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질화물 반도체 장치 및 그 제조 방법(NITRIDE SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2016017908
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 상시 불통형(normally-off) 질화물 반도체 소자를 제공하기 위한 것이다. 특히, 본 발명은 기판 표면에 패턴 된 유전체 마스크를 이용한 선택성장 방법을 통해 기존의 건식 식각 공정을 대체하는 질화물 반도체 소자 구조 및 그 제조 방법을 제공하기 위한 것이다. 이를 위한, 본 발명은 제1 질화물층을 사파이어 기판에 증착하는 단계, 유전체 마스크를 상기 제1 질화물층에 패터닝 하는 단계 상기 유전체 마스크 상층에 제2 질화물을 패터닝 하는 단계 및 상기 제2 질화물을 유기금속 기상 성장법을 이용하여 선택 성장시키는 단계를 포함하는 질화물 반도체 소자 구조 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 33/00 (2010.01)
CPC H01L 33/0075(2013.01) H01L 33/0075(2013.01)
출원번호/일자 1020150046979 (2015.04.02)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0119324 (2016.10.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성복 대한민국 대전광역시 유성구
2 배성범 대한민국 대전광역시 유성구
3 고영호 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0325651-02
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1030830-06
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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제1 질화물층을 사파이어 기판에 증착하는 단계;유전체 마스크를 상기 제1 질화물층에 패터닝 하는 단계;상기 유전체 마스크 상층에 제2 질화물을 패터닝 하는 단계; 및상기 제2 질화물을 유기금속 기상 성장법을 이용하여 선택 성장시키는 단계;를 포함하는 질화물 반도체 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국전자통신연구원 국제공동기술개발사업 의료 및 정밀가공기기용 자외선(Deep UV 반도체 레이저개발