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제1기재와 제2기재의 표면이 활성화되도록 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부;상기 제1기재와 제2기재를 맞닿게 하며, 제1기재와 제2기재가 맞닿은 접합계면에 가압력을 인가하는 구동부; 및상기 플라즈마 발생부에 전원을 인가하여 플라즈마를 발생시키고, 상기 플라즈마에 의한 표면의 활성화와 동시에 상기 가압력의 인가가 이루어지도록, 상기 플라즈마에 의해 표면이 처리되는 동안에 상기 접합계면에 가압력이 인가되기 시작하도록 상기 구동부를 제어하는 제어부;를 포함하는, 플라즈마 프레스 장치
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생부는, 일 면에 상기 제1기재가 부착되는 제1플라즈마 전극; 및 상기 제1플라즈마 전극과 대향되도록 배치되며, 대향면에 상기 제1기재와 접합되는 상기 제2기재가 부착되는 제2플라즈마 전극;을 포함하고, 상기 구동부는 상기 제1기재와 상기 제2기재가 맞닿도록 상기 제1플라즈마 전극 또는 상기 제2플라즈마 전극 중 적어도 어느 하나를 이동시키도록 마련되는, 플라즈마 프레스 장치
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제2항에 있어서,상기 제1플라즈마 전극은 상측에 위치하며, 상기 제2플라즈마 전극은 하측에 위치하고, 상기 구동부는 상기 제1플라즈마 전극을 상하로 이동시키도록 상기 제1플라즈마 전극에 결합설치되는 플라즈마 프레스 장치
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제2항에 있어서,상기 제2플라즈마 전극의 대향면에는 세라믹 유전체가 더 설치되고, 상기 세라믹 유전체에 상기 제2기재가 부착되는 플라즈마 프레스 장치
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제2항에 있어서,상기 플라즈마 발생시에는, 상기 제1플라즈마 전극과 맞닿아 상기 제1플라즈 전극과 상기 제2플라즈마 전극 사이에 일정 간격을 형성하도록 상기 제2플라즈마 전극의 대향면보다 상기 제1플라즈마 전극 측으로 돌출되도록 위치하고,상기 제1기재와 상기 제2기재가 서로 맞닿을 시에는 상기 제1플라즈마 전극과 맞닿지 않도록 위치하는 간격 형성부를 더 포함하는 플라즈마 프레스 장치
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제2항에 있어서,상기 제1기재는 보호필름과 접착된 상태로 상기 제1플라즈마 전극의 일 면에 부착되는 플라즈마 프레스 장치
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생부는, 사이공간으로 상기 제1기재와 제2기재가 상호 맞닿아 가압되면서 내입되도록 설치되고 적어도 하나는 플라즈마 전극으로 이용되는 제1롤러와 제2롤러를 포함하고,상기 구동부는, 상기 제1롤러와 상기 제2롤러를 회전시키도록 마련되고,상기 제어부는, 상기 제1기재와 상기 제2기재가 내입되는 부분에 플라즈마가 발생하도록 상기 제1롤러와 상기 제2롤러 중 플라즈마 전극으로 이용되는 롤러에 전원을 인가하고, 상기 구동부를 통한 각 롤러의 회전을 제어하도록 마련된 플라즈마 프레스 장치
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제7항에 있어서,상기 제1롤러와 상기 제2롤러 중 어느 하나는 플라즈마 전극으로 이용되고, 다른 하나는 접지 전극으로 이용되는 플라즈마 프레스 장치
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제7항에 있어서,상기 제1롤러와 상기 제2롤러가 플라즈마 전극인 경우, 서로 다른 주파수를 가지는 전원이 인가되는 플라즈마 프레스 장치
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제7항에 있어서,상기 제1기재와 상기 제2기재가 내입되는 부분에 상기 제1롤러 및 상기 제2롤러와 이격배치되는 전극부재를 더 포함하며,상기 제1롤러, 상기 제2롤러 및 상기 전극부재 중 적어도 2개는 플라즈마 전극으로 이용되며, 나머지 하나는 접지 전극으로 이용되는 플라즈마 프레스 장치
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제1플라즈마 전극의 일 면에 제1기재를 부착하고, 상기 제1플라즈마 전극과 대향되도록 마련되는 제2플라즈마 전극 중 상기 제1플라즈마 전극의 일 면과 대향되는 대향면에 제2기재를 부착하는 기재부착 단계;상기 제1플라즈마 전극과 상기 제2플라즈마 전극이 일정 간격을 형성하도록 위치시키고, 상기 제1플라즈마 전극과 상기 제2플라즈마 전극에 전원을 인가하여 플라즈마를 발생시켜 상기 제1기재의 표면과 상기 제2기재의 표면을 활성화시키는 플라즈마 발생 단계; 및,상기 플라즈마에 의한 표면의 활성화와 가압력의 인가가 동시에 이루어지도록, 플라즈마가 발생되어 표면이 활성화된 상태에서, 상기 제1플라즈마 전극 또는 상기 제2플라즈마 전극 중 적어도 어느 하나를 이동시켜 상기 제1기재와 상기 제2기재가 맞닿게 하고, 상기 제1기재와 상기 제2기재가 맞닿은 상태에서 설정된 가압력을 인가하여 상기 제1기재와 상기 제2기재를 접합시키는 플라즈마 프레스 단계;를 포함하는 플라즈마 프레스 장치를 이용한 접합방법
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제11항에 있어서,상기 플라즈마 프레스 단계 이후에 상기 제1플라즈마 전극과 상기 제2플라즈마 전극에 전원을 차단시켜 플라즈마 발생을 중지시키고, 설정된 가압력을 계속 인가하는 추가 프레스 단계를 더 포함하는 플라즈마 프레스 장치를 이용한 접합방법
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제11항에 있어서,플라즈마 발생 단계 이전에 또는 상기 플라즈마 발생시에, 제1기재와 제2기재가 맞닿은 접합계면 및 상기 접합계면의 주변으로 가스 형태의 첨가제를 주입하는 단계를 더 포함하며,상기 첨가제를 통해 상기 접합계면에서의 접착력을 조절하는 플라즈마 프레스 장치를 이용한 접합방법
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제13항에 있어서,상기 첨가제는 메탈소스, 무기소스 또는 유기소스 중 적어도 어느 하나를 포함하는 플라즈마 프레스 장치를 이용한 접합방법
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제1롤러와 제2롤러의 사이로, 상호 맞닿아 내입되는 제1기재와 제2기재를 준비하는 준비단계;상기 제1롤러와 상기 제2롤러 중 적어도 어느 하나에 전원을 인가하여 상기 제1기재와 상기 제2기재의 내입되는 부분에 플라즈마를 발생시켜 상기 제1기재와 상기 제2기재의 대향 표면을 각각 활성화시키는 플라즈마 발생 단계; 및,상기 플라즈마에 의한 표면의 활성화와 가압력의 인가가 동시에 이루어지도록, 상기 제1롤러와 상기 제2롤러를 회전시켜 상기 제1기재 및 상기 제2기재가 상기 제1롤러와 상기 제2롤러의 사이로 내입되어, 플라즈마가 발생되어 표면이 활성화된 상태에서 상기 제1기재 및 상기 제2기재가 가압되면서 접합되는 플라즈마 프레스 단계;를 포함하는 플라즈마 프레스 장치를 이용한 접합방법
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제15항에 있어서,상기 제1롤러와 상기 제2롤러를 플라즈마 전극으로 이용하는 경우, 서로 다른 주파수를 가지는 전원을 인가하는 플라즈마 프레스 장치를 이용한 접합방법
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제15항에 있어서,상기 제1기재와 상기 제2기재가 내입되는 부분에 상기 제1롤러 및 상기 제2롤러와 이격배치되는 전극부재가 설치되는 경우,상기 제1롤러, 상기 제2롤러 및 상기 전극부재 중 2개는 플라즈마 전극으로 이용하고, 나머지 하나는 접지 전극으로 이용하는 플라즈마 프레스 장치를 이용한 접합방법
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제15항에 있어서,플라즈마 발생 단계 이전에 또는 상기 플라즈마 발생시에, 상기 제1기재와 상기 제2기재가 내입되는 부분에 가스 형태의 첨가제를 주입하는 단계를 더 포함하며,상기 첨가제를 통해 상기 제1기재와 상기 제2기재의 접합계면에서의 접착력을 조절하는 플라즈마 프레스 장치를 이용한 접합방법
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제18항에 있어서,상기 첨가제는 메탈소스, 무기소스 또는 유기소스 중 적어도 어느 하나를 포함하는 플라즈마 프레스 장치를 이용한 접합방법
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