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연속적으로 이송되는 기판; 상기 기판의 하부에 배치된 증착유닛; 및상기 기판과 상기 증착유닛의 사이에서 상기 기판의 이송속도와 동일한 속도로 이송되며, 상기 기판을 상기 증착유닛에 대하여 노출 또는 은폐하는 마스크 셔터장치를 포함하고, 상기 마스크 셔터장치는 마스크가 장착되는 중공부가 형성된 마스크 장착부를 포함하여, 상기 마스크는 상기 마스크 셔터장치와 함께 이송되고, 상기 마스크는 상기 기판과 상기 마스크 셔터장치의 사이에서 상기 기판과 동일한 속도로 이송되어, 상기 마스크 셔터장치의 개폐에 따라 상기 기판의 서로 이격된 복수의 영역에 불연속적인 증착물질을 증착하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 증착유닛은 상기 이송되는 기판의 하부에 복수개가 배치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제2항에 있어서,상기 마스크 셔터장치는 상기 복수개의 증착유닛들 중 어느 하나의 상부에 위치할 때 상기 기판을 노출하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제3항에 있어서, 상기 기판과 상기 증착유닛들 사이에 배치되어 상기 마스크 셔터장치의 이동을 가이드하는 레일을 더 포함하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제2항에 있어서, 상기 마스크 셔터장치는 상기 복수개의 증착유닛들 각각의 상부에 한 개씩 복수개가 구비되며 개별적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 마스크 셔터장치는, 상기 마스크 장착부의 저면에 부착되며 상기 중공부를 개폐하는 셔터부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제6항에 있어서, 상기 마스크 셔터장치는, 상기 기판을 상기 증착유닛에 대하여 노출 또는 은폐하도록 상기 셔터부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제6항에 있어서, 상기 증착유닛은 상기 기판의 마크와 상기 마스크의 마크를 관측하는 광학센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제8항에 있어서, 상기 마스크 장착부는, 상기 광학센서에서 관측된 관측자료를 바탕으로 상기 마스크 장착부의 위치를 보정하는 보정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제9항에 있어서, 상기 보정장치는, 상기 마스크 장착부를 상기 기판의 폭방향으로 이동시키는 너비방향 보정장치; 및상기 마스크 장착부를 상기 기판의 높이방향으로 이동시키는 높이방향 보정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제6항에 있어서, 상기 셔터부는, 상기 기판이 이동하는 전방에서 후방으로 이동하는 전막; 및상기 기판이 이동하는 후방에서 전방으로 이동하는 후막을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제11항에 있어서, 상기 전막 및 상기 후막은 서로 다른 구동력벨트와 연결되어 독립적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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제1항에 있어서, 상기 기판은 권치롤에 권치되고 회수롤에 의해 회수되며, 상기 권치롤, 상기 회수롤, 상기 증착유닛 및 상기 마스크 셔터장치는 진공챔버의 내부에 위치하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 시스템
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기판이 연속적으로 이동되는 단계;마스크 셔터장치의 구동에 따라 상기 기판이 상기 기판의 하부에 배치된 증착유닛에 노출되는 단계(제1 단계);상기 마스크 셔터장치의 마스크 장착부에 장착되어 상기 기판과 동일한 속도로 이송되는 마스크를 통해 상기 증착유닛으로부터 분사되는 증착물질이 상기 기판에 증착되는 단계(제2 단계); 및상기 마스크 셔터장치의 구동에 따라 상기 기판이 상기 증착유닛으로부터 은폐되는 단계(제3 단계)를 포함하고, 상기 기판, 상기 마스크 셔터장치 및 상기 마스크가 동일한 속도로 이송되어, 상기 마스크 셔터장치가 인접한 증착유닛 상부에 위치하는 경우, 상기 제1 내지 제3 단계들이 반복되어 수행되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 방법
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제14항에 있어서, 상기 증착유닛은 상기 이송되는 기판의 하부에 복수개가 배치되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 방법
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제15항에 있어서, 상기 마스크 셔터장치는 상기 기판과 상기 증착유닛들 사이에 배치된 레일에 의해 가이드되며 이송되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 방법
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제14항에 있어서, 상기 마스크 셔터장치는, 상기 마스크 장착부의 저면에 부착되며 상기 마스크 장착부에 형성되는 중공부를 개폐하는 셔터부를 포함하고, 상기 셔터부는, 상기 기판이 이동하는 전방에서 후방으로 이동하는 전막, 및 상기 기판이 이동하는 후방에서 전방으로 이동하는 후막을 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 방법
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제17항에 있어서, 상기 증착물질이 상기 기판에 증착되는 단계에서, 상기 기판 상에 상기 전막 및 상기 후막이 이루는 너비만큼 증착물질이 증착되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착 방법
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