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시편이 위치되는 최종단;상기 최종단의 X축 및 Y축 중 적어도 하나의 방향으로 상기 최종단을 이송시키는 구동부;상기 최종단의 이송방향을 가이드하는 가이드부;내부에 상기 구동부 및 상기 가이드부를 포함하고, 상기 최종단과 결합되어 스테이지의 본체를 형성하는 베이스;일단이 상기 최종단과 연결된 제1 힌지부; 및상기 구동부를 둘러싸는 브릿지 구조로 형성되고, 상기 제1 힌지부의 타단과 연결되어 상기 구동부로부터 발생된 측방향의 신장력을 상기 최종단의 방향으로 상기 제1 힌지부에 전달하는 제2 힌지부를 포함하고,상기 구동부는 상기 최종단을 이송하기 위한 외력을 발생시키는 압전소자가 상기 최종단의 모서리 변과 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지
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제 1항에 있어서,상기 구동부는,상기 베이스의 일측면에 배치되는 제1 구동부; 및상기 최종단의 중심을 기준으로 xy평면상에서 상기 제1 구동부와 직교하는 축상에 배치되는 제2 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지
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제 3항에 있어서,상기 구동부는 압전소자가 구비된 증폭 메커니즘(amplification mechanisms)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지
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제 4항에 있어서,상기 증폭 메커니즘은,브리지 구조(bridge structure)로 형성되고, 상기 형성된 브리지 구조의 내부에 PZT 액츄에이터(piezoelectric actuator)위치되어 형성되고, 나머지가 제2 힌지부로 연결되어 형성되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지
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제 3항에 있어서,상기 가이드부는,상기 제1 구동부와 Y축 대칭으로 배치되는 제1 가이드부; 및상기 제2 구동부와 X축 대칭으로 배치되는 제2 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지
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제 6항에 있어서,상기 가이드부는,강체(rigid body)로 형성되고, 상기 형성된 강체의 구조가 제1 힌지부 및 제3 힌지부와 연결되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지
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제 6항에 있어서,상기 제1 구동부가 상기 최종단을 Y축 방향으로 이송시킬 경우, 상기 제1 가이드부는 Y축 방향을 지지하여 이송되는 방향을 가이드하고, 상기 제2 구동부가 상기 최종단을 X축 방향으로 이송을 시킬 경우, 상기 제2 가이드부는 X축 방향을 지지하여 이송되는 방향을 가이드하는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지
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제 1항에 있어서,상기 베이스는,센서가 구비되는 센서고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지
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제 1항, 제 3항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 따른 유연기구 메커니즘을 이용한 중공형 2축 직선운동 스테이지를 이용하여 구성되는 측정장치
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