요약 | 그래핀 손상없이 그래핀 합성과정에서 실시간으로 검사가 가능하고 대면적 그래핀 검사가 가능하여 효율적인 검사를 수행할 수 있는 그래핀 비파괴 검사방법이 제안된다. 본 발명에 따른 그래핀 비파괴 검사방법은 표면에 그래핀이 합성된 금속기판에 광을 조사하는 단계 및 광에 의해 금속기판이 산화된 영역을 추출하는 단계를 포함한다. |
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Int. CL | G01N 21/88 (2006.01.01) G01Q 60/10 (2010.01.01) G03H 1/24 (2006.01.01) |
CPC | G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020160039029 (2016.03.31) |
출원인 | 한국전자기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-2170863-0000 (2020.10.22) |
공개번호/일자 | 10-2017-0112242 (2017.10.12) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20201028) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2019.03.22) |
심사청구항수 | 5 |