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나노 몰딩 복제법을 이용한 선 격자 편광판 및 그 제조 방법(Wire grid polarizer using nano-molding replication and method for manufacturing the same)

  • 기술번호 : KST2017010262
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노 몰딩 복제법을 이용한 선 격자 편광판 및 그 제조 방법이 제시된다. 본 발명에서 제안하는 나노 몰딩 복제법을 이용한 선 격자 편광판 제조 방법은 표면 요철 패턴이 있는 마스터 템플릿 기판을 제작하는 단계, 상기 마스터 템플릿 기판 상에 고분자 박막을 도포하고 접착 테이프를 이용하여 고분자 필름을 탈착함으로써 고분자 복제 박막 몰드를 형성하는 단계, 상기 고분자 복제 박막 몰드 상에 기능성 물질을 증착하여 기능성 나노 구조체를 형성하는 단계, 상기 고분자 복제 박막 몰드의 상부 증착을 식각을 통해 부분적으로 제거하는 단계, 상기 고분자 복제 박막 몰드를 선택적으로 캡슐화하는 단계를 포함한다.
Int. CL G02B 5/30 (2016.01.26)
CPC G02B 5/305(2013.01) G02B 5/305(2013.01)
출원번호/일자 1020150179466 (2015.12.15)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0071287 (2017.06.23) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.15)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정연식 대한민국 대전광역시 유성구
2 박재홍 대한민국 대전광역시 유성구
3 이정혜 대한민국 대전광역시 유성구
4 유승희 대한민국 대전광역시 유성구
5 임순민 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2015-1229960-09
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0167636-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0911806-08
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0171312-96
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0272743-41
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.04.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0382419-65
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0477914-59
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2017.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0070501-10
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.06.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0586168-28
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0586166-37
12 등록결정서
Decision to grant
2017.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0754580-14
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1
선 격자 편광판 제조 방법에 있어서, 표면 요철 패턴이 있는 마스터 템플릿 기판을 제작하는 단계;상기 마스터 템플릿 기판 상에 고분자 박막을 도포하고 접착 테이프를 이용하여 고분자 필름을 탈착함으로써 고분자 복제 박막 몰드를 형성하는 단계;기울임 증착법을 이용하여 상기 고분자 복제 박막 몰드 상에 기능성 물질을 증착하여 기능성 나노 구조체를 형성하는 단계;상기 고분자 복제 박막 몰드의 상부 증착을 식각을 통해 부분적으로 제거하는 단계; 및상기 고분자 복제 박막 몰드를 선택적으로 캡슐화하는 단계를 포함하고,상기 도포되는 상기 고분자 박막은 20 ~ 40 MPa1/2의 용해도 파라미터 (Solubility Parameter) 값을 가지며, 상기 고분자 박막의 유리 전이 온도는 상온 (25 ˚C)보다 높아 상온에서 안정적으로 고체상태를 유지하는 선 격자 편광판 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 표면 요철 패턴이 있는 마스터 템플릿 기판을 제작하는 단계는, 기판 상에 패터닝 공정을 이용하여 미리 정해진 크기 및 모양을 갖는 패턴을 형성하고, 표면 식각을 진행함으로써 표면에 요철 형태의 패턴을 형성하는선 격자 편광판 제조 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 마스터 템플릿 기판의 표면은 미리 정해진 값 이하의 표면 에너지를 갖도록 PDMS 고분자 브러쉬 및 HDMS를 포함하는 소수성의 SAM 코팅 처리를 하는선 격자 편광판 제조 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 마스터 템플릿 기판 상에 고분자 박막을 도포하고 접착 테이프를 이용하여 고분자 필름을 탈착함으로써 고분자 복제 박막 몰드를 형성하는 단계는, 고분자의 유리 전이 온도가 미리 정해진 온도 보다 높아 상온에서 고체 상태를 유지하는 고분자를 이용하는선 격자 편광판 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 마스터 템플릿 기판 상에 고분자 박막을 도포하고 접착 테이프를 이용하여 고분자 필름을 탈착함으로써 고분자 복제 박막 몰드를 형성하는 단계는,스핀 코팅, 딥 코팅, 스프레이 코팅을 포함하는 코팅기법을 이용하고, 상기 코팅 기법은 단층 박막으로 도포함으로써 고분자 복제 박막 몰드를 형성하는선 격자 편광판 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 고분자 복제 박막 몰드 상에 기능성 물질을 증착하여 기능성 나노 구조체를 형성하는 단계는, 고분자 복제 박막 몰드의 표면과 기능성 물질이 미리 정해진 각도를 갖도록 하여 고분자 복제 박막 몰드의 표면 중 돌출된 부분에 상기 기능성 물질의 증착이 이루어짐으로써 상기 마스터 템플릿 기판과 같은 나노 구조체를 형성하는 선 격자 편광판 제조 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 고분자 복제 박막 몰드의 상부 증착을 식각을 통해 부분적으로 제거하는 단계는, 상기 고분자 복제 박막 몰드의 상부 증착을 부분적으로 제거함으로써 미리 정해진 값 이상의 종횡비를 갖는 기능성 나노 구조체를 형성하는선 격자 편광판 제조 방법
8 8
제7항에 있어서, 습식 에칭, 건식 에칭, 촉매 에칭을 포함하는 에칭 기법을 이용하거나 접착 테이프를 이용하여 뜯어내는 방법을 이용하는선 격자 편광판 제조 방법
9 9
제1항에 있어서, 상기 고분자 복제 박막 몰드의 돌출되지 않은 부분의 너비에 따라 내장형 편광판 또는 부분 내장형 편광판을 포함하는 유연한 편광판 제작이 가능한 선 격자 편광판 제조 방법
10 10
삭제
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 나노종합기술원 나노 Open Innovation Lab 협력사업 Sub-100nm 초미세 마스터 제작 및 이종전사를 위한 핵심 소재/공정 개발 (나노 Wire Grid Polarizer 상용화)