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휘발성 유기 화합물 제거용 유전체 장벽 플라즈마 반응 장치 및 이를 이용한 휘발성 유기 화합물의 제거방법(Dielectric barrier plasma generation device for removing volatile organic compounds and method for removing them using same)

  • 기술번호 : KST2017009855
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요약 본 발명은 유전체 반응관; 상기 유전체 반응관 내부에 위치하고, 금속 선 외주면에 절연체 층이 형성된 제1 전극; 및 상기 유전체 반응관 외부를 둘러싸고 있으며, 금속 선 외주면에 절연체 층이 형성된 제2 전극;을 포함하는 휘발성 유기 화합물(volatile organic compounds, VOCs) 제거용 유전체 장벽 플라즈마 발생 장치를 제공한다. 본 발명에 따른 휘발성 유기 화합물 제거용 유전체 장벽 플라즈마 발생 장치는 전극으로 금속 선을 사용하고, 이를 반응관 외주면에 감아 사용할 수 있기 때문에 반응기 설계에 용이하다. 또한, 금속 선 외주면에 절연체 층을 포함하고, 특히 실리콘 고무를 절연체 층으로 사용하는 경우 열충격과 전자충돌에 강한 내성을 가지고, 저온플라즈마에 의해 형성된 라디칼과 2 차 반응 및 오존거와 산화 반응에 대한 저항력이 우수하며 적절한 인장강도, 우수한 내구성 및 높은 절연상수를 지녀 방전 지속성을 향상시킬 수 있다. 이에 따라, 우수한 휘발성 유기 화합물 제거 효율을 나타낼 수 있다.
Int. CL B01J 19/08 (2015.05.10) B01D 53/32 (2016.09.27)
CPC B01J 19/087(2013.01) B01J 19/087(2013.01)
출원번호/일자 1020150042511 (2015.03.26)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1692218-0000 (2016.12.28)
공개번호/일자 10-2016-0116178 (2016.10.07) 문서열기
공고번호/일자 (20170104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.03.26)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박현우 대한민국 인천광역시 남구
2 박동화 대한민국 서울특별시 서초구
3 윤형준 대한민국 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0297940-90
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.02.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0041239-70
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0265809-14
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.06.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0553938-71
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2016-0553925-88
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0707681-02
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.10.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-1028896-05
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-1028897-40
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0849513-36
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.12.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1189689-36
14 등록결정서
Decision to Grant Registration
2016.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0927182-24
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
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유전체 반응관; 상기 유전체 반응관 내부에 위치하고, 금속 선 외주면에 절연체 층이 형성된 제1 전극; 및 상기 유전체 반응관 외부에 감겨있으며, 금속 선 외주면에 절연체 층이 형성된 제2 전극;을 포함하는 유전체 장벽 플라즈마 발생 장치의 제1 전극 및 제2 전극에 전압을 인가하여 플라즈마를 발생시키는 단계(단계 1); 및상기 단계 1에서 플라즈마가 발생한 유전체 반응관에 제1 주입관으로 휘발성 유기 화합물을 주입하고, 제2 주입관으로 공기를 주입하여 휘발성 유기 화합물을 제거하는 단계(단계 2);를 포함하고, 상기 제1 전극 및 제2 전극에 전압을 인가하기 위한 전원 공급 장치는 교류 전원을 공급하며, 상기 교류 전원 주파수가 15 kHz 내지 100 kHz이고,주입되는 공기의 유량을 조절하여 상기 휘발성 유기 화합물의 체류시간을 조절하는 것을 특징으로 하는 휘발성 유기 화합물의 제거방법
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제8항에 있어서,상기 단계 1에서 제1 전극 및 제2 전극에 인가하는 전압은 5 kV 내지 30 kV인 것을 특징으로 하는 휘발성 유기 화합물의 제거방법
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제8항에 있어서,상기 단계 2의 휘발성 유기 화합물 주입 속도는 3
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 산업통상자원부 인하대학교 산학협력단 지역혁신센터(RIC) 질소산화물과 황산화물 동시제거를 위한 플라즈마 공정 개발