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무연 압전체 박막 구조물의 제조 방법(METHOD OF MANUFACTURING A LEAD-FREE PIEZOELECTRIC THIN LAYERED STRUCTURE)

  • 기술번호 : KST2016019711
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 무연 압전체 박막 구조물의 제조 방법에 있어서, 챔버 내에 배치된 척 상에 기판을 장착하고, 척과 마주보도록 세라믹 타겟을 배치한다. 이후, 세라믹 타겟을 이용하여 기판 상에 무연 압전체 박막을 형성한다. 여기서, 세라믹 타겟은, (1-y)(NaxK1-x)NbO3 + ymol% 산화물 (CaTiO3 또는 BaTiO3) (x는 0≤x≤1, y는 0 003c# y ≤ 10.0) 의 조성식을 갖고, 무연 압전체 박막을 형성하기 위하여, 무연 압전체 박막을 이루는 세라믹 물질의 나노 결정화 온도 이상 및 고분자 기판을 이루는 물질의 전이 온도 이하의 범위 내의 공정 온도에서 물리적 기상 증착 공정이 수행된다.
Int. CL H01L 41/187 (2006.01) H01L 41/39 (2013.01) C01G 23/04 (2006.01)
CPC H01L 41/187(2013.01)H01L 41/187(2013.01)H01L 41/187(2013.01)H01L 41/187(2013.01)
출원번호/일자 1020150071121 (2015.05.21)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0136901 (2016.11.30) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.05.21)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 남산 대한민국 서울특별시 강남구
2 김보연 대한민국 서울특별시 은평구
3 김대현 대한민국 충청남도 서천군
4 이태호 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-0489808-74
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.01.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0003408-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0083007-90
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.04.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0318603-91
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.08.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0558382-04
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.10.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0955897-15
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0956169-63
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2017.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0073689-52
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.03.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0276905-34
11 등록결정서
Decision to grant
2017.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0363484-79
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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챔버 내에 배치된 척 상에 기판을 장착하는 단계; 상기 척과 마주보도록 세라믹 타겟을 배치하는 단계; 및상기 세라믹 타겟을 이용하여 상기 기판 상에 무연 압전체 박막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 세라믹 타겟은, (1-y)mol%(NaxK1-x)NbO3 + ymol% 산화물 (CaTiO3 또는 BaTiO3) (상기 x는 0≤x≤1, y는 0 003c# y ≤ 10
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제1항에 있어서, 상기 물리적 기상 증착 공정은 스퍼터링 공정 또는 펄스 레이저 증착(pulsed laser deposition; PLD) 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 무연 압전체 박막 구조물의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.