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광대역 광원;상기 광대역 광원의 출력광을 전달하는 제1 광섬유;상기 제1 광섬유를 통하여 전달된 광을 기준 경로로 진행하는 기준 빔과 측정 경로로 진행하는 측정 빔으로 분할하는 제1 빔 분할기;상기 기준빔을 반사시키는 기준 경로 거울;상기 측정빔을 반사시키는 측정 경로 거울;상기 기준 경로 거울에서 반사된 상기 기준빔과 상기 측정 빔을 중첩하여 간섭 신호를 생성하는 제2 빔 분할기;상기 간섭 신호를 전달하는 제2 광섬유; 상기 제2 광섬유를 통하여 전달된 간섭 신호를 파장에 따라 측정하는 스펙트럼 분석기; 및상기 스펙트럼 분석기의 출력 신호를 처리하여 상기 측정 경로에 삽입된 측정 대상의 두께를 산출하는 처리부를 포함하고,상기 기준 경로와 상기 측정 경로는 사각형을 형성하도록 배치되고,상기 제1 빔 분할기, 기준 경로 거울, 측정 경로 거울, 및 제2 빔 분할기를 장착하는 기준 프레임을 더 포함하고,상기 기준 프레임은 상기 측정 대상이 삽입되도록 장홈을 포함하고,상기 장홈은 상기 측정 경로 거울과 상기 제2 빔 분할기 사이를 가로지르고, 상기 제1 빔 분할기와 상기 측정 경로 거울이 정렬되는 제1 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 기준 프레임을 제1 방향으로 이동시키는 선형 운동 스테이지를 더 포함하고,상기 기준 프레임이 이동함에 따라 상기 측정 대상의 측정 위치가 변경되는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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광대역 광원;상기 광대역 광원의 출력광을 전달하는 제1 광섬유;상기 제1 광섬유를 통하여 전달된 광을 기준 경로로 진행하는 기준 빔과 측정 경로로 진행하는 측정 빔으로 분할하는 제1 빔 분할기;상기 기준빔을 반사시키는 기준 경로 거울;상기 측정빔을 반사시키는 측정 경로 거울;상기 기준 경로 거울에서 반사된 상기 기준빔과 상기 측정 빔을 중첩하여 간섭 신호를 생성하는 제2 빔 분할기;상기 간섭 신호를 전달하는 제2 광섬유; 상기 제2 광섬유를 통하여 전달된 간섭 신호를 파장에 따라 측정하는 스펙트럼 분석기; 및상기 스펙트럼 분석기의 출력 신호를 처리하여 상기 측정 경로에 삽입된 측정 대상의 두께를 산출하는 처리부를 포함하고,상기 기준 경로와 상기 측정 경로는 사각형을 형성하도록 배치되고,상기 측정 대상이 삽입되도록 제1 방향으로 연장되는 장홈을 포함하는 기준 프레임;상기 기준 프레임의 장홈을 기준으로 좌측에 배치되고 상기 제1 방향으로 연장되는 좌측 선형 운동 가이드;상기 좌측 선형 운동 가이드에 장착되어 상기 제1 방향으로 이동하는 좌측 슬라이드;상기 기준 프레임의 장홈을 기준으로 우측에 배치되고 상기 제1 방향으로 연장되는 우측 선형 운동 가이드;상기 우측 선형 운동 가이드에 장착되어 제1 방향으로 이동하는 우측 슬라이드; 및상기 좌측 슬라이드와 상기 우측 슬라이드를 서로 고정하는 좌우 슬라이드 연결부를 더 포함하고,상기 제1 빔 분할기와 상기 측정 경로 거울은 상기 좌측 슬라이드에 고정되고,상기 제2 빔 분할기와 상기 기준 경로 거울은 상기 우측 슬라이드에 고정되고,상기 장홈은 상기 측정 경로 거울과 상기 제2 빔 분할기 사이를 가로지르고, 상기 제1 빔 분할기와 상기 측정 경로 거울이 정렬되는 상기 제1 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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제4 항에 있어서,상기 좌측 슬라이드 또는 상기 우측 슬라이드에 삽입되어 선형 운동하도록 구동력을 제공하는 구동부; 및상기 구동부에 회전력을 제공하는 모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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광대역 광원;상기 광대역 광원의 출력광을 전달하는 제1 광섬유;상기 제1 광섬유를 통하여 전달된 광을 기준 경로로 진행하는 기준 빔과 측정 경로로 진행하는 측정 빔으로 분할하는 제1 빔 분할기;상기 기준빔을 반사시키는 기준 경로 거울;상기 측정빔을 반사시키는 측정 경로 거울;상기 기준 경로 거울에서 반사된 상기 기준빔과 상기 측정 빔을 중첩하여 간섭 신호를 생성하는 제2 빔 분할기;상기 간섭 신호를 전달하는 제2 광섬유; 상기 제2 광섬유를 통하여 전달된 간섭 신호를 파장에 따라 측정하는 스펙트럼 분석기; 및상기 스펙트럼 분석기의 출력 신호를 처리하여 상기 측정 경로에 삽입된 측정 대상의 두께를 산출하는 처리부를 포함하고,상기 기준 경로와 상기 측정 경로는 사각형을 형성하도록 배치되고,상기 측정 대상이 삽입되도록 제1 방향으로 연장되는 장홈을 포함하는 기준 프레임;상기 기준 프레임의 좌측에서 상기 제1 방향으로 연장되는 좌측 선형 운동 가이드;상기 좌측 선형 운동 가이드에 장착되어 상기 제1 방향으로 이동하는 좌측 슬라이드;상기 기준 프레임의 우측에서 상기 제1 방향으로 연장되는 우측 선형 운동 가이드; 및상기 우측 선형 운동 가이드에 장착되어 상기 제1 방향으로 이동하는 우측 슬라이드;를 더 포함하고,상기 제1 빔 분할기 및 상기 기준 경로 거울은 상기 기준 프레임에 고정되고,상기 측정 경로 거울은 상기 좌측 슬라이드에 고정되고,상기 제2 빔 분할기는 상기 우측 슬라이드에 고정되고,상기 장홈은 상기 측정 경로 거울과 상기 제2 빔 분할기 사이를 가로지르고, 상기 제1 빔 분할기와 상기 측정 경로 거울이 정렬되는 상기 제1 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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제6 항에 있어서,상기 좌측 슬라이드에 삽입되어 선형 운동하도록 구동력을 제공하는 제1 구동부;상기 우측 슬라이드에 삽입되어 선형 운동하도록 구동력을 제공하는 제2 구동부;상기 제1 구동부에 회전력을 제공하는 제1모터; 및상기 제2 구동부에 회전력을 제공하는 제2 모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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제7 항에 있어서,상기 제2 빔 분할기에서 상기 제1 방향으로 이격되어 배치되고, 상기 간섭 신호의 진행 방향과 수직으로 배치되고, 상기 우측 슬라이드에 장착된 정렬 광측정부; 및상기 정렬 광측정부의 출력 신호를 이용하여 상기 기준빔과 상기 측정 빔을 서로 일치시키도록 제어 신호를 생성하는 정렬 처리부를 더 포함하고,상기 정렬 처리부는 상기 제1 모터 및 상기 제2 모터를 구동하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 측정 대상을 이동시키는 측정 대상 이송 수단은 상기 기준 프레임의 장홈을 관통하여 배치되는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 광대역 광원은 SLD(super-luminescent diode)인 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 광섬유의 출력단과 상기 제1 빔 분할기 사이에 배치되어 평행광을 제공하는 제1 시준 렌즈; 및상기 제2 광섬유의 입력단과 상기 제2 빔 분할기 사이에 배치되어 평행광을 상기 제2 광섬유에 집속하는 제2 시준 렌즈를 더 포함하고,상기 제1 시준 렌즈는 상기 평행광의 사이즈를 결정하는 것을 특징으로 하는 두께 측정 장치
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