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종이로 이루어진 하부 기판;하부 기판에 상부에 형성되는 하부 전극;하부 전극 상부에 형성되는 압전재료층;압전재료층 상부에 형성되는 상부 전극; 및상부 전극 상부에 형성되고 종이로 이루어진 상부 기판을 포함하는 나노전력발전소자
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제1항에 있어서,하부 전극은 하부 기판 상부에 형성되는 알루미늄(Al)층 및 알루미늄층 상부에 형성되는 금(Au)층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자
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제1항에 있어서,하부 전극의 두께는 200 내지 800 nm인 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자
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제1항에 있어서,압전재료층은 압전재료로 이루어진 다수의 나노막대로 구성되는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자
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제4항에 있어서,압전재료는 ZnO인 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자
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제5항에 있어서,상부전극은 ZnO보다 일함수(work function)가 높은 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자
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종이로 이루어진 하부 기판 및 상부 기판을 준비하는 단계;하부 기판 및 상부 기판에 각각 하부 전극 및 상부 전극을 형성하는 단계;하부 전극 상부에 압전재료층을 형성하는 단계; 및하부 전극 및 압전재료층이 형성된 하부 기판과 상부 전극이 형성된 상부 기판을 부착하는 단계를 포함하는 나노전력발전소자의 제조방법
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제7항에 있어서,하부 전극의 형성단계는하부 기판 상부에 알루미늄(Al)층을 형성하는 단계; 및알루미늄층 상부에 금(Au)층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자의 제조방법
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제7항에 있어서,압전재료층의 형성단계는 시드층을 형성하는 단계; 및시드층 위에 나노막대를 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자의 제조방법
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10
제9항에 있어서,나노막대의 성장이 성장 용액에서 이루어지는 습식 성장 방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 나노전력발전소자의 제조방법
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