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플라즈마 진단장치 및 이를 포함하는 플라스마 처리장치(Plasma Diagnose Device And Plasma Treating Apparatus Including the Device)

  • 기술번호 : KST2017014916
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플라즈마 진단장치가 개시된다. 플라즈마 진단장치는 프로브 바디; 상기 프로브 바디의 전방으로 소정 길이로 돌출되는 프로브; 상기 프로브 바디의 내부에 위치하며, 상기 프로브와 전기적으로 연결되는 내부 인덕터; 및 상기 프로브 바디의 외부에 위치하며, 상기 인덕터와 전기적으로 연결되는 외장 필터를 포함한다.
Int. CL H01J 37/32 (2016.04.16) G01Q 20/04 (2016.04.16) H05H 1/00 (2016.04.16)
CPC H01J 37/32935(2013.01)H01J 37/32935(2013.01)H01J 37/32935(2013.01)H01J 37/32935(2013.01)
출원번호/일자 1020160029753 (2016.03.11)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0106081 (2017.09.20) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.03.11)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장윤민 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 전상범 대한민국 서울특별시 동대문구
3 정진욱 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0238933-98
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0184606-54
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0038569-95
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0456186-80
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2017-0550483-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.07.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0665124-17
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0665123-61
9 등록결정서
Decision to grant
2017.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0708712-32
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
프로브 바디;상기 프로브 바디의 전방으로 소정 길이로 돌출되는 프로브;상기 프로브 바디의 내부에 위치하며, 상기 프로브와 전기적으로 연결되는 내부 인덕터; 및상기 프로브 바디의 외부에 위치하며, 상기 인덕터와 전기적으로 연결되는 외장 필터를 포함하되,상기 외장 필터는제1주파수 성분에서 임피던스의 크기를 조절하는 제1제어기; 상기 제1제어기와 병렬 연결되며, 상기 제1주파수 성분과 상이한 제2주파수 성분에서 임피던스의 크기를 조절하는 제2제어기; 상기 내부 인덕터와 직렬 연결되는 제1외장 인덕터;상기 제1외장 인덕터와 직렬 연결되는 제2외장 인덕터;상기 제1외장 인덕터 및 상기 제2외장 인덕터와 병렬 연결되는 제3외장 인덕터를 더 포함하며,상기 제1제어기는 상기 제3외장 인덕터와 직렬 연결되고,상기 제2제어기는 상기 제1외장 인덕터와 병렬 연결되는 플라즈마 진단장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 내부 인덕터는 상기 프로브 바디의 전단에 인접 위치하는 플라즈마 진단장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 프로브와 상기 내부 인덕터의 사이 거리는 상기 프로브가 상기 프로브 바디의 전방으로 돌출된 길이의 2 내지 3배인 플라즈마 진단장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 프로브 바디 내부에 위치하며, 상기 프로브와 상기 내부 인덕터를 연결하는 전선과 병렬 연결되는 내부 커패시터를 포함하는 플라즈마 진단장치
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
내부에서 플라즈마 공정 처리가 수행되는 공정 챔버; 및상기 공정 챔버 내의 플라즈마 상태 변수를 측정 및 진단하는 플라즈마 진단장치를 포함하되,상기 플라즈마 진단장치는전단부가 상기 공정 챔버 내부로 삽입되는 프로브 바디;상기 프로브 바디의 전방으로 소정 길이로 돌출되고, 상기 공정 챔버 내부에 위치하는 프로브;상기 프로브 바디의 내부에 위치하며, 상기 프로브와 전기적으로 연결되는 내부 인덕터; 및상기 프로브 바디의 후방에 위치하며, 상기 인덕터와 전기적으로 연결되는 외장 필터를 포함하며,상기 외장 필터는제1주파수 성분에서 임피던스의 크기를 조절하는 제1제어기; 상기 제1제어기와 병렬 연결되며, 상기 제1주파수 성분과 상이한 제2주파수 성분에서 임피던스의 크기를 조절하는 제2제어기; 상기 내부 인덕터와 직렬 연결되는 제1외장 인덕터;상기 제1외장 인덕터와 직렬 연결되는 제2외장 인덕터;상기 제1외장 인덕터 및 상기 제2외장 인덕터와 병렬 연결되는 제3외장 인덕터를 더 포함하며,상기 제1제어기는 상기 제3외장 인덕터와 직렬 연결되고,상기 제2제어기는 상기 제1외장 인덕터와 병렬 연결되는 플라즈마 처리 장치
8 8
제 7 항에 있어서,상기 내부 인덕터는 상기 프로브 바디의 전단에 인접 위치하는 플라즈마 처리 장치
9 9
삭제
10 10
제 7 항에 있어서,상기 내부 인덕터는 상기 공정 챔버 내부에 위치하는 플라즈마 처리장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.