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블록 공중합체의 표면 경화 방법(METHOD FOR HARDENING SURFACE OF BLOCK COPOLYMER)

  • 기술번호 : KST2017010541
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 블록 공중합체의 표면 경화 방법에 관한 것으로, 황이 포함된 가스를 이용한 플라즈마 처리를 통하여 블록 공중합체 표면을 경화함으로써, 경화 및 열적 안정성이 낮은 블록 공중합체의 표면을 별도의 공정과정 없이 간단하고 저렴하게 경화시켜, 블록 공중합체 마스크를 통해 실리콘 및 이를 포함하는 피식각물의 선택적인 식각을 직접 진행할 수 있는 장점이 있다.
Int. CL C08J 3/24 (2016.02.02) C08J 3/28 (2016.02.02)
CPC C08J 3/245(2013.01) C08J 3/245(2013.01) C08J 3/245(2013.01)
출원번호/일자 1020150180844 (2015.12.17)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0072988 (2017.06.28) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.17)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 염근영 대한민국 서울특별시 강남구
2 김경남 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 김기석 대한민국 인천 부평구
4 오지수 대한민국 경기 수원시 장안구
5 최상욱 대한민국 인천 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2015-1238436-07
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0053108-19
3 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.08.01 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2016-0746204-59
4 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2016.08.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0116950-29
5 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2016.08.09 수리 (Accepted) 1-1-2016-0771826-13
6 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2016.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0120124-83
7 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0784876-90
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0022850-02
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0105344-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0342026-09
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.08.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0584417-03
14 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.09.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0879387-15
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0879377-58
16 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0715735-46
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1070320-94
18 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-1070290-12
19 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0197477-99
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
황이 포함된 가스를 이용한 플라즈마 처리를 수행하는 것을 포함하는 블록 공중합체의 표면 경화 방법으로서, 상기 블록 공중합체는, 폴리스티렌-폴리이소부텐, 폴리스티렌-폴리이소프렌, 폴리디메틸실록산-폴리이소부텐, 폴리스티렌-폴리에틸렌 옥사이드, 폴리스티렌-폴리프로필렌 옥사이드, 폴리에틸렌옥사이드-폴리(시아노바이페닐옥시)헥실 메타크릴레이트, 폴리스티렌-폴리메틸메타크릴레이트, 폴리스티렌-폴리메타크릴산, 폴리에틸렌 옥사이드-폴리비닐피리딘, 폴리스티렌-폴리비닐피리딘, 및 폴리이소프렌-폴리하이드록시스티렌 중 어느 하나의 디블록 공중합체를 포함하는 블록 공중합체의 표면 경화 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 플라즈마 처리 후 어닐링 처리하는 것을 더 포함하는 블록 공중합체의 표면 경화 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 황이 포함된 가스는 SF6 가스, H2S 가스, 및 SO2 가스 중 어느 하나를 포함하는 블록 공중합체의 표면 경화 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 플라즈마 처리는 유도결합플라즈마 챔버에서 수행되는 블록 공중합체의 표면 경화 방법
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 블록 공중합체는 실리콘 웨이퍼 위에 코팅되는 블록 공중합체의 표면 경화 방법
8 8
제1항 내지 제4항 및 제7항 중 어느 한 항의 표면 경화 방법으로 표면을 경화시킨 블록 공중합체를 포함하는 반도체용 마스크
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 성균관대학교 산학협력단 나노·소재원천기술개발사업 2단계 1차년도 3차원 증착 및 식각용 hybrid 공정기술 개발
2 산업통상자원부 성균관대학교 산학협력단 전자정보디바이스 산업원천기술개발사업(디스플레이) 4/4 [RCMS]초미세 반도체와 플렉서블 디스플레이 공정을 위한 무기물 박막증착용 고밀도 플라즈마 기술개발