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복수의 제1 지능형 재료와 상기 복수의 제1 지능형 재료를 지지하는 제1 베이스 재료를 포함하여 이루어지며 제1 방향으로 변형되는 제1 구동부;복수의 제2 지능형 재료와 상기 복수의 제2 지능형 재료를 지지하는 제2 베이스 재료를 포함하여 이루어지며 제2 방향으로 변형되는 제2 구동부; 및상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부 사이에 위치하여 강성을 조절할 수 있는 강성 조절부를 포함하여 이루어진 고속 구동기
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제1항에 있어서, 상기 복수의 제1 지능형 재료는 서로 동일한 방향으로 배열되어 있고, 상기 복수의 제2 지능형 재료는 서로 동일한 방향으로 배열되어 있고, 상기 제1 구동부가 변형되는 제1 방향과 상기 제2 구동부가 변형되는 제2 방향은 서로 상이한 고속 구동기
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3
제1항에 있어서, 상기 강성 조절부는 제1 강성을 가지는 고분자 수지로 이루어진 제1 강성 조절부 및 제2 강성을 가지는 고분자 수지로 이루어진 제2 강성 조절부를 포함하여 이루어지고, 상기 제1 강성 조절부와 상기 제2 강성 조절부는 서로 접하는 고속 구동기
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제3항에 있어서, 상기 제1 강성 조절부는 섬 구조로 이루어지고, 상기 제2 강성 조절부는 상기 제1 강성 조절부 사이에 형성되어 있는 고속 구동기
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5
제3항에 있어서, 상기 제1 강성 조절부와 상기 제2 강성 조절부는 서로 동일한 방향으로 교대로 배열되어 있는 고속 구동기
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6
제3항에 있어서, 상기 강성 조절부는 상기 제1 강성 조절부와 상기 제2 강성 조절부 중 적어도 하나에 삽입된 강성 변경 장치를 추가로 포함하는 고속 구동기
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7
제6항에 있어서, 상기 강성 변경 장치는 지능형 재료를 포함하는 고속 구동기
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제6항에 있어서, 상기 강성 변경 장치는 용융 재료 및 가열 수단을 포함하는 고속 구동기
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제1항에 있어서, 상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 강성 조절부 중 적어도 하나에 공극이 구비되어 있는 고속 구동기
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10
제1항에 있어서, 유체가 이동할 수 있는 채널 및 상기 채널과 접하는 발습층을 추가로 포함하는 고속 구동기
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11
제10항에 있어서, 상기 채널은 상기 제1 구동부 및 제2 구동부 중 적어도 하나의 구동부의 표면에 마련된 고속 구동기
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12
제10항에 있어서, 상기 채널은 상기 제1 구동부 및 제2 구동부 중 적어도 하나와 상기 발습층 사이에 추가로 구비된 채널 형성층의 표면에 마련된 고속 구동기
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13
제1항에 있어서, 상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부, 및 상기 강성 조절부의 일측에 수동부가 추가로 구비되고, 상기 수동부는 상기 제1 구동부 또는 상기 제2 구동부가 동작할 때 함께 움직이는 고속 구동기
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14
구동 속도를 결정하고, 결정한 구동 속도에 따라 구동기의 고유 진동수를 결정하는 단계;구동 변위를 결정하고, 결정한 구동 변위에 따라 구동기의 길이를 결정하는 단계;상기 결정한 고유 진동수와 구동기의 길이를 고려하여 구동기의 형태와 구동기의 강성을 결정하는 단계; 및상기 결정한 구동기의 강성에 따라 강성 조절부의 구조를 결정하는 단계를 포함하는 고속 구동기의 설계 방법
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15
제14항에 있어서, 상기 구동기의 형태를 결정하는 단계는 복수의 제1 지능형 재료와 상기 복수의 제1 지능형 재료를 지지하는 제1 베이스 재료를 포함하여 이루어지며 제1 방향으로 변형되는 제1 구동부, 복수의 제2 지능형 재료와 상기 복수의 제2 지능형 재료를 지지하는 제2 베이스 재료를 포함하여 이루어지며 제2 방향으로 변형되는 제2 구동부, 및 상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부 사이에 위치하여 강성을 조절할 수 있는 강성 조절부의 형태를 결정하는 단계를 포함하는 고속 구동기의 설계 방법
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제15항에 있어서, 상기 구동기의 형태를 결정하는 단계는 상기 제1 구동부, 상기 제2 구동부 및 상기 강성 조절부에 공극을 형성할지 여부를 결정하는 단계를 포함하는 고속 구동기의 설계 방법
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제15항에 있어서, 상기 구동기의 강성을 결정하는 단계는 상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부의 강성을 고려하여 상기 강성 조절부의 강성 범위를 결정하는 단계를 포함하는 고속 구동기의 설계 방법
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제14항에 있어서, 상기 강성 조절부의 구조를 결정하는 단계는 제1 강성을 가지는 고분자 수지로 이루어진 제1 강성 조절부 및 제2 강성을 가지는 고분자 수지로 이루어진 제2 강성 조절부의 재료와 형태를 결정하는 단계를 포함하는 고속 구동기의 설계 방법
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제14항에 있어서, 상기 강성 조절부의 구조를 결정하는 단계는 상기 강성 조절부를 고정식으로 형성할지 가변식으로 형성할지 여부를 결정하는 단계를 포함하는 고속 구동기의 설계 방법
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