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기판 상에 반사 층을 형성하는 것;상기 반사 층 상에 유전체 층을 형성하는 것; 및상기 유전체 층 내에 상변이 물질 층을 삽입하는 것을 포함하되,상기 상변이 물질 층을 삽입하는 것은, 상기 유전체 층으로 입사되는 입사광의 파장에 따라 상기 유전체 층 내에 삽입되는 상기 상변이 물질 층의 위치를 조절하는 것을 포함하는 광학 소자 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 유전체 층을 형성하는 것은, 상기 입사광의 파장에 따라 상기 유전체 층의 두께를 조절하는 것을 포함하는 광학 소자 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 유전체 층의 두께 td,q는 다음의 관계식을 만족하되,여기에서, q는 공진 차수이고, nd는 상기 유전체 층의 굴절율이며, λ0는 상기 입사광의 파장인 광학 소자 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 유전체 층은:상기 상변이 물질 층 위의 상부 유전체 층; 및상기 상변이 물질 층 아래의 하부 유전체 층을 포함하되,상기 유전체 층의 두께에 대한 상기 상부 유전체 층의 두께의 비율 Pq,r는 다음의 관계식을 만족하되,여기에서, q는 공진 차수이고, r은 임의의 자연수인 광학 소자 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 상변이 물질 층은 칼코게나이드 물질을 포함하는 광학 소자 제조 방법
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기판 상에 반사 층을 형성하는 것;상기 반사 층 상에 제 1 두께를 갖는 제 1 유전체 층을 형성하는 것;상기 제 1 유전체 층 상에 상변이 물질 층을 형성하는 것; 및상기 상변이 물질 층 상에 제 2 두께를 갖는 제 2 유전체 층을 형성하는 것을 포함하되,상기 제 1 두께와 상기 제 2 두께의 합이 소정의 두께를 갖되, 상기 소정의 두께는 상기 기판으로 입사되는 입사광의 파장에 비례하도록 형성하는 광학 소자 제조 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 소정의 두께 td,q는 다음의 관계식을 만족하되,여기에서, q는 공진 차수이고, nd는 상기 유전체 층들의 합성 굴절율이며, λ0는 상기 입사광의 파장인 광학 소자 제조 방법
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8
제 6 항에 있어서,상기 입사광의 파장에 따라 상기 제 1 두께와 상기 제 2 두께 중 적어도 하나를 조절하는 광학 소자 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 소정의 두께에 대한 상기 제 2 두께의 비율 Pq,r는 다음의 관계식을 만족하되,여기에서, q는 공진 차수이고, r은 임의의 자연수인 광학 소자 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 유전체 층들은 서로 동일한 물질을 포함하는 광학 소자 제조 방법
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제 6 항에 있어서,상기 상변이 물질 층은 칼코게나이드 물질을 포함하는 광학 소자 제조 방법
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