| 1 |
1
열전 소재를 제조하는 방법으로서, 열전 파우더를 준비하는 단계;코팅 금속을 포함하는 금속원 전구체를 주입하는 단계 및 산소원 전구체를 주입하는 단계를 포함하는 원자층 증착법으로 상기 열전 파우더를 상기 코팅 금속의 산화물로 코팅하는 단계;상기 코팅 금속의 산화물로 코팅된 열전 파우더를 가압 성형하여 열전 소재를 형성하는 단계;상기 열전 소재를 소결하는 단계; 및상기 열전 소재를 열처리하는 단계를 포함하고, 상기 열전 소재는 상기 코팅 금속의 산화물로 코팅되어 이종 접합 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 열전 소재 제조 방법
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 열전 파우더를 준비하는 단계는 기계적 합금법, 볼 밀링법 및 용융 방사법 중에서 선택된 어느 하나의 방법으로 열전 파우더를 준비하는 것을 특징으로 하는 열전 소재 제조 방법
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 금속 산화물은 아연 산화물, 알루미늄 산화물, 인듐 산화물, 주석 산화물, 아연주석 산화물, 티탄 산화물, 란탄 산화물, 탄탈 산화물, 아연인듐갈륨 산화물 및 아연질소 산화물 중에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 열전 소재 제조 방법
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 금속원 전구체는 디에틸아연, 디메틸아연, 트리메틸알루미늄 및 테트라이소프로폭사이드타이타늄 중에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 열전 소재 제조 방법
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 산소원 전구체는 물, 오존 및 산소 라디칼 중에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 열전 소재 제조 방법
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서, 상기 열전 파우더를 금속 산화물로 코팅하는 단계는 0℃ 내지 300℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 열전 소재 제조 방법
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서, 상기 원자층 증착법은 코팅 금속을 포함하는 금속원 전구체를 주입하는 단계, 상기 금속원 전구체를 퍼지하는 단계, 산소원 전구체를 주입하는 단계 및 상기 산소원 전구체를 퍼지하는 단계를 포함하는 사이클이 반복으로 실시되는 것을 특징으로 하는 열전 소재 제조 방법
|
| 9 |
9
제 8 항에 있어서, 상기 원자층 증착법은 상기 사이클을 1회 내지 20회로 실시하는 것을 특징으로 하는 열전 소재 제조 방법
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서, 상기 열전 파우더는 Bi-Te계, Sb-Te계, Pb-Te계, Pb-Se계, Si-Ge계, In-Co계, Bi-Te-Se계, Bi-Te-Sb계 및 In-Co-Sb계 중에서 선택된 하나 이상의 파우더인 것을 특징으로 하는 열전 소재 제조 방법
|
| 11 |
11
제 1 항에 있어서, 상기 금속 산화물로 코팅된 열전 파우더의 가압 성형은 방전 플라즈마 소결법, 핫 프레스법, 콜드 프레스법, 압출법 중에서 선택된 어느 하나의 방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열전 소재 제조 방법
|
| 12 |
12
삭제
|
| 13 |
13
제 1 항에 기재된 방법으로 제조된 열전 소재로서,상기 열전 소재의 열전 성능지수는 1
|
