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챔버; 상기 챔버 내부에 제1 방향을 따라 상기 챔버의 외부로 인출 가능하게 배치되며 일면에 감광성 고분자가 코팅된 웨이퍼 기판 및 노광 마스크가 실장되는 실장부; 상기 실장부의 상부에 배치되며, 상기 실장부의 상부에 지지되고 상기 실장부와의 사이에 배치된 상기 노광 마스크를 고정하며, 상기 노광 마스크에 자외선이 전달되도록 투과창을 포함하는 노광 마스크 고정부; 및상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 웨이퍼 기판 및 상기 노광 마스크에 자외선을 제공하는 광원부를 포함하며, 상기 실장부는, 상기 실장부의 하부에 배치되어 상기 웨이퍼 기판과의 사이에 진공을 형성하여 상기 웨이퍼 기판 및 상기 노광 마스크를 상기 실장부에 고정시키는 진공 패드; 및 상기 진공 패드에 공기를 유동시켜 상기 진공 패드에 의해 고정된 상기 웨이퍼 기판 및 상기 노광 마스크를 상기 실장부로부터 이탈시키는 에어 밴트를 포함하는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 실장부는, 상기 실장부에 실장된 상기 웨이퍼 기판 및 상기 진공 패드를 상기 챔버의 높이 방향과 나란한 제2 방향을 따라 이동시키는 구동 유닛을 더 포함하는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제2항에 있어서, 상기 구동 유닛은, 회전에 의해 상기 진공 패드를 상기 제2 방향을 따라 이동시키는 경사 캠; 및상기 경사 캠의 회전축인 캠 축을 포함하는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버의 내벽에 상기 제1 방향을 따라 설치되어, 상기 실장부가 상기 챔버의 외부로 인출되거나 상기 챔버의 내부로 인입될 때 상기 실장부의 이동을 가이드하는 한 쌍의 레일부를 더 포함하는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버는 상기 내부를 상기 외부와 차단시키기 위해 복수의 면을 포함하며, 복수의 상기 면 중 어느 하나의 면의 적어도 일부가 개방되어 개방된 상기 일면을 통하여 상기 실장부가 인출 및 인입되는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 실장부에는 하나의 상기 웨이퍼 기판이 실장되는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 노광 마스크 고정부는 상기 실장부의 일측에 힌지 결합되는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 실장부는, 상기 실장부 및 상기 노광 마스크 고정부의 가장자리에 배치되어 상기 노광 마스크 고정부가 상기 실장부에 밀착되도록 가압하는 가압 유닛을 더 포함하는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 광원부는 자외선 파장의 빛을 방출하는 발광 다이오드를 포함하는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 광원부는 단일 파장의 자외선을 방출하는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 감광성 고분자를 노광하는 시간을 설정하는 타이머부를 더 포함하는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 기판은 실리콘 재질을 포함하는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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제1항에 있어서, 상기 진공 패드는 탄성 재질로 이루어지는, 바이오칩 제작용 자외선 노광 장치
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