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빛을 투과시킬 수 있는 기판;상기 기판 상의 일부에 제공되고, 빛의 편광 상태를 변환시킬 수 있는 편광 변환부를 포함하고, 상기 기판에 투과된 기판투과 빛과 상기 편광 변환부에 투과된 편광변환 빛은 초점 거리에서 보강 간섭을 일으키는메타표면 존 플레이트
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제1 항에 있어서,상기 편광 변환부는, 서로 중첩되지 않는 복수 개의 링 형상으로 제공되는메타표면 존 플레이트
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제1 항에 있어서,상기 편광 변환부는,직육면체 형상으로 제공되는 복수 개의 나노 구조체를 포함하는메타표면 존 플레이트
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제3 항에 있어서,각각의 상기 나노 구조체의 길이는 170 nm 내지 210nm, 폭은 80nm 내지 120nm로 제공되는메타표면 존 플레이트
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제3 항에 있어서,상기 기판은 이산화규소(SiO2)로 제공되고,상기 나노 구조체는 수소화 비정질 실리콘으로 제공되는메타표면 존 플레이트
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제1 항에 있어서,상기 기판투과 빛과 상기 편광변환 빛의 편광 상태는 서로 직교(orthogonal)하는메타표면 존 플레이트
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제1 항에 있어서,초점 거리에서 빛의 세기는 를 나타내고,기판투과 빛과 편광변환 빛이 서로 직교(orthogonal) 함으로써, 초점 거리에서 빛의 세기는 2가 되는
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제6 항에 있어서,입사 빛이 좌원편광(left-handed circular-polarization)된 빛으로 제공되는 경우, 기판을 투과한 기판투과 빛은 편광 상태의 변화 없이 좌원편광(left-handed circular-polarization)된 빛으로 나오고,편광 변환부를 투과한 편광변환 빛은 편광 상태가 변화되어 우원편광(right-handed circular-polarization)된 빛으로 나오고,좌원편광(left-handed circular-polarization)된 빛과 우원편광(right-handed circular-polarization)된 빛은 초점 거리에서 합쳐지는메타표면 존 플레이트
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제6 항에 있어서,입사 빛이 우원편광(right-handed circular-polarization)된 빛으로 제공되는 경우, 기판을 투과한 기판투과 빛은 편광 상태의 변화 없이 우원편광(right-handed circular-polarization)된 빛으로 나오고,편광 변환부를 투과한 편광변환 빛은 편광 상태가 변화되어 좌원편광(left-handed circular-polarization)된 빛으로 나오고, 좌원편광(left-handed circular-polarization)된 빛과 우원편광(right-handed circular-polarization)된 빛은 초점 거리에서 합쳐지는메타표면 존 플레이트
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제1 항에 있어서,상기 기판의 일부는 편광 변환부로 덮혀 있으며, 상기 기판의 다른 일부는 외부로 노출되는메타표면 존 플레이트
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제2 항에 있어서,상기 링 형상의 편광 변환부의 반경은 하기 식을 따르는 메타표면 존 플레이트
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제3 항에 있어서,상기 나노 구조체를 투과하는 빛은 상기 나노 구조체에서 자기 쌍극자 공명(magnetic dipole resonances)을 일으키는메타표면 존 플레이트
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빛을 투과시킬 수 있도록 기판을 형성하는 단계;상기 기판 상에 편광 상태를 변환시킬 수 있는 편광 변환부를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 편광 변환부를 형성하는 단계는,상기 기판에 투과된 기판투과 빛과 상기 편광 변환부에 투과된 편광변환 빛은 초점 거리에서 보강 간섭을 일으키도록 복수 개의 나노 구조체를 형성하는 단계를 포함하는메타표면 존 플레이트의 제조방법
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제13 항에 있어서,상기 복수 개의 나노 구조체는 크롬이 증착 된 후, 리프트 오프 공정을 통해 구현되는메타표면 존 플레이트의 제조방법
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