요약 | 본 발명의 환경가스 센서는 절연기판, 절연 기판 상부에 형성된 금속 전극, 및 금속 전극 상부에 형성된 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체의 감지층을 포함한다. 따라서 산화물 반도체 나노섬유 표면에 특정 가스에 고감응성을 갖는 산화물 나노막대를 형성하여 가스반응 비표면적을 극대화함으로써 초고감도, 고선택성, 고응답성, 장기안정성 및 저전력의 우수한 특성을 가질 수 있다. |
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Int. CL | B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020100023616 (2010.03.17) |
출원인 | 한국전자통신연구원, 부산대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1335682-0000 (2013.11.26) |
공개번호/일자 | 10-2011-0104630 (2011.09.23) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20131203) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2010.03.17) |
심사청구항수 | 17 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국전자통신연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 부산대학교 산학협력단 | 대한민국 | 부산광역시 금정구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이수재 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
2 | 조채룡 | 대한민국 | 경상남도 밀양시 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 신영무 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국전자통신연구원 | 대전광역시 유성구 | |
2 | 부산대학교 산학협력단 | 부산광역시 금정구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2010.03.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0168234-09 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.04.01 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.04.30 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0030748-75 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0373761-52 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.07.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0692095-54 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.07.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0692134-47 |
7 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.11.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0802314-19 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000027-56 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006137-44 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2016.01.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5004891-78 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004005-98 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004797-18 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 산화물 반도체 나노섬유; 및상기 산화물 반도체 나노섬유 표면상에 형성되는 산화물 반도체 나노막대를 포함하고,상기 산화물 반도체 나노섬유 및 상기 산화물 반도체 나노막대는 이종의 산화물 반도체로 구성되는 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 제1항에 있어서,상기 산화물 반도체 나노섬유는 BaTiO3, 금속 도핑된 BaTiO3, SrTiO3, BaSnO3, ZnO, CuO, NiO, SnO2, TiO2, CoO, In2O3, WO3, MgO, CaO, La2O3, Nd2O3, Y2O3, CeO2, PbO, ZrO2, Fe2O3, Bi2O3, V2O5, VO2, Nb2O5, Co3O4 및 Al2O3로 이루어진 군에서 선택되는 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체 |
4 |
4 제1항에 있어서,상기 산화물 반도체 나노막대는 BaTiO3, 금속 도핑된 BaTiO3, SrTiO3, BaSnO3, ZnO, CuO, NiO, SnO2, TiO2, CoO, In2O3, WO3, MgO, CaO, La2O3, Nd2O3, Y2O3, CeO2, PbO, ZrO2, Fe2O3, Bi2O3, V2O5, VO2, Nb2O5, Co3O4 및 Al2O3로 이루어진 군에서 선택되는 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체 |
5 |
5 제1항에 있어서,상기 산화물 반도체 나노섬유는직경이 1 nm 내지 100 nm인 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체 |
6 |
6 제1항에 있어서,상기 산화물 반도체 나노막대는 직경이 1 nm 내지 100 nm 이고, 길이가 1 nm 내지 100 nm 인 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체 |
7 |
7 절연기판;상기 절연 기판 상부에 형성된 금속 전극; 및상기 금속 전극 상부에 형성된 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체의 감지층을 포함하는 환경가스 센서 |
8 |
8 제7항에 있어서,상기 절연 기판은 산화물 단결정 기판, 세라믹 기판, 실리콘 반도체 기판, 또는 유리기판인 환경가스 센서 |
9 |
9 제8항에 있어서,상기 절연 기판은Al2O3, MgO, SrTiO3, 석영(Quartz), SiO2/Si로 이루어진 군에서 선택되는 물질로 이루어진환경가스 센서 |
10 |
10 제7항에 있어서,상기 절연기판 상부에 금속 전극과 동일한 소재로 형성되는 전극 패드를 더 포함하는 환경가스 센서 |
11 |
11 제7항에 있어서, 상기 금속 전극은 Pt, Pd, Ag, Au, Ti, Cr, Al, Cu, Sn, In으로 이루어진 군에서 적어도 하나 선택되는환경가스 센서 |
12 |
12 제7항에 있어서,상기 감지층을 구성하는 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성구조체는BaTiO3, 금속 도핑된 BaTiO3, SrTiO3, BaSnO3, ZnO, CuO, NiO, SnO2, TiO2, CoO, In2O3, WO3, MgO, CaO, La2O3, Nd2O3, Y2O3, CeO2, PbO, ZrO2, Fe2O3, Bi2O3, V2O5, VO2, Nb2O5, Co3O4 및 Al2O3로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 2개의 물질로 구성되는 환경가스 센서 |
13 |
13 제7항에 있어서,상기 산화물 반도체 나노섬유는 상기 금속전극이 형성된 절연기판상에 전기방사법으로 제조되고, 상기 산화물 반도체 나노막대는 물리적 또는 화학적 성장법으로 제조되는 환경가스 센서 |
14 |
14 제7항에 있어서,상기 산화물 반도체 나노섬유는 직경이 1 nm 내지 100 nm 인 환경가스 센서 |
15 |
15 제7항에 있어서,상기 산화물 반도체 나노막대는 직경이 1 nm 내지 100 nm, 길이가 1nm 내지100 nm 인 환경가스 센서 |
16 |
16 제7항에 있어서,상기 금속 전극과 동일평면 상에 또는 배면에 형성되어 있는 마이크로 박막 히터를 더 포함하는 환경가스 센서 |
17 |
17 금속 산화물 전구체, 폴리머 고분자와 용매(solvent)를 혼합하여 복합용액을 제조하는 단계;상기 복합용액을 전기 방사법으로 방사한 후, 열처리하여 산화물 반도체 나노섬유를 형성하는 단계; 및상기 금속 산화물 반도체 나노섬유 표면에 물리적 또는 화학적 증착법을 이용하여 상기 산화물 반도체 나노섬유와 이종의 산화물 반도체로 구성된 산화물 나노막대를 형성하는 단계를 포함하는 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체의 제조방법 |
18 |
18 제17항에 있어서,상기 복합용액을 전기 방사법으로 방사한 후, 열처리하여 산화물 반도체 나노섬유를 형성하는 단계는상기 복합용액을 전기방사법으로 방사하여 산화물/폴리머 복합섬유를 형성하는 단계;상기 복합섬유를 열처리하여 용매를 휘발시키는 단계; 및열처리된 상기 복합섬유를 고온에서 다시 열처리하여 산화물 반도체 나노섬유를 형성하는 단계를 포함하는 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체의 제조방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | US20110227061 | US | 미국 | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | US2011227061 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1335682-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20100317 출원 번호 : 1020100023616 공고 연월일 : 20131203 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20131120 청구범위의 항수 : 17 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체 및 이를 이용한 환경 가스 센서 존속기간(예정)만료일 : 20161127 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구... |
1 |
(권리자) 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 354,000 원 | 2013년 11월 27일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2010.03.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0168234-09 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.04.01 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2013.04.30 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0030748-75 |
4 | 의견제출통지서 | 2013.05.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0373761-52 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.07.30 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0692095-54 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.07.30 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0692134-47 |
7 | 등록결정서 | 2013.11.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0802314-19 |
8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000027-56 |
9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-0006137-44 |
10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2016.01.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5004891-78 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004005-98 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004797-18 |
기술번호 | KST2017004518 |
---|---|
자료제공기관 | 기관 |
기술공급기관 | 한국전자통신연구원 |
기술명 | 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체 및 이를 이용한 환경 가스 센서 |
기술개요 |
본 발명의 환경가스 센서는 절연기판, 절연 기판 상부에 형성된 금속 전극, 및 금속 전극 상부에 형성된 산화물 반도체 나노섬유-나노막대 혼성 구조체의 감지층을 포함한다. 따라서 산화물 반도체 나노섬유 표면에 특정 가스에 고감응성을 갖는 산화물 나노막대를 형성하여 가스반응 비표면적을 극대화함으로써 초고감도, 고선택성, 고응답성, 장기안정성 및 저전력의 우수한 특성을 가질 수 있다. |
개발상태 | |
기술의 우수성 | |
응용분야 | |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1415104810 |
---|---|
세부과제번호 | 09ZH1340-1360 |
연구과제명 | 정보통신미래신기술연구사업 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 산업기술연구회 |
연구주관기관명 | 한국전자통신연구원 |
성과제출연도 | 2009 |
연구기간 | 200601~201512 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345141882 |
---|---|
세부과제번호 | 과06B2607 |
연구과제명 | 나노융합기술사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 부산대학교 |
성과제출연도 | 2010 |
연구기간 | 200603~201302 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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