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하우징;상기 하우징의 내부에 배치되고, 이온성 액체 또는 나노입자가 이온성 액체에 분산된 분산용액을 저장하는 저장부;상기 하우징의 내부에 배치되고, 나노입자 전구체를 스퍼터링하여 상기 이온성 액체 상에 나노입자를 증착하여 상기 분산용액을 상기 저장부에 제조하는 증착기를 포함하는 스퍼터링부;상기 저장부와 연통하도록 배치되고, 상기 저장부의 상기 분산용액의 일부 또는 전부를 상기 저장부로부터 이송받는 배출부; 및 상기 저장부와 연통하도록 배치되고, 상기 이온성 액체를 상기 저장부에 공급하는 공급부;를포함하는 나노입자 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 저장부가 상기 이온성 액체 또는 나노입자가 이온성 액체에 분산된 분산용액을 저장하는 스토리지를 포함하고,상기 스토리지의 분산용액의 나노입자 평균 크기 (size)에 상응하여 상기 스토리지로부터 상기 배출부로 배출되는 분산용액의 배출량과 상기 공급부로부터 상기 스토리지로 공급되는 상기 이온성 액체의 공급량을 조절함으로써 상기 스토리지의 분산용액의 나노입자 평균 크기 (size)를 제어하는 제어부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조장치
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제2항에 있어서, 상기 나노입자 제조장치가,상기 스토리지에서 상기 분산용액의 나노입자 평균크기가 소정의 범위로 유지되면서 상기 나노입자가 연속적으로 제조되는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조장치
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제3항에 있어서, 상기 나노입자 평균크기의 소정의 범위가 3 내지 300 nm인 것을 특징으로 하는 나노입자 제조장치
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제1항에 있어서,상기 저장부가 상기 이온성 액체 또는 나노입자가 이온성 액체에 분산된 분산용액을 저장하는 스토리지를 포함하고,상기 스토리지의 분산용액의 나노입자 분산농도에 상응하여 상기 스토리지로부터 상기 배출부로 배출되는 분산용액의 배출량과 상기 공급부로부터 상기 스토리지로 공급되는 상기 이온성 액체의 공급량을 조절함으로써 상기 스토리지의 분산용액의 나노입자 분산농도를 제어하는 제어부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조장치
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제5항에 있어서,상기 스토리지에서 상기 분산용액의 나노입자 분산농도(%농도)가 소정의 범위로 유지되면서 나노입자가 연속적으로 제조되는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조장치
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제6항에 있어서,상기 나노입자 분산농도(%농도)의 소정의 범위가 0
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제2항에 있어서,상기 저장부가 가열기를 추가로 포함하고, 상기 가열기를 이용하여 상기 저장부의 온도가 실온 내지 300℃로 조절되는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조장치
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제2항 또는 제5항에 있어서,상기 배출부는, 상기 스토리지와 연통하도록 배치되고, 상기 스토리지의 분산용액으로부터 상기 나노입자와 상기 이온성 액체를 분리하는 분리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조장치
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제9항에 있어서,상기 분리부가 상기 분리된 이온성 액체를 상기 공급부 또는 상기 스토리지로 이송하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조장치
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제9항에 있어서,상기 배출부가,상기 스토리지와 연통하며 상기 분리부의 전단에 배치되고, 상기 분산용액을 저장하는 분산용액 저장탱크를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 입자 제조장치
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제10항에 있어서, 상기 나노입자 제조장치는,상기 이온성 액체의 전부 또는 일부가 연속적으로 순환하며 나노입자를 제조하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조장치
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제1항에 있어서,상기 나노입자 전구체는 금속, 세라믹, 유기화합물, 고분자 및 반도체 중 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조장치
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(a) 이온성 액체를 저장부에 저장하는 단계;(b) 스퍼터링부에 포함된 증착기를 사용하여 나노입자 전구체를 스퍼터링하여 상기 저장부에 저장된 이온성 액체 상에 상기 나노입자를 증착함으로써 상기 나노입자가 상기 이온성 액체에 분산된 분산용액을 제조하는 단계;(c) 상기 저장부와 연통하도록 배치된 배출부를 사용하여 상기 저장부의 분산용액의 일부를 상기 배출부로 배출하는 단계; 및(d) 상기 저장부와 연통하도록 배치된 공급부를 사용하여 상기 이온성 액체를 상기 공급부로부터 상기 저장부로 공급하는 단계;를포함하는 나노입자 제조방법
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제14항에 있어서, (e) 상기 저장부가 상기 이온성 액체 또는 나노입자가 이온성 액체에 분산된 분산용액을 저장하는 스토리지를 포함하고, 제어부를 이용하여 상기 스토리지의 분산용액의 나노입자 평균 크기 (size)에 상응하여 상기 스토리지로부터 상기 배출부로 배출되는 분산용액의 배출량과 상기 공급부로부터 상기 스토리지로 공급되는 상기 이온성 액체의 공급량을 조절함으로써 상기 스토리지의 분산용액의 나노입자 평균 크기 (size)를 제어하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조방법
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제14항에 있어서,(e') 상기 저장부가 상기 이온성 액체 또는 나노입자가 이온성 액체에 분산된 분산용액을 저장하는 스토리지를 포함하고, 제어부를 이용하여 상기 스토리지의 분산용액의 나노입자 분산농도(%농도)에 상응하여 상기 스토리지로부터 상기 배출부로 배출되는 분산용액의 배출량과 상기 공급부로부터 상기 스토리지로 공급되는 상기 이온성 액체의 공급량을 조절함으로써 상기 스토리지의 분산용액의 나노입자 분산농도(%농도)를 제어하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조방법
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제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 나노입자 제조방법이,(f) 상기 배출부가 상기 스토리지와 연통하도록 배치된 분리부를 포함하며, 상기 분리부를 사용하여 상기 스토리지의 분산용액을 상기 나노입자와 상기 이온성 액체로 분리하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조방법
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제17항에 있어서,상기 나노입자의 제조방법이, (g) 상기 단계(f) 후에 상기 분리된 이온성 액체를 상기 공급부 또는 상기 스토리지로 이송하는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조방법
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제17항에 있어서, 상기 나노입자 제조방법은,상기 이온성 액체의 전부 또는 일부가 연속적으로 순환하며 나노입자를 제조하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조방법
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제14항에 있어서,상기 나노입자 전구체는 금속, 세라믹, 유기화합물, 고분자 및 반도체 중 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 제조방법
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