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일면에 인가되는 외부의 하중에 의해 탄성 변형되는 제1 층;상기 제1 층의 타면 외측으로 돌출 형성되며, 전도성 나노 또는 마이크로 재질로 되는 적어도 하나 이상의 제1 필러;일면이 상기 제1 층의 타면에 대향하도록 구비되는 제2 층;상기 제2 층의 일면 외측으로 돌출 형성되며, 전도성 나노 또는 마이크로 재질로 되는 적어도 하나 이상의 제2 필러; 를 포함하고,상기 제1 및 제2 필러는 각각 선단부가 상기 제1 층 및 제2 층에 대해 소정 각도록 기울어지도록 형성되는 커브 영역을 갖고,상기 제1 필러와 제2 필러의 선단부는 서로 이격되어 마주보도록 형성되는, 복합적인 강성도를 갖는 맞물림 촉각센서
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제 1항에 있어서,상기 제1 필러의 타측 경도는 상기 제1 필러의 경도보다 강하고, 상기 제2 필러의 일측은 상기 제2 필러의 평균 경도보다 강한 것을 특징으로 하는, 복합적인 강성도를 갖는 맞물림 촉각센서
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제 1항에 있어서,상기 제1 층, 제2 층, 제1 필러 및 제2 필러는,탄성 재질에 탄소 물질을 고루 분산시켜 이루어지며, 상기 탄소 물질은 카본블랙(carbon black), 카본 나노튜브(carbon nanotube), 흑연(graphite) 또는 그래핀(graphene) 중 선택되는 적어도 하나 이상인 것을 특징으로 하는, 복합적인 강성도를 갖는 맞물림 촉각센서
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제 1항에 있어서,상기 제1 층, 제2 층, 제1 필러 및 제2 필러는,탄성 재질에 금속 물질을 고루 분산시켜 이루어지며, 상기 금속 물질은 금(gold), 은(silver), 백금(platinum), 철(iron), 구리(copper)가 입자나 와이어의 형태를 갖는 것 중 선택되는 적어도 하나 이상인 것을 특징으로 하는, 복합적인 강성도를 갖는 맞물림 촉각센서
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제 3항 또는 제 4항에 있어서,상기 탄성 재질은,탄성을 갖고 몰딩 성형을 이용하여 상기 제1 및 제2 필러의 형성이 가능하도록 PDMS(Polydimethylsiloxane), PUA(polyurethane acrylate) 또는 에코플렉스(ecoflex) 중의 하나인 것을 특징으로 하는, 복합적인 강성도를 갖는 맞물림 촉각센서
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항의 촉각 센서를 제조하는 방법에 있어서,금형을 제조하는 단계;금형에 MWCNT와 PDMS의 혼합물을 충전하는 단계;상기 혼합물을 경화시켜 상기 금형으로부터 분리하는 단계; 및상기 분리된 혼합물의 필러 끝단을 커브형으로 성형하는 단계;를 포함하는, 복합적인 강성도를 갖는 맞물림 촉각센서의 제조 방법
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제 6항에 있어서,상기 커브형으로 성형하는 단계는, 상기 제1 필러의 타측 및 상기 제2 필러의 일측에 이온 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는, 복합적인 강성도를 갖는 맞물림 촉각센서의 제조 방법
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제 7항에 있어서,상기 이온 빔은 비활성 기체인 He+, Ar+, Xe+ Ion beam 인 것을 특징으로 하는, 복합적인 강성도를 갖는 맞물림 촉각센서의 제조 방법
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제 7항에 있어서,상기 이온 빔의 조사각은 상기 필러의 길이 방향을 기준으로 60도 이하인 것을 특징으로 하는, 복합적인 강성도를 갖는 맞물림 촉각센서의 제조 방법
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