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고정된 제 1 파장()을 가지는 제 1 레이저광을 발진하는 파장 고정 레이저;한 주기 동안 기설정된 최소파장에서 기설정된 최대파장으로 고속으로 가변하는 제 2 파장()을 가지는 제 2 레이저광을 발진하는 파장 훑음 레이저;파장 훑음 반복률과 같은 주파수로 변조된 전압을 파장 훑음 레이저에 인가하여, 제 2 파장이 상기 최소파장에서 상기 최대파장으로 상기 한 주기 동안 가변하게 하는 구동부;상기 제 1 레이저광과 상기 제 2 레이저광을 결합하여 혼합광을 형성하고,상기 혼합광을 제 1 혼합광과 제 2 혼합광으로 분기하는 커플러;상기 커플러에서 분기된 상기 제 1 혼합광이 입력되어 제 1 파장()에 대응하는 주파수(, c는 진공에서 광속)와 제 2 파장()에 대응하는 주파수()의 차이값에 해당하는 주파수()를 갖는 테라헤르츠파를 출력하는 발생기;상기 발생기로부터 출력된 상기 테라헤르츠파가 조사되는 샘플;상기 커플러에서 분기된 상기 제 2 혼합광과 샘플을 투과 또는 반사된 테라헤르츠파가 입력되어 광전류를 생성하는 검출기;상기 광전류를 디지털 데이터로 변환하여 획득하고 출력하는 데이터획득부; 및상기 출력된 디지털 데이터로부터 주파수 영역 데이터를 생성하고, 상기 주파수 영역 데이터를 고속푸리에변환하여 시간 영역의 데이터를 생성하고, 상기 시간 영역의 데이터에 근거하여 상기 샘플의 두께를 연산하는 연산부;를 포함하며,상기 연산부는상기 검출기에 상기 제 2 혼합광과 상기 샘플을 투과한 테라헤르츠파가 입력되는 경우에,상기 샘플의 두께를 연산하는 식으로 을 이용하며,상기 검출기에 상기 제 2 혼합광과 상기 샘플에 반사된 테라헤르츠파가 입력되는 경우에,상기 샘플의 두께를 연산하는 식으로 을 이용하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 한 주기는 100 Hz 이상의 파장 훑음 반복률의 역수인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 연산부는상기 검출기에 상기 제 2 혼합광과 상기 샘플을 투과한 테라헤르츠파가 입력되는 경우에,테라헤르츠파가 샘플 없이 측정된 시간 영역 데이터에서 테라헤르츠파가 샘플을 거치지 않고 진행할 때의 시간지연을 알아내고, 테라헤르츠파가 샘플을 투과하여 측정된 시간 영역 데이터에서 테라헤르츠파가 샘플을 한번 투과하여 진행할 때의 시간지연 및 테라헤르츠파가 샘플 내에서 한번 왕복 후에 투과하여 진행할 때의 시간지연을 알아내어,은 테라헤르츠파가 샘플을 한번 투과하여 진행할 때의 시간지연에서 테라헤르츠파가 샘플을 거치지 않고 진행할 때의 시간지연을 뺀 값이 되고, 는 테라헤르츠파가 샘플 내에서 한번 왕복 후에 투과하여 진행할 때의 시간지연에서 테라헤르츠파가 샘플을 한번 투과하여 진행할 때의 시간지연을 뺀 값이 되는 것을 이용하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 연산부는상기 검출기에 상기 제 2 혼합광과 상기 샘플에 반사된 테라헤르츠파가 입력되는 경우에,테라헤르츠파가 샘플에 반사되어 측정된 시간 영역 데이터에서 테라헤르츠파가 샘플의 표면에서 반사될 때의 시간지연 및 테라헤르츠파가 샘플을 투과하여 표면의 대향면에서 반사될 때의 시간지연을 알아내어,는 테라헤르츠파가 샘플을 투과하여 표면의 대향면에서 반사될 때의 시간지연에서 테라헤르츠파가 샘플의 표면에서 반사될 때의 시간지연을 뺀 값이 되는 것을 이용하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 파장 고정 레이저가 발진하는 제1 레이저광의 제1 파장은 1545nm로 고정되고, 상기 파장 훑음 레이저가 발진하는 제2 레이저광의 제2 파장의 최소파장과 최대파장은 각각 1544nm과 1558nm이며, 그 최소파장에서 최대파장으로 가변하는 주기는 1ms인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치는상기 커플러와 상기 검출기 사이에 구비되어, 상기 커플러에서 분기된 상기 제 2 혼합광을 가변 시간지연시켜 상기 검출기에 입력하는 가변 시간지연 도구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치는상기 커플러와 상기 발생기 사이에 구비되어, 상기 커플러에서 분기된 상기 제 1 혼합광을 가변 시간지연시켜 상기 발생기에 입력하는 가변 시간지연 도구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치는상기 검출기와 상기 데이터획득부 사이에 구비되어, 상기 검출기에서 생성된 광전류를 증폭하여 상기 데이터획득부로 전달하는 증폭기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 데이터획득부는 상기 구동부에서 제공되는 파장 훑음 반복률과 동일한 주파수의 동기 신호에 의해 트리거되면서, 한 주기(파장 훑음 반복률의 역수) 동안 광전류를 디지털 데이터로 변환하여 획득하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 데이터획득부는 상기 한 주기 동안 디지털 데이터를 획득하는 것을 기설정된 회수만큼 반복하여 상기 연산부에 제공하고, 상기 연산부는 반복하여 획득된 디지털 데이터들을 평균하여 신호 대 잡음비를 개선하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 파장 고정 레이저는DFB-LD인 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 파장 훑음 레이저 또는 상기 파장 고정 레이저는제1 레이저광 또는 제2 레이저광의 광출력을 증폭하기 위해 출력단에 광섬유증폭기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치는상기 발생기로부터 상기 검출기에 이르는 테라헤르츠파의 경로 상에 비축포물면경 또는 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치는상기 발생기로부터 상기 검출기에 이르는 테라헤르츠파의 경로 상에 빔스플리터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 테라헤르츠파를 이용한 실시간 비접촉 비파괴 두께 측정장치
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