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금속관 시료의 양쪽 개구부에 장착되고, 금속관 시료 내부의 진공 배기 및 사용 가스 인입에 의한 압력 조절이 가능하도록 금속관 시료 내부를 외기로부터 차단할 수 있는 장착대;금속관 시료 내부에 금속관 시료와 동축으로 설치되는 스퍼터링 타겟용 금속관;상기 장착대가 장착된 금속관 시료의 외경부에 설치되되, 금속관 시료와 동축으로 설치되어 금속관 시료의 축 방향으로 펄스 자기장이 인가되도록 하는 펄스 전자석;상기 펄스 전자석에 펄스 전원을 인가하는 전자석 펄스 전원 장치;상기 스퍼터링 타겟용 금속관에 음(-)의 고전압 펄스를 상기 펄스 전자석에서 발생하는 펄스 전원과 동기하여 인가하는 스퍼터링 펄스 전원 장치를 포함하고,상기 스퍼터링 타겟 금속관에 인가되는 음(-)의 고전압 펄스는 상기 펄스 전자석에 인가되는 펄스 전원이 인가된 후 설정된 지연 시간 후에 인가되도록, 상기 전자석 펄스 전원 장치 및 상기 스퍼터링 펄스 전원 장치에 구동용 신호 펄스를 제공하는 펄스 지연 신호 발생장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 펄스 전자석을 상기 금속관의 축 방향으로 왕복 이송시킬 수 있는 펄스 전자석 이송 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟용 금속관의 냉각을 위해, 상기 스퍼터링 타겟용 금속관의 내경부에 냉각수가 도입 및 배출되는 금속 냉각관을 설치한 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 장치
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제4항에 있어서, 상기 금속 냉각관의 내부에 영구자석을 포함하는 영구자석 어셈블리가 축 방향으로 설치된 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 장치
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(a) 금속관 시료의 양쪽 개구부를 금속관 시료 내부의 진공 배기 및 공정 가스 인입에 의한 압력이 조절이 가능하도록 하는 장착대에 장착하는 단계;(b) 상기 금속관 시료의 내부에 동축으로 스퍼터링 타겟 금속관을 설치하는 단계;(c) 상기 장착대가 장착되는 상기 금속관 시료의 외경부에 펄스 자기장 형성을 위한 펄스 전자석을 설치하되, 상기 펄스 전자석을 상기 금속관 시료와 동축으로 설치하는 펄스 전자석 설치 단계;(d) 상기 금속관 시료 내부를 진공 배기하는 단계;(e) 상기 금속관 시료 내부에 공정 가스를 인입하여 공정 가스 압력을 세팅하는 단계;(f) 상기 펄스 전자석에 펄스 전원을 인가하여, 상기 스퍼터링 타겟 금속관에 펄스 자기장을 형성시키는 단계; 및(g) 상기 스퍼터링 타겟 금속관에 상기 펄스 전자석에 인가되는 펄스 전원에 동기하여 음의 고전압 펄스를 인가하여 플라즈마를 발생시키는 단계를 포함하고, 상기 스퍼터링 타겟 금속관에 인가되는 음(-)의 고전압 펄스는, 펄스 전자석에 펄스 전원인 인가된 후 설정된 지연 시간 후에 인가되는 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 방법
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제6항에 있어서,상기 스퍼터링 타겟 금속관의 내경부에는 냉각수가 도입 및 배출되는 금속 냉각관을 구비하는 것을 특징으로 금속관의 내벽 코팅 방법
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제6항에 있어서, 펄스 전자석에 의해 형성된 펄스 자기장과 상기 스퍼터링 타겟 금속관에 인가되는 음의 고전압 펄스에 의해 코팅 공정이 시작되면, 상기 펄스 전자석을 상기 금속관 시료의 축 방향으로 왕복 이송시키면서 금속관 시료의 내벽 코팅을 수행하는 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 방법
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제6항에 있어서, 상기 금속관 시료 내부에 세팅되는 공정 가스 압력은, 1 mTorr ∼ 1 Torr 인 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 방법
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제6항에 있어서, 상기 펄스 전자석 및 상기 스퍼터링 타겟 금속관에 인가되는 펄스 전원의 펄스 주파수는 10 Hz ~ 1,000 Hz 인 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 방법
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제6항에 있어서, 상기 펄스 전자석에 형성되는 펄스 자기장의 세기는 0
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제6항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟 금속관에 인가하는, 음(-)의 펄스 고전압은, 500 V ~ 2,000 V의 펄스 전압인 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 방법
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제 6 항 또는 제12항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟 금속관에 인가하는, 음(-)의 펄스 고전압의 펄스폭은, 10 ~ 1,000 usec 인 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 방법
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제6항에 있어서, 상기 지연 시간은 50 usec ∼ 500 usec 인 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 방법
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제7항에 있어서, 상기 금속 냉각관의 내부에는 펄스 자기장의 세기를 증가시키기 위한 영구 자석이 배치된 것을 특징으로 하는 금속관의 내벽 코팅 방법
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