충진 물질이 충진되는 초음파 프로브
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제6항에 있어서,채널 분리된 상기 압전소자에 상기 커프 충진 물질을 충진하기 위해, 상기 그라운드층이 적층된 상기 압전소자를 상하부에서 고정시키는 고정 장치 및 상기 압전소자의 측부에 위치하도록 상기 고정 장치에 고정되어 상기 압전소자를 향해 커프 충진 물질을 제공하는 커프 제공부가 이용되는 초음파 프로브
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제6항에 있어서,상기 정합층은 복수 개의 채널로 분리되며, 채널 분리된 상기 정합층의 사이사이 및 상부에 음향 렌즈가 결합되는 초음파 프로브
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제8항에 있어서,상기 압전소자의 채널 분리 또는 상기 정합층의 채널 분리를 위해 정밀 연삭기가 이용 가능한 초음파 프로브
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제6항에 있어서,상기 압전소자를 향하는 상기 그라운드층의 일면에는 채널 분리된 상기 압전소자와의 본딩 결합을 위한 접착제가 도포되는 초음파 프로브
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