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고감도 압력 센서 및 이의 제조 방법(HIGHLY SENSITIVE PRESSURE SENSOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF)

  • 기술번호 : KST2017006705
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 고감도 압력 센서는 상측에 제 1전극이 형성된 하부 기판; 하측에 제 2전극이 형성된 상부 기판; 및 상기 제 1전극 및 제 2전극 사이에 배치되는 유전체;를 포함하고, 상기 유전체는 탄성 중합체로 형성된다.
Int. CL G01L 1/14 (2015.10.30) G06F 3/041 (2015.10.30)
CPC G01L 1/146(2013.01) G01L 1/146(2013.01)
출원번호/일자 1020150132469 (2015.09.18)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0036870 (2017.04.03) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.09.18)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 심우영 대한민국 서울특별시 은평구
2 이태윤 대한민국 서울특별시 강서구
3 이길수 대한민국 서울특별시 영등포구
4 이재홍 대한민국 전라남도 순천시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이룸리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층 (반포동)
2 특허법인이룸 대한민국 서울시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0911483-62
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2015-1292842-86
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2016-0014645-56
4 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2016.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0049203-92
5 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2016.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0321799-91
6 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2016.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0052061-76
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.09.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0151222-07
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0838219-60
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0065964-24
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.01.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0065965-70
12 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2017.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0376809-18
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.07.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0738626-15
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0738604-11
15 등록결정서
Decision to grant		 2017.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0911596-38
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
표면 거칠기를 갖는 제 1전극(110)이 형성된 하부 기판(100);표면 거칠기를 갖는 제 2전극(210)이 형성된 상부 기판(200); 및상기 제 1전극(110) 및 제 2전극(210) 사이에 배치되며, 상기 제1전극(110) 또는 상기 제2전극(210)에 밀착되어 상기 제1전극(110) 또는 상기 제2전극(210)의 표면 거칠기가 나타나는 유전체(300);를 포함하고,상기 유전체(300)는 탄화수소로 희석(dilution)된 탄성 중합체인 고감도 압력 센서
2 2
제 1항에 있어서, 상기 하부 기판(100) 및 상기 상부 기판(200)은 유연성 기판으로 형성되는 고감도 압력 센서
3 3
제 1항에 있어서,상기 제 1전극(110)은 및 상기 제 2전극(210)은 각각 상기 하부 기판(100)의 상측 및 상기 상부 기판(200)의 하측에 흑연을 칠하여 형성되는 고감도 압력 센서
4 4
제 1항에 있어서, 상기 탄성 중합체는 PDMS(Polydimethylsiloxane)인 고감도 압력 센서
5 5
삭제
6 6
제 1항에 있어서,상기 탄화수소는 hexane 또는 heptane인 고감도 압력 센서
7 7
하부 기판(100) 및 상부 기판(200)을 준비하는 단계(S100);상기 하부 기판(100) 및 상부 기판(200) 상에 각각 표면 거칠기를 갖는 제 1전극(110) 및 제 2전극(210)을 형성하는 단계(S200);상기 제 1전극(110) 상에 밀착되어 상기 제1전극(110)의 표면 거칠기가 나타나도록 유전체(300)를 배치하는 단계(S300); 및상기 유전체(300) 상에 상기 제 2전극(210)이 배치되도록 상기 상부 기판(200)을 상기 유전체(300) 상에 적층하는 단계(S400);를 포함하고,상기 유전체(300)는 탄화수소로 희석(dilution)된 탄성 중합체인 고감도 압력센서 제조 방법
8 8
제 7항에 있어서,상기 하부 기판(100) 및 상기 상부 기판(200)은 유연성 기판으로 형성되는 고감도 압력 센서 제조 방법
9 9
제 7항에 있어서,상기 제 1전극(110)은 및 상기 제 2전극(210)은 각각 상기 하부 기판(100)의 상측 및 상기 상부 기판(200)의 하측에 흑연을 칠하여 형성되는 고감도 압력 센서 제조 방법
10 10
제 7항에 있어서, 상기 탄성 중합체는 PDMS(Polydimethylsiloxane)인 고감도 압력 센서 제조 방법
11 11
삭제
12 12
제 7항에 있어서,상기 탄화수소는 hexane 또는 heptane인 고감도 압력 센서 제조 방법
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2 KR101781273 KR 대한민국 FAMILY
3 KR101850484 KR 대한민국 FAMILY
4 US10401974 US 미국 FAMILY
5 US20170083107 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN107025009 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN107025009 CN 중국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 연세대학교 산학협력단 일반연구자지원사업 삼차원 기가픽셀 나노이미징 기술 개발
2 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 선도연구센터지원사업 초정밀 광 기계기술 연구센터
3 교육부 연세대학교 산학협력단 기초연구역량강화사업 나노과학기술연구소
4 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 초고민감 센서를 이용한 식품안전 상시 모니터링 시스템 구축