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구리와 니켈과 그래핀으로 이루어지는 반도체용 열전도성 전자파 차폐도료(Thermal conduction EMI shield paint for semiconductor with copper and nickel and graphene)

  • 기술번호 : KST2017011991
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요약 본 발명은 구리와 니켈과 그래핀으로 이루어지는 반도체용 열전도성 전자파 차폐도료에 관한 것으로서, 상기 반도체용 열전도성 전자파 차폐도료는 구리파우더 표면에 코팅되는 니켈과, 상기 니켈의 표면에 합성되는 그래핀으로 이루어지는 것을 포함하는 것으로,본 발명에 의해 제조된 코팅도료를 반도체의 방열체에 코팅하면, 반도체 소자에서 발생하는 열을 효과적으로 방출할 뿐만 아니라 전자 방해 잡음(EMI)을 감소시키고, 전자파를 차폐하여 전자기기의 수명을 늘릴 수 있다는 등의 현저한 효과가 있다.
Int. CL C09D 1/00 (2016.02.19) C09D 5/00 (2016.02.19) C23C 16/26 (2016.02.19) C23C 16/44 (2016.02.19) H01L 21/205 (2016.02.19) C09D 7/12 (2016.02.19)
CPC C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01)
출원번호/일자 1020160002912 (2016.01.08)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0083712 (2017.07.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.01.08)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전민현 대한민국 부산광역시 북구
2 조형호 대한민국 경기 부천시 원미구
3 유영조 대한민국 서울특별시 서대문구
4 황중환 대한민국 경상남도 김해시 인제

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김석계 대한민국 경상남도 김해시 분성로 *** (봉황동, ***-*번지 *층) (김석계특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0023813-31
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.02.07 수리 (Accepted) 9-1-2017-0003213-87
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0433503-24
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5100061-64
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0808376-60
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.08.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0808374-79
8 등록결정서
Decision to grant
2017.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0805373-55
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2017-5214791-60
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
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번호 청구항
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반도체용 열전도성 전자파 차폐도료로서 구리파우더(1) 표면에 코팅되는 니켈과, 상기 니켈의 표면에 합성되는 그래핀으로 이루어지는 구리와 니켈과 그래핀으로 이루어지는 반도체용 열전도성 전자파 차폐도료에 있어서,상기 구리파우더(1) 표면에 형성된 산화막(2)을 제거하기 위해 염화수소(HCl)를 사용하는 것으로,HCl 1~5mol 용액을 사용하여 Cu표면의 산화막을 제거하되, HCl의 몰 농도에 따라 반응 시간은 5~10분으로 조절하고,이후, 작용기를 매개로 하여 구리에 그래핀(Graphene)을 합성하여, 구리원소 간에 통전이 잘 이루어지도록 하며,상기 그래핀은 니켈의 표면에 합성하기 위해 화학기상증착법(CVD)을 사용하되, 그래핀옥사이드 작용기와 결합하여 화학적 반응을 유도하는 것으로,니켈 코팅을 통해 형성된 산화방지막(3)은 그래핀옥사이드 작용기와 결합하여 화학적 반응을 유도하며, 구리파우더 표면은 산화막이 제거되고 니켈이 코팅된 상태이며, 상기 니켈이 코팅된 구리파우더를 2,2’-비티오펜(2,2’-Bithiophene) 수용액에 넣어서 50℃를 유지하며 5일 동안 반응시켜 니켈이 코팅된 구리파우더 표면에 자가조립 단분자막인 산화방지막(3)을 형성하는 것이고,반응종료 후 에탄올로 린스 후 진공 오븐에서 40℃로 건조시키는 것이며,상기 그래핀옥사이드는 그래핀파우더, 질산나트륨(NaNO3), 황산(H2SO4), 과망간산칼륨(KMnO4), 과산화수소(H2O2)를 통해 합성되는 것으로,플라스크에 0℃의 황산(H2SO4) 150ml을 담고, 상기 황산이 담긴 플라스크에 그래핀파우더 4
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 울산광역시 한국화학연구원 2015년 위탁기술개발(주관:덕산하이메탈)-부가세포함 반도체 패키지 shielding용 열전도성 전자파 차폐소재 개발