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기판 상에 Co2(CO)8 가스 및 캐리어 가스를 공급하는 단계; 및상기 기판 상에 공급된 Co2(CO)8 가스에 레이저 빔을 가하여 상기 Co2(CO)8 가스의 열분해 및/또는 광분해 통해 상기 기판 상에 코발트막을 증착하는 단계를 포함하고,상기 레이저 빔의 에너지는 125 nJ 내지 200 nJ인 것을 특징으로 하는 레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법
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제1항에 있어서,상기 레이저 빔의 에너지는 140nJ 내지 175 nJ인 레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법
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제1항에 있어서,상기 레이저의 스캔 속도는 1μm/s 내지 8μm/s인 레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법
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제4항에 있어서,상기 레이저의 스캔 속도는 1 μm/s 내지 2 μm/s인 레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법
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제1항에 있어서,상기 캐리어 가스의 유량은 100sccm 내지 500sccm 인 레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법
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제1항에 있어서,상기 코발트막의 비저항은 5
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제1항에 있어서,상기 코발트막은 Co의 원자 %가 O의 원자 %에 비해 높은 레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법
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제1항에 있어서,상기 코발트막의 두께는 100 내지 250 nm인 레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법
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제1항에 있어서,상기 코발트막의 두께는 스캔 회수에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법
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제10항에 있어서,상기 스캔 회수는 1회 내지 4회 반복하는 것을 특징으로 하는 레이저 화학기상 증착법을 사용한 코발트막 형성방법
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증착이 수행되는 기판을 지지 및 고정하는 스테이지와, 상기 기판을 상하좌우 방향으로 이동시키는 기판 이동부를 포함하는 기판부;상기 기판의 상부에 위치하고, 상기 기판 방향으로 레이저빔이 조사되도록 하는 레이저 유닛;상기 기판과 상기 레이저 유닛 사이에 위치하되, 상기 레이저 유닛과 대응되는 중심에 상하로 관통된 리텐션 영역 및 상기 리텐션 영역으로 소스가스와 캐리어 가스를 공급하는 가스 쉴드를 포함하고,상기 조사되는 레이저빔의 투과 영역에 슬릿 장치가 설치되되,상기 슬릿 장치는 가로 길이 방향으로 이동이 가능한 제1 X축 바와 제2 X축 바 및 세로 방향으로 이동이 가능한 제1 Y축 바와 제2 Y축바를 구비하며, 상기 바들의 이동에 의해 형성되는 슬릿을 포함하고, 상기 슬릿을 통과하는 상기 레이저빔의 조사 영역의 가로 길이 간격 및 세로 간격을 조절하는 것이고, 상기 가로 길이 간격은 상기 기판의 일정 영역에 대한 상기 레이저의 노출 시간을 조절하는 것이고, 상기 세로 길이 간격은 상기 기판의 일정 영역에 대한 상기 레이저의 노출 면적을 조절하는 것인, 코발트막 증착용 레이저 화학기상 증착 장치
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