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소자 격리 영역 및 소자 동작 영역으로 정의된 기판 상에 에피층을 형성하는 단계;상기 소자 동작 영역의 에피층을 덮고, 제1 방향을 따라 소정의 간격으로 위치하는 개구부들을 가지는 마스크 패턴을 형성하는 단계;상기 마스크 패턴이 형성된 에피층 내부는 활성 영역으로 형성하고, 상기 마스크 패턴이 형성되지 않은 에피층 내부는 이온을 주입하여 비활성 영역을 형성하는 단계;상기 마스크 패턴을 제거하는 단계;상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 소자 동작 영역의 에피칭 내부에 형성된 비활성 영역을 사이에 두고 상기 소자 동작 영역의 에피층 상에 소스 전극과 드레인 전극을 형성하는 단계; 및상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이의 상기 소자 동작 영역의 에피층 상에 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함하는 전계 효과 전력 전자 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 소자 동작 영역의 에피층 내에는,상기 활성 영역과 상기 비활성 영역이 교호적으로 형성되는 전계 효과 전력 전자 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 에피층을 형성하는 단계는,상기 기판 상에 전이층을 형성하는 단계;상기 전이층 상에 버퍼층을 형성하는 단계; 및상기 버퍼층 상에 배리어층을 형성하는 단계를 포함하는 전계 효과 전력 전자 소자 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 비활성 영역은,상기 배리어층을 가로질로 버퍼층까지 형성되는 전계 효과 전력 전자 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 비활성 영역은 상기 소자 격리 영역의 에피층 내부에 형성된 제1 비활성 영역; 및 상기 소자 동작 영역의 에피층 내부에 형성된 제2 비활성 영역을 포함하는 전계 효과 전력 전자 소자 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 제1 비활성 영역은,상기 소자 동작 영역의 에피층을 둘러싸는 전계 효과 전력 전자 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 개구부들은,일정한 간격 또는 서로 다른 간격으로 형성되는 전계 효과 전력 전자 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 개구부들은,동일한 폭과 길이로 형성되거나 서로 다른 폭과 길이로 형성되는 전계 효과 전력 전자 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 마스크 패턴이 형성된 에피층 내부는 활성 영역으로 형성하고, 상기 마스크 패턴이 형성되지 않은 에피층 내부는 이온을 주입하여 비활성 영역을 형성하는 단계는,임플란트(Implant) 공정을 통해, 상기 마스크 패턴이 형성되지 않은 에피층 내부에 소자의 영역을 비활성하기 위한 이온을 주입시켜 상기 비활성 영역을 형성하는 전계 효과 전력 전자 소자 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 주입되는 이온은,인(phosphorus) 이온을 포함하는 전계 효과 전력 전자 소자 제조 방법
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소자 격리 영역 및 소자 동작 영역으로 정의된 기판 상에 위치하는 에피층;상기 소자 동작 영역의 에피층 상에 제1 방향으로 서로 이격되어 위치하는 소스 전극 및 드레인 전극;상기 소자 동작 영역의 에피층 상에 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이에 위치하는 게이트 전극을 포함하되,상기 소자 동작 영역의 에피층 내에는 상기 소스 전극과 상기 드레인 전극 사이에서 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 서로 교호적으로 위치하는 활성 영역 및 비활성 영역을 포함하는 전계 효과 전력 전자 소자
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제11항에 있어서,상기 에피층은,상기 기판 상에 순차적으로 위치하는 전이층, 버퍼층 및 배리어층을 포함하는 전계 효과 전력 전자 소자
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제11항에 있어서,상기 비활성 영역은,상기 배리어층을 가로질로 버퍼층까지 위치하는 전계 효과 전력 전자 소자
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제11항에 있어서,상기 비활성 영역은 제2 비활성 영역이고, 상기 소자 격리 영역의 에피층 내에는 상기 소자 동작 영역의 에피층을 둘러싸는 제1 비활성 영역을 포함하는 전계 효과 전력 전자 소자
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제14항에 있어서,상기 제1 비활성 영역 및 제2 비활성 영역은,인(phosphorus) 이온을 포함하는 전계 효과 전력 전자 소자
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제11항에 있어서,상기 활성 영역 및 상기 비활성 영역은,일정한 간격 또는 서로 다른 간격으로 서로 교호적으로 위치하는 전계 효과 전력 전자 소자
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제11항에 있어서,상기 활성 영역 및 상기 비활성 영역은,동일한 폭과 길이을 가지거나 서로 다른 폭과 길이를 가지는 전계 효과 전력 전자 소자
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