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일면 상에 놓인 관찰대상에서 나온 빛 중 소멸파를 이용하여 상기 관찰대상의 상을 형성하고, 상기 관찰대상의 상을 확대할 수 있는 하이퍼렌즈층; 및상기 하이퍼렌즈층의 타면을 덮으며 상기 하이퍼렌즈층을 지지하는 기판을 포함하되,적어도 상기 관찰대상이 놓여질 때, 상기 하이퍼렌즈층의 상기 일면은 평면을 형성하고,상기 하이퍼렌즈층은 일측 외표면이 상기 일면을 이루도록 편평한 형태로 상기 기판에 적층되는 주렌즈층으로 이루어지며,상기 기판은 플렉서블(flexible)하고, 상기 관찰대상이 상기 일면 상에 놓인 후 상기 하이퍼렌즈층의 상기 일면이 오목한 곡면이 되도록 휘어져 휘어진 상태로 고정되는초고분해능 렌즈
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제 1 항에 있어서,상기 하이퍼렌즈층은,일측 외표면이 상기 일면을 이루는 평판 형상의 보조렌즈층; 및외표면의 적어도 일부가 오목하게 형성되고, 상기 오목한 부분이 상기 보조렌즈층을 향하도록 상기 보조렌즈층의 타측에 적층되는 주렌즈층을 포함하는 초고분해능 렌즈
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제 2 항에 있어서,상기 오목한 부분은 반구(hemisphere)형을 이루는 초고분해능 렌즈
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제 2 항에 있어서,상기 보조렌즈층 및 상기 주렌즈층은, 각각 복수의 유전체층과 복수의 금속층이 서로 번갈아가며 적층되어 형성된 것인 초고분해능 렌즈
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5
제 4 항에 있어서,상기 유전체층은 티타늄옥사이드이고, 상기 금속층은 은(Ag)인 초고분해능 렌즈
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제 4 항에 있어서,상기 유전체층은 실리콘(Si)이고, 상기 금속층은 은(Ag)인 초고분해능 렌즈
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제 4 항에 있어서,상기 보조렌즈층의 유전체층은 상기 주렌즈층의 유전체층과 상이한 물질로 이루어진 초고분해능 렌즈
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8
제 7 항에 있어서,상기 금속층은 은(Ag)이고,상기 보조렌즈층의 유전체층은 티타늄옥사이드이고,상기 주렌즈층의 유전체층은 실리콘(Si)을 포함하는 물질인 초고분해능 렌즈
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9
제 8 항에 있어서,상기 주렌즈층의 유전체층은 비정질 실리콘(amorphous silicon) 박막인 초고분해능 렌즈
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제 5 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 보조렌즈층의 유전체층과 금속층의 개수는 상기 주렌즈층의 유전체층과 금속층의 개수와 상이한 초고분해능 렌즈
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11
제 10 항에 있어서,상기 보조렌즈층은 6개의 유전체층과 7개의 금속층이 교대로 적층된 것이고,상기 주렌즈층은 9개의 유전체층과 9개의 금속층이 교대로 적층된 것인 초고분해능 렌즈
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제 11 항에 있어서,상기 보조렌즈층의 금속층은 30 nm, 33 nm 및 66 nm 중 어느 하나의 두께를 갖고, 상기 보조렌즈층의 유전체층은 28 nm의 두께를 가지며,상기 주렌즈층의 유전체층과 금속층은 각각 15 nm의 두께를 갖는 초고분해능 렌즈
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13
제 2 항에 있어서,상기 주렌즈층은 복수의 유전체층과 복수의 금속층이 서로 번갈아가며 적층되어 형성된 것이고,상기 보조렌즈층은 은(Ag)으로 이루어진 금속층인 초고분해능 렌즈
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14
제 13 항에 있어서,상기 주렌즈층의 유전체층 및 금속층은 각각 15 nm의 두께를 갖고,상기 보조렌즈층은 50 nm의 두께를 갖는 초고분해능 렌즈
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS) 및 폴리이미드(polyimide) 중 어느 하나로 이루어진 초고분해능 렌즈
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제 1 항에 있어서,상기 기판의 상기 하이퍼렌즈층과 접촉되는 표면에는 요철이 형성된 초고분해능 렌즈
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18
제 1 항에 있어서,상기 주렌즈층은 복수의 유전체층과 복수의 금속층이 서로 번갈아가며 적층되어 형성된 것이고,상기 유전체층은 실리콘(Si) 박막이고, 상기 금속층은 은(Ag)인 초고분해능 렌즈
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19
제 18 항에 있어서,상기 유전체층 및 상기 금속층은 각각 15 nm의 두께를 갖는 초고분해능 렌즈
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가시광선을 조사하는 광원부;일면 상에 관찰대상이 놓이고, 상기 광원부로부터 조사된 광이 상기 일면에 입사되는 초고분해능 렌즈; 및상기 초고분해능 렌즈의 타면으로부터 방출되는 광을 집광하는 대물렌즈를 포함하되,상기 초고분해능 렌즈는, 상기 관찰대상에서 나온 빛 중 소멸파를 이용하여 상기 관찰대상의 상을 형성하고, 상기 관찰대상의 상을 확대할 수 있는 하이퍼렌즈층; 및상기 하이퍼렌즈층의 타면을 덮으며 상기 하이퍼렌즈층을 지지하는 기판을 포함하고,적어도 상기 관찰대상이 놓여질 때, 상기 하이퍼렌즈층의 상기 일면은 평면을 형성하고,상기 하이퍼렌즈층은 일측 외표면이 상기 일면을 이루도록 편평한 형태로 상기 기판에 적층되는 주렌즈층으로 이루어지며,상기 기판은 플렉서블(flexible)하고, 상기 관찰대상이 상기 일면 상에 놓인 후 상기 하이퍼렌즈층의 상기 일면이 오목한 곡면이 되도록 휘어져 휘어진 상태로 고정되는현미경 장치
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제 20 항에 있어서,상기 하이퍼렌즈층은,일측 외표면이 상기 일면을 이루는 평판 형상의 보조렌즈층; 및외표면의 적어도 일부가 오목하게 형성되고, 상기 오목한 부분이 상기 보조렌즈층을 향하도록 상기 보조렌즈층의 타측에 적층되는 주렌즈층을 포함하는 현미경 장치
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제 20 항에 있어서,상기 기판을 휘어진 상태로 유지하는 형상변형부를 더 포함하는 현미경 장치
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