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불소가 표면에 코팅된 불소코팅물품에 있어서,바디와;상기 바디의 표면에 형성되는 코팅막을 포함하며,상기 코팅막은 상기 바디의 표면에 불소가 공유 결합으로 결합되어 형성되는 불소코팅물품
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제1항에 있어서,상기 코팅막은 상기 바디의 표면에 산 또는 알칼리 용액으로 처리한 뒤, 불소를 공급하여 형성되는 불소코팅물품
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 바디는 그 표면에 실리콘 카바이드층 포함하는 불소코팅물품
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불소코팅물품을 제조하는 방법에 있어서,바디의 표면에 불소코팅막을 형성하되,상기 불소코팅막은 불소가 상기 바디의 표면에 공유 결합하여 형성되는 불소코팅물품 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 불소코팅막의 형성하기 전에 상기 바디의 표면에 결함을 형성하는 불소코팅물품 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 결합은 상기 바디의 표면에 산 또는 알칼리 용액으로 처리하며,상기 불소코팅막은 상기 바디의 표면에 결함 처리 후 불소를 공급하여 형성되는 불소코팅물품 제조 방법
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제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 바디는 실리콘 카바이드 재질을 포함하는 불소코팅물품 제조 방법
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기판을 처리하는 장치에 있어서,내부에 처리 공간을 가지는 용기와;상기 처리 공간 내에 위치하는 지지 유닛과; 그리고상기 지지 유닛에 지지된 기판으로 액을 공급하는 액 공급 유닛을 포함하며, 상기 지지 유닛은,기판이 놓이는 지지판과;상기 지지판에 위치하며, 기판을 측부에서 지지하는 척핀과;상기 지지판에 위치하며, 기판을 하부에서 지지하는 지지핀을 포함하며,상기 액이 노출되는 물품은,바디와상기 바디의 표면에 형성되는 코팅막을 포함하며, 상기 코팅막은 불소가 상기 바디의 표면과 공유 결합으로 결합되어 형성되는 기판 처리 장치
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제8항에 있어서,상기 물품은 상기 지지판인 기판 처리 장치
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제8항에 있어서,상기 물품은 상기 척핀인 기판 처리 장치
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제8항에 있어서,상기 물품은 상기 지지핀인 기판 처리 장치
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제8항에 있어서,상기 물품은 용기이며, 상기 코팅막은 상기 용기의 내벽에 형성되는 기판 처리 장치
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기판을 처리하는 장치에 있어서,외부와 밀폐된 처리 공간을 가지는 챔버와;상기 처리 공간 내에 위치하며, 기판을 지지하는 지지 유닛과; 그리고상기 처리 공간 내에 불소가스를 포함하는 공정 가스를 공급하는 공급 유닛을 포함하며, 상기 지지 유닛은,기판이 놓이는 지지판과;상기 지지판을 감싸며 제공되는 링부재를 포함하며, 상기 공정 가스에 노출되는 물품은,바디와;상기 바디의 표면에 형성되는 코팅막을 포함하며, 상기 코팅막은 불소가 상기 바디의 표면과 공유 결합으로 결합되어 형성되는 기판 처리 장치
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제13항에 있어서,상기 물품은 상기 지지판인 기판 처리 장치
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제13항에 있어서,상기 물품은 상기 링부재인 기판 처리 장치
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제13항에 있어서,상기 기판 처리 장치는 상기 지지 유닛의 상면에 위치하는 샤워헤드를 더 포함하며, 상기 물품은 상기 샤워헤드인 기판 처리 장치
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