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웨이브릿을 이용한 플라즈마장비의 센서정보 감시방법
- 기술번호 : KST2014040650
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 본 발명은 웨이브릿변환을 이용한 플라즈마장비의 센서정보 감시방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 플라즈마 장비에서 수집되는 센서정보에 웨이브릿 변환과 고감도 감시 메트릭을 적용하여 플라즈마 상태를 감시하도록 반도체공정을 수행하는 플라즈마 장비와, 센서정보처리를 위한 웨이브릿 정보변환기와 감시 메트릭을 구비하여; 공정이 끝난 후 플라즈마 장비에서 센서정보를 수집하고, 이렇게 수집된 센서정보에 웨이브릿 변환을 적용하며, 변환된 센서정보에 감시 메트릭을 적용하여 감도를 계산한 것을 포함한 것을 그 특징으로 한다. 웨이브릿 변환, 플라즈마 장비, 센서정보감시방법, 플라즈마, 고감도 감시 메트릭, 반도체 공정 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) |
| CPC | H01J 37/32926(2013.01) H01J 37/32926(2013.01) H01J 37/32926(2013.01) H01J 37/32926(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020060044912 (2006.05.19) |
| 출원인 | 세종대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-0868083-0000 (2008.11.04) |
| 공개번호/일자 | 10-2007-0111744 (2007.11.22) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20081114) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2006.05.19) |
| 심사청구항수 | 6 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 세종대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 광진구 능동로 *** (군 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김병환 | 대한민국 | 서울 노원구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 박윤호 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 서초대로 ***, 중앙빌딩 ***호 유노국제특허법률사무소 (서초동) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 세종대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울 광진구 군 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2006.05.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0348784-37 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2007.03.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2007.04.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-2007-0019412-39 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2007.04.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0235848-25 |
| 5 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2007.06.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0455357-77 |
| 6 | 의견서 Written Opinion |
2007.06.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0455345-29 |
| 7 | 최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal |
2007.10.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0580308-96 |
| 8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2007.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0946538-17 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2008.01.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2008-0019947-24 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2008.01.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0019940-16 |
| 11 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2008.05.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0266520-16 |
| 12 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2008.06.16 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0428839-84 |
| 13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2008.06.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0428829-27 |
| 14 | 보정요구서 Request for Amendment |
2008.06.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0076342-86 |
| 15 | 보정요구서 Request for Amendment |
2008.06.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0076174-12 |
| 16 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2008.06.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0439843-14 |
| 17 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2008.06.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0439832-12 |
| 18 | 등록결정서 Decision to grant |
2008.10.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0522947-36 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.04.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5073277-77 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 반도체 플라즈마 장비에서 수집되는 센서정보에 웨이브릿 변환과 고감도 감시 메트릭을 적용하여 플라즈마 상태를 감시하도록 반도체공정을 수행하는 플라즈마 장비와, 센서정보처리를 위한 웨이브릿 정보변환기와 감시 메트릭을 구비하여; 공정이 끝난 후 플라즈마 장비에서 센서정보를 수집하고, 이렇게 수집된 센서정보에 웨이브릿 변환을 적용하며, 변환된 센서정보에 감시 메트릭을 적용하여 감도를 계산한 것을 포함한 것을 특징으로 하는 웨이브릿을 이용한 반도체 플라즈마장비의 센서정보 감시방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 웨이브릿은 이산치 웨이브릿 변환과 연속적 웨이브릿 변환인 것을 특징으로 하는 웨이브릿을 이용한 플라즈마장비의 센서정보 감시방법 |
| 3 |
3 반도체 공정을 수행하는 플라즈마 장비와, 센서정보처리를 위한 웨이브릿 정보변환기와 감시 메트릭으로 구성되어; 반도체 공정을 수행하는 플라즈마 장비로부터 공정 진행 중 또는 공정 후에 장비 부품으로부터 시간에 따르는 데이터를 수집하며, 이를 하나의 데이터 파일에 저장하고;상기 웨이브릿 정보변환기에서는 파일에 저장된 각 센서정보를 순차적으로 변환하며, 이를 위해 사전에 각 센서 정보에 대해 샘플링할 수 있는 데이터 요소의 총수를 지정하며; 변환된 센서정보에 감시 메트릭을 적용하여 민감도를 계산하고, 계산된 민감도는 기준 민감도와 비교하고 이에 기초하여 플라즈마 상태를 평가하며;동일 센서에 대해 확보된 다수의 데이터 패턴 상호간에 임의 장비센서정보의 웨이브릿 변환정보를 적용하고 그 추정치를 계산하며, 계산된 임의 장비센서정보의 웨이브릿 변환정보를 추정된 기준 민감도와 비교하여 플라즈마 상태를 판단한 것을 특징으로 하는 웨이브릿을 이용한 반도체 플라즈마장비의 센서정보 감시방법 |
| 4 |
4 제 3 항에 있어서, 이산치 웨이브릿 변환(DWT)을 적용할 경우, 그 데이터 요소의 총수는 2ⁿ과 일치하게끔 n의 값을 조정한 것을 특징으로 하는 웨이브릿을 이용한 반도체 플라즈마장비의 센서정보 감시방법 |
| 5 |
5 제 3 항에 있어서상기 센서정보 변환에는 이산치 웨이브릿 변환(DWT)외에 연속적 웨이브릿 변환 (CWT)도 함께 적용한 것을 특징으로 하는 웨이브릿을 이용한 플라즈마장비의 센서정보 감시방법 |
| 6 |
6 제 3 항에 있어서, 계산된 임의 장비센서정보의 웨이브릿 변환정보와 기준 민감도와의 차가 임계점 이하이면 플라즈마 상태가 정상이라 판단하고, 새로운 웨이퍼에 대한 공정을 수행하고;만약 차가 임계점 이상이면 플라즈마 장비에 이상이 생긴 것으로 판단하고, 이 경우 플라즈마 장비를 일시 중단한 후 웨이브릿 변환정보에 대해 계산된 민감도와 기준 민감도의 차가 임계점 이상을 나타낼 정도로 기준 민감도를 초과하는 센서정보를 확인하고 그 정보를 제공하는 부품을 점검한 것을 특징으로 하는 웨이브릿을 이용한 플라즈마장비의 센서정보 감시방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0868083-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20060519 출원 번호 : 1020060044912 공고 연월일 : 20081114 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20081013 청구범위의 항수 : 6 유별 : H01L 21/3065 발명의 명칭 : 웨이브릿을 이용한 플라즈마장비의 센서정보 감시방법 존속기간(예정)만료일 : 20131105 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 세종대학교산학협력단 서울 광진구 군... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 168,000 원 | 2008년 11월 05일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 172,000 원 | 2011년 10월 07일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 172,000 원 | 2012년 10월 02일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2006.05.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0348784-37 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2007.03.12 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2007.04.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-2007-0019412-39 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2007.04.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0235848-25 |
| 5 | 명세서등보정서 | 2007.06.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2007-0455357-77 |
| 6 | 의견서 | 2007.06.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0455345-29 |
| 7 | 최후의견제출통지서 | 2007.10.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0580308-96 |
| 8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2007.12.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0946538-17 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2008.01.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2008-0019947-24 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2008.01.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0019940-16 |
| 11 | 의견제출통지서 | 2008.05.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0266520-16 |
| 12 | [명세서등 보정]보정서 | 2008.06.16 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0428839-84 |
| 13 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2008.06.16 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0428829-27 |
| 14 | 보정요구서 | 2008.06.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0076342-86 |
| 15 | 보정요구서 | 2008.06.17 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2008-0076174-12 |
| 16 | [출원서등 보정]보정서 | 2008.06.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0439843-14 |
| 17 | [출원서등 보정]보정서 | 2008.06.19 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0439832-12 |
| 18 | 등록결정서 | 2008.10.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0522947-36 |
| 19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.04.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5073277-77 |
| 기술번호 | KST2014040650 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 세종대학교 |
| 기술명 | 웨이브릿을 이용한 플라즈마장비의 센서정보 감시방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 웨이브릿변환을 이용한 플라즈마장비의 센서정보 감시방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 플라즈마 장비에서 수집되는 센서정보에 웨이브릿 변환과 고감도 감시 메트릭을 적용하여 플라즈마 상태를 감시하도록 반도체공정을 수행하는 플라즈마 장비와, 센서정보처리를 위한 웨이브릿 정보변환기와 감시 메트릭을 구비하여; 공정이 끝난 후 플라즈마 장비에서 센서정보를 수집하고, 이렇게 수집된 센서정보에 웨이브릿 변환을 적용하며, 변환된 센서정보에 감시 메트릭을 적용하여 감도를 계산한 것을 포함한 것을 그 특징으로 한다. 웨이브릿 변환, 플라즈마 장비, 센서정보감시방법, 플라즈마, 고감도 감시 메트릭, 반도체 공정 |
| 개발상태 | 기술개발진행중 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 반도체 장비, 식각 장비, 증착 장비 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 라이센스,기술협력,기술지도,기타, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1350004999 |
|---|---|
| 세부과제번호 | R11-2000-086-03009-0 |
| 연구과제명 | 플라즈마진단제어및모델링에관한연구 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 200603~200902 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
| 과제고유번호 | 1440001140 |
|---|---|
| 세부과제번호 | HR-C1090 |
| 연구과제명 | 대학IT연구센터육성지원 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 정보통신연구진흥원 |
| 연구주관기관명 | 정보통신연구진흥원 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 200609~200708 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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