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시편(300)을 향하여 입사광(110)을 방사하는 광원(100);상기 입사광의 진행경로 상 상기 광원과 상기 시편 사이에 배치되며, 상기 광원에서 방사된 상기 입사광을 편광시키는 고정 편광자(210);상기 입사광의 진행경로 상 상기 고정편광자와 상기 시편 사이에 배치되며, 상기 고정편광자를 통과한 광이 입사되며 상기 입사된 광을 편광시키는 등속으로 회전하는 등속회전 편광자(220);상기 등속회전 편광자를 통과하여 편광된 광이 상기 시편에 의해 반사 또는 투과되면서 편광상태가 변화되어 입사되며, 상기 입사된 광을 편광시키는 등속으로 회전하는 등속회전 검광자(410);상기 등속회전 검광자를 통과하여 편광된 광이 입사되며, 상기 입사된 광을 편광시키는 고정 검광자(420);상기 고정 검광자를 통과하여 편광된 광이 입사되며, 입사된 광의 노광량을 검출하고 상기 노광량에 상응하는 광의 복사속의 값을 출력하는 광검출기(500); 및상기 등속회전 편광자는 기준 각속도의 기 설정된 배수로 회전하고, 상기 등속회전 검광자는 상기 기준 각속도의 또 다른 기 설정된 배수로 회전하고, 상기 광검출기는 광의 복사속의 값을 적어도 상기 기준 각속도의 회전주기 동안 출력하고, 상기 광검출기가 출력하는 상기 광의 복사속의 값으로부터 상기 광의 복사속 파형에 대한 푸리에 계수를 계산하고 상기 푸리에 계수로부터 상기 시편의 뮬러-행렬 성분을 계산하는 연산부(620);를 포함하는 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서,상기 무색수차 광소자-회전형 타원계측기는,상기 고정 편광자에 부착되어 상기 고정 편광자의 방위각을 제어하기 위한 제 1 동공축 스테핑 모터(211);상기 등속회전 편광자에 부착되어 상기 등속회전 편광자를 등속으로 회전시키기 위한 제 2 동공축 등속회전 모터(221);상기 등속회전 검광자에 부착되어 상기 등속회전 검광자를 등속으로 회전시키기 위한 제 3 동공축 등속회전 모터(411);상기 고정 검광자에 부착되어 상기 고정 검광자의 방위각을 제어하기 위한 제 4 동공축 스테핑 모터(421); 및상기 제 1 동공축 스테핑 모터와 상기 제 4 동공축 스테핑 모터를 제어하는 펄스와 상기 제 2 동공축 등속회전 모터와 상기 제 3 동공축 등속회전 모터의 회전속도를 결정하는 정보를 생성하고 상기 각 구성요소의 동작을 제어하는 제어부(610);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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삭제
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제1항에 있어서,상기 무색수차 광소자-회전형 타원계측기는,상기 푸리에 계수와 상기 뮬러 행렬 성분을 저장하는 저장부(630); 및상기 뮬러 행렬 성분을 전시하는 디스플레이부(640);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서, 상기 노광량에 관한 식은 이고, 상기 광의 복사속 파형의 푸리에 계수의 평균값들은 인 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서,상기 노광량에 관한 식은 이고, 상기 광의 복사속 파형의 보정된 푸리에 계수값들은 인 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서, 상기 노광량에 관한 식은 이고, 상기 광의 복사속 파형의 보정된 푸리에 계수값들은 인 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서,상기 시편에 대한 뮬러 행렬 성분을 벡터로 표현한 해는 인 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서, 상기 무색수차 광소자-회전형 타원계측기는,상기 시편(300)을 지탱해주는 시편 받침대(310);상기 시편의 측정지점을 다른 지점으로 이동해주는 시편이송장치;하나 이상의 시편을 보관할 수 있는 시편 보관용기; 및상기 시편 보관용기로부터 하나의 시편을 꺼내어 상기 시편 받침대로 이동시키는 시편운반장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서,상기 무색수차 광소자-회전형 타원계측기는, 상기 노광량을 측정하기 위해서 상기 시편을 정렬하는 시편 정렬 시스템을 더 포함하고,상기 시편 정렬 시스템은 광을 방사하는 레이저와, 상기 레이저에서 방사되는 광을 시편에 기 설정된 방향으로 입사시키는 광학계와, 상기 시편에 의해 반사된 광을 수광하는 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서, 상기 무색수차 광소자-회전형 타원계측기는, 상기 입사광의 초점이 상기 시편에 맺히게 하는 초점광학계(230); 및상기 시편에 의해 반사 또는 투과된 광을 다시 평행광으로 변화시키는 시준기(430);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서,상기 광원(100)은 제논(xenon) 램프, 텡스텐(tungsten)-할로겐(halogen) 램프, 듀테륨(deuterium) 램프, 가스 레이져, 레이져 다이오드 및 이들에서 방사된 광을 광섬유를 통하여 전달하는 장치로부터 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서, 상기 광검출기(500)는 CCD, CMOS 또는 포토다이오드 소자를 포함하며, 다수의 CCD, CMOS 또는 포토다이오드 소자로 이루어진 화소들이 선형 또는 2차원 평면구조로 배열된 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서, 상기 광검출기(500)는 광전자증배관(Photomultiplier tubes) 또는 포토다이오드를 포함하는 단일 광검출기인 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 있어서, 상기 광검출기(500)는 냉각장치가 구비된 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기
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제 1 항에 따른 무색수차 광소자-회전형 타원계측기를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법에 있어서,시편이 장착되는 시편장착단계(S10);고정 편광자와 고정 검광자 각각의 설정 방위각을 선택하는 방위각선택단계(S20); 상기 고정 편광자와 상기 고정 검광자 각각의 방위각을 상기 설정 방위각으로 이동하는 방위각이동단계(S30); 등속회전 편광자와 등속회전 검광자의 방위각 변화에 따른 입사 광의 노광량을 측정하고, 상기 노광량으로부터 광의 복사속의 값을 출력하는 노광량측정단계(S40); 상기 광의 복사속의 값으로부터 상기 광의 복사속 파형의 푸리에 계수들을 계산하는 푸리에계수계산단계(S50); 상기 푸리에 계수들로부터 상기 시편의 뮬러-행렬 성분들을 계산하는 뮬러-행렬계산단계(S60);를 포함하는 것을 특징으로 하는 무색수차 광소자-회전형 타원계측기를 이용한 시편의 뮬러-행렬 측정 방법
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