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플렉서블 기판;상기 플렉서브 기판 상에서 서로 이격된 소스 전극 및 드레인 전극;상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극에 노출된 상기 플렉서블 기판을 덮으며 상기 소스 전극 및 상기 드레인과 양단이 연결되는 채널층; 및상기 채널층상에 순차적으로 적층된 게이트 절연층 및 게이트 전극;을 포함하며, 상기 게이트 절연층은 복수의 돌출부를 포함하며, 상기 바이모달 센서는 온도와 압력을 동시에 측정하는 플렉서블 바이모달 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 채널층은:실리콘, 유기물 반도체, 산화물 반도체를 포함하는 플렉서블 바이모달 센서
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제 2 항에 있어서,상기 채널층 및 상기 게이트 절연층 사이에서 상기 채널층을 덮는 봉지층;을 더 포함하는 상기 플렉서블 바이모달 센서
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제 3 항에 있어서, 상기 봉지층은 TTC(Tetratetracontane), MCH(methylcycloheane)를 포함하는 유기물, Al2O3, HfO2 을 포함하는 무기 산화물 중 하나로 이루어지거나, 상기 유기물 및 상기 무기물이 적층된 구조로 이루어진 플렉서블 바이모달 센서
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제 4 항에 있어서, 상기 게이트 절연층은 소정 두께의 평판과 상기 평판 상에서 상기 채널층을 향하는 상기 복수의 돌출부를 포함하는 플렉서블 바이모달 센서
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제 4 항에 있어서, 상기 복수의 돌출부는 상기 평판의 제1면 상에 형성된 복수의 제1 돌출부와, 상기 평판에서 상기 제1면과 마주보는 제1면에 형성된 복수의 제2 돌출부를 포함하는 플렉서블 바이모달 센서
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제 4 항에 있어서, 상기 게이트 절연층은 P(VDF_TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-TrFE-CtFE), PDMS, PU 중 선택된 제1물질로 이루어진 플렉서블 바이모달 센서
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제 7 항에 있어서,상기 게이트 절연층은 상기 제1물질을 매트릭스로 하고, 상기 제1물질에 분산된 무기물 나노 입자를 더 포함하는 플렉서블 바이모달 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 게이트 절연층의 상기 복수의 돌출부는 뿔 또는 뿔대 형상을 가지는 플렉서블 바이모달 센서
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제 1 항에 있어서, 상기 바이모달 센서는 복수의 바이모달 센서이며, 상기 복수의 바이모달 센서는 상기 플렉서블 기판 상에 매트릭스 형태로 배열된 플렉서블 바이모달 센서
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플렉서블 기판;상기 플렉서브 기판 상의 게이트 전극;상기 플렉서블 기판 상에서 상기 게이트 전극을 덮는 게이트 절연층;상기 게이트 절연층 상의 채널층; 및상기 채널층의 양단에 각각 연결된 소스 전극 및 드레인 전극;을 포함하며, 상기 게이트 절연층은 복수의 돌출부를 포함하며, 상기 바이모달 센서는 온도와 압력을 동시에 측정하는 플렉서블 바이모달 센서
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제 11 항에 있어서, 상기 채널층은:실리콘, 유기물 반도체, 산화물 반도체, 1차원 반도체, 2차원 반도체를 포함하는 플렉서블 바이모달 센서
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제 12 항에 있어서,상기 채널층 및 상기 게이트 절연층 사이에서 상기 채널층을 덮는 봉지층;을 더 포함하는 상기 플렉서블 바이모달 센서
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제 13 항에 있어서, 상기 봉지층은 TTC(Tetratetracontane), MCH(methylcycloheane)를 포함하는 유기물, Al2O3, HfO2 을 포함하는 무기 산화물 중 하나로 이루어지거나, 상기 유기물 및 상기 무기물이 적층된 구조로 이루어진 플렉서블 바이모달 센서
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제 14 항에 있어서, 상기 게이트 절연층은 소정 두께의 평판과 상기 평판 상에서 상기 채널층을 향하는 상기 복수의 돌출부를 포함하는 플렉서블 바이모달 센서
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제 14 항에 있어서, 상기 복수의 돌출부는 상기 평판의 제1면 상에 형성된 복수의 제1 돌출부와, 상기 평판에서 상기 제1면과 마주보는 제1면에 형성된 복수의 제2 돌출부를 포함하는 플렉서블 바이모달 센서
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제 14 항에 있어서, 상기 게이트 절연층은 P(VDF_TrFE), P(VDF-TrFE-CFE), P(VDF-TrFE-CtFE), PDMS, PU 중 선택된 제1물질로 이루어진 플렉서블 바이모달 센서
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제 17 항에 있어서,상기 게이트 절연층은 상기 제1물질을 매트릭스로 하고, 상기 제1물질에 분산된 무기물 나노 입자를 더 포함하는 플렉서블 바이모달 센서
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제 11 항에 있어서, 상기 게이트 절연층의 상기 복수의 돌출부는 뿔 또는 뿔대 형상을 가지는 플렉서블 바이모달 센서
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제 11 항에 있어서, 상기 바이모달 센서는 복수의 바이모달 센서이며, 상기 복수의 바이모달 센서는 상기 플렉서블 기판 상에 매트릭스 형태로 배열된 플렉서블 바이모달 센서
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